壓縮成形裝置的樹脂材料供給方法及供給裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種將半導(dǎo)體芯片等電子零件進(jìn)行樹脂密封的方法，尤其涉及一種為了進(jìn)行壓縮成形而將顆粒狀、粉末狀、糊狀、液狀等的樹脂材料(以下，將這些樹脂材料統(tǒng)一地簡稱為“樹脂材料”)供給至成形模的模腔的方法及裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著電子零件的薄型化而開始使用壓縮成形。在壓縮成形中，對(duì)利用脫模膜被覆的下模的模腔供給樹脂材料，將該樹脂材料加熱熔融，使安裝在上模的安裝著電子零件的基板浸漬在該熔融樹脂之后，通過將下模與上模鎖模而壓縮該樹脂而進(jìn)行成形。在這種壓縮成形中，為了遍及整個(gè)大型基板進(jìn)行無缺陷的成形，重要的是均勻且適量地對(duì)模腔供給規(guī)定量的樹脂材料。
[0003]在專利文獻(xiàn)I中，如下文所述那樣記載了將顆粒狀樹脂R以均勻的厚度適量地供給至模腔的方法(參照圖1)。首先，利用脫模膜12被覆矩形框架11的下部的開口，該矩形框架11在上下具有形狀與下模18的模腔18a的開口對(duì)應(yīng)的開口，利用矩形框架11的下表面吸附脫模膜12而制作凹狀收容部13(a)。將該凹狀收容部13載置在載置臺(tái)14，從進(jìn)料器15將顆粒狀樹脂R以成為均勻的厚度的方式供給至脫模膜12上(b)。然后，將收容著顆粒狀樹脂R的凹狀收容部13以使被矩形框架11包圍的脫模膜12的部分到達(dá)模腔18a的正上方的方式載置在下模18的模面(c)，在解除利用矩形框架11的下表面吸附脫模膜12之后，將脫模膜12與位于其上的顆粒狀樹脂R—并吸引并吸入至模腔18a內(nèi)(d)。由此，將厚度均勻的顆粒狀樹脂R供給至模腔18a內(nèi)。然后，將顆粒狀樹脂R加熱熔融(e)，通過將下模18與上模19鎖模，而將電子零件20浸漬于熔融樹脂Rm，并且利用樹脂加壓用的模腔底面部件18b擠壓熔融樹脂Rm，所述下模18在模腔18a內(nèi)包含所述熔融樹脂Rm，所述上模19是將安裝著電子零件20的基板21以使其安裝面朝向下方的狀態(tài)安裝而成(f)。在熔融樹脂Rm固化之后將上模19與下模18開模，由此獲得電子零件20的樹脂密封成形品(g)。
[0004]在該方法中，如圖2所示，利用夾具(固持部件)25分別固持尺寸大于矩形框架11的開口的矩形的脫模膜12的相對(duì)向的兩邊12a、12b，將這些夾具25在脫模膜12的面內(nèi)朝相互相反的方向拉伸(即，在同一平面內(nèi)朝一個(gè)方向(在圖2中為X方向)拉伸)后，使脫模膜12吸附在矩形框架11的下表面，從而安裝到矩形框架11，由此制作凹狀收容部13。
[0005][【背景技術(shù)】文獻(xiàn)]
[0006][專利文獻(xiàn)]
[0007][專利文獻(xiàn)I]日本專利特開2010-036542號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008][發(fā)明所要解決的問題]
[0009]半導(dǎo)體基板越來越大型化，模腔及框架(凹狀收容部)隨之也逐漸大型化。另一方面，脫模膜必須以適于模腔的內(nèi)表面形狀的方式變形，所以無法變厚。這樣一來，當(dāng)將薄脫模膜用于大型框架時(shí)，如果像專利文獻(xiàn)I中那樣將脫模膜在其面內(nèi)只朝一個(gè)方向拉伸，那么對(duì)脫模膜施加的面內(nèi)的張力(tens1n)也只為一個(gè)方向，對(duì)與該一個(gè)方向正交的方向未施加任何張力，對(duì)脫模膜而言產(chǎn)生如下問題，即:在與拉伸方向正交的方向產(chǎn)生如波浪般的皺褶。這樣一來，當(dāng)使用存在皺褶的脫模膜時(shí)，無法保證供給至模腔的樹脂材料的厚度的均勻性，另外，該皺褶被轉(zhuǎn)印至樹脂而成為成形品樹脂的表面凹凸缺陷。
[0010]本發(fā)明所要解決的問題在于提供一種壓縮成形裝置的樹脂材料供給方法及供給裝置，即便是大框架、大脫模膜，也可以將脫模膜以不出現(xiàn)皺褶的方式適當(dāng)?shù)貜堅(jiān)O(shè)在框架的下部而制作凹狀收容部，由此，可以將樹脂材料以均勻的厚度供給至模腔內(nèi)。
[0011][解決問題的技術(shù)手段]
[0012]為了解決所述問題而完成的本發(fā)明的壓縮成形裝置的樹脂材料供給方法是如下所述的方法，即:
[0013]為了將樹脂材料厚度均勻地供給至由上模及下模所構(gòu)成的壓縮成形用模的下模模腔，而對(duì)利用框架及脫模膜制作而成的凹狀收容部供給樹脂材料，所述框架在上下具有形狀與所述下模模腔的開口對(duì)應(yīng)的開口，所述脫模膜被覆所述框架的下部的開口 ；所述供給方法的特征在于包含:
[0014]a)膜張?jiān)O(shè)步驟，通過利用膜固持部件在兩個(gè)以上的方向以兩側(cè)保持比所述框架大的脫模膜，而張?jiān)O(shè)所述脫模膜；以及
[0015]b)框架配置步驟，以所述框架的下部全周接觸于所述已張?jiān)O(shè)的脫模膜上的方式配置所述框架。
[0016]在本發(fā)明的壓縮成形裝置的樹脂材料供給方法中，首先，利用膜固持部件在兩個(gè)以上的方向以兩側(cè)保持脫模膜，由此，在膜固持部件間張?jiān)O(shè)脫模膜。如果以框架的下部全周接觸于以所述方式張?jiān)O(shè)的脫模膜上的方式配置框架，那么脫模膜在該框架的內(nèi)部成為因在該兩個(gè)以上的方向施加張力而被張?jiān)O(shè)的狀態(tài)。因此，根據(jù)本發(fā)明的壓縮成形裝置的樹脂材料供給方法，脫模膜不會(huì)產(chǎn)生像以往那樣只朝一個(gè)方向拉伸時(shí)產(chǎn)生的波狀的皺褶。此外，此處，當(dāng)使框架的下部全周接觸于脫模膜上時(shí)，可以單純地接觸，也可以在接觸后將框架以下降的方式壓抵在脫模膜。
[0017]然后，將顆粒狀、粉末狀、糊狀、液狀等的樹脂材料以均勻的厚度供給至該框架內(nèi)的脫模膜上，將脫模膜與該樹脂材料一并引入到下模模腔內(nèi)，由此，能夠以均勻的厚度將樹脂材料供給至下模模腔內(nèi)。
[0018]所述方法理想的是還包含:
[0019]c)張力調(diào)整步驟，通過使所述框架相對(duì)于所述膜固持部件在與所述脫模膜的面垂直的方向移動(dòng)，而增加或減少該框架內(nèi)的所述脫模膜的張力。
[0020]當(dāng)框架大時(shí)，如果該框架內(nèi)的脫模膜的張力不充分，那么脫模膜會(huì)因脫模膜的自身重量而在框架內(nèi)的中央部分向下方彎曲(垂下)。通過在所述張力調(diào)整步驟中調(diào)整框架內(nèi)的脫模膜的張力，可以根據(jù)框架的大小及脫模膜的厚度，而不對(duì)脫模膜施加多余的力，并且在框架內(nèi)無松弛而以適當(dāng)?shù)膹埩堅(jiān)O(shè)脫模膜。
[0021]關(guān)于本發(fā)明的壓縮成形裝置的樹脂材料供給方法，當(dāng)框架為矩形時(shí)，可以將所述兩個(gè)以上的方向設(shè)為垂直的兩個(gè)方向，且可以將所述膜固持部件設(shè)為在垂直的兩個(gè)方向設(shè)置在兩側(cè)的膜固持件。在這種情況下，矩形的框架是以其邊與所述兩個(gè)方向平行的方式，配置在該膜固持件之間(使框架的下部全周接觸于脫模膜)。
[0022]關(guān)于本發(fā)明的壓縮成形裝置的樹脂材料供給方法，當(dāng)框架為圓形時(shí)，可以將所述膜固持部件設(shè)為圓形的膜固持件。在這種情況下，膜固持件是在隔著其中心的至少兩個(gè)方向的兩側(cè)固持脫模膜，在膜固持件內(nèi)張?jiān)O(shè)脫模膜。然后，將圓形的框架配置在以所述方式張?jiān)O(shè)在膜固持件內(nèi)的脫模膜上(使框架的下部全周接觸于脫模膜)。
[0023]為了解決所述問題而完成的本發(fā)明的壓縮成形裝置用的樹脂材料供給裝置是如下所述的裝置，即:
[0024]為了將樹脂材料厚度均勻地供給至由上模及下模所構(gòu)成的壓縮成形用模的下模模腔，而對(duì)利用框架及脫模膜制作而成的凹狀收容部供給樹脂材料，所述框架在上下具有形狀與下模模腔的開口對(duì)應(yīng)的開口，所述脫模膜被覆所述框架的下部的開口 ；且所述供給裝置的特征在于具備:
[0025]a)膜固持部件，通過在兩個(gè)以上的方向以兩側(cè)保持比所述框架大的脫模膜，而張?jiān)O(shè)所述脫模膜；以及
[0026]b)框架配置部件，以所述框架的下部全周接觸于利用所述膜固持部件而張?jiān)O(shè)的脫模膜上的方式，對(duì)所述膜固持部件配置所述框架。
[0027]在本發(fā)明的壓縮成形裝置用的樹脂材料供給裝置中，首先，利用膜固持部件在兩個(gè)以上的方向以兩側(cè)保持脫模膜，由此，在膜固持部件間張?jiān)O(shè)脫模膜。如果利用框架配置部件將框架以其下部全周接觸于脫模膜的方式配置在以所述方式張?jiān)O(shè)的脫模膜，那么脫模膜在框架的內(nèi)部成為因在所述兩個(gè)以上的方向施加張力而張?jiān)O(shè)的狀態(tài)。因此，根據(jù)本發(fā)明的壓縮成形裝置用的樹脂材料供給裝置，脫模膜不會(huì)產(chǎn)生像以往那樣只朝一個(gè)方向拉伸時(shí)產(chǎn)生的波狀的皺褶。此外，此處，當(dāng)使框架的下部全周接觸于脫模膜上時(shí)，可以單純地接觸，也可以在接觸后將框架以下降的方式壓抵在脫模膜。
[0028]然后，對(duì)該框架內(nèi)的脫模膜上供給厚度均勻的樹脂材料，將脫模膜與該樹脂材料一并引入到下模模腔內(nèi)，由此，能夠以均勻的厚度將樹脂材料供給至下模模腔內(nèi)。
[0029]所述方法理想的是還具備:
[0030]c)張力調(diào)整部件，通過使所述框架相對(duì)于所述膜固持部件在與所述脫模膜的面垂直的方向移動(dòng)，而增加或減少所述框架內(nèi)的所述脫模膜的張力。
[0031]通過利用該張力調(diào)整部件調(diào)整框架內(nèi)的脫模膜的張力，可以根據(jù)框架的大小及脫模膜的厚度，而不對(duì)脫模膜施加多余的力，并且在框架內(nèi)無松弛而以適當(dāng)?shù)膹埩堅(jiān)O(shè)脫模膜。
[0032]當(dāng)框架為矩形時(shí)，可以將所述兩個(gè)以上的方向設(shè)為垂直的兩個(gè)方向，且可以將所述膜固持部件設(shè)為在垂直的兩個(gè)方向設(shè)置在兩側(cè)的膜固持件。在這種情況下，框架配置部件將矩形的框架以其邊與所述兩個(gè)方向平行的方式，配置在該膜固持件之間(使框架的下部全周接觸于脫模膜)。
[0033]當(dāng)框架為圓形時(shí)，可以將所述膜固持部件設(shè)為圓形的膜固持件。在這種情況下，膜固持件是在隔著其中心的至少兩個(gè)方向的兩側(cè)固持脫模膜，由此在膜固持件內(nèi)張?jiān)O(shè)脫模膜。然后，框架配置部件將圓形的框架配置在以所述方式張?jiān)O(shè)在膜固持件內(nèi)的脫模膜上(使框架的下部全周接觸于脫模膜)。
[0034][發(fā)明的效果]
[0035]根據(jù)本發(fā)明的