模具清掃用樹脂組合物和模具清掃方法
【技術領域】
[0001] 本發(fā)明涉及模具清掃用樹脂組合物和模具清掃方法。
【背景技術】
[0002] 使用環(huán)氧樹脂和模具將集成電路元件等密封成型物成型時，若反復長時間成型則 成型模具的內(nèi)部表面被污染。若該狀態(tài)下繼續(xù)連續(xù)成型，則發(fā)生密封成型物的表面被污染、 或者密封成型物附著于模具而妨礙成型操作的情況很多。因此，模具需要定期清掃。作為 模具的清掃方法之一，提出了使用模具清掃用組合物的方法。
[0003] 作為模具清掃用組合物，提出了含有選自合成橡膠和合成樹脂中的至少1種、選 自堿金屬鹽和堿金屬氫氧化物中的至少1種和水的模具清洗劑組合物（例如，參照日本特 開2011-21156號公報），以及含有選自合成橡膠和合成樹脂中的至少1種、選自堿金屬鹽 和堿金屬氫氧化物中的至少1種和有機溶劑的模具清洗劑組合物（例如，參照日本特開 2011-20416號公報），改善了清洗性能。
[0004] 另外，模具污染改良橡膠組合物通過含有橡膠和磷酸堿金屬鹽，能夠防止添加二 氧化硅帶來的模具的清洗操作性的下降、硫化劑帶來的模具的污染（例如，參照日本特開 平04-234444號公報）。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 然而，現(xiàn)有的含有堿金屬鹽等的模具清掃用樹脂組合物的保存穩(wěn)定性尚不充分， 制造后經(jīng)過長期間（例如6個月），有時無法發(fā)揮充分的清掃性能。
[0006] 本發(fā)明是鑒于如上所述的情況而進行的，其目的在于提供清掃性能和保存穩(wěn)定性 優(yōu)異的模具清掃用樹脂組合物和使用該模具清掃用樹脂組合物的模具清掃方法。
[0007] 用于解決上述課題的具體方式如下。
[0008] < 1 >一種模具清掃用樹脂組合物，含有合成橡膠、選自堿金屬鹽和堿金屬氫氧 化物中的化合物、二氧化硅以及硫化劑，水分的含有率為0. 20質量％~3. 50質量％。
[0009] < 2 >根據(jù)上述< 1 >所述的模具清掃用樹脂組合物，上述合成橡膠包含乙 烯-丙烯橡膠和丁二烯橡膠。
[0010] < 3 >根據(jù)上述< 1 >或< 2 >所述的模具清掃用樹脂組合物，上述二氧化硅的 含量相對于上述合成橡膠的含量100質量份為10質量份~60質量份。
[0011] < 4 >根據(jù)上述< 1 >~< 3 >中任1項所述的模具清掃用樹脂組合物，上述選自 堿金屬鹽和堿金屬氫氧化物中的化合物的含量相對于上述水分的含量的質量比為0. 1~ 5. 0〇
[0012] < 5 >根據(jù)上述< 1 >~< 4 >中任1項所述的模具清掃用樹脂組合物，上述二 氧化硅的含量相對于上述水分的含量的質量比為3~30。
[0013] < 6 >根據(jù)上述< 1 >~< 5 >中任1項所述的模具清掃用樹脂組合物，上述二 氧化硅在相對濕度60%、溫度23°C下的平衡水分含有率為5質量％~9質量％。
[0014] < 7 >根據(jù)上述< I >~< 6 >中任1項所述的模具清掃用樹脂組合物，上述選 自堿金屬鹽和堿金屬氫氧化物中的化合物的含量相對于上述合成橡膠的含量100質量份 為〇. 1質量份~10質量份。
[0015] < 8 >根據(jù)上述< 1 >~< 7 >中任1項所述的模具清掃用樹脂組合物，上述硫 化劑的含量相對于上述合成橡膠的含量100質量份為1質量份~20質量份。
[0016] < 9 >-種模具清掃方法，包括對成型模具的內(nèi)部表面賦予上述< 1 >~< 8 > 中任1項所述的模具清掃用樹脂組合物的工序、和將被賦予了上述模具清掃用樹脂組合物 的成型模具加熱的工序。
[0017] 本說明書中，利用"~"表示的數(shù)值范圍表示包括"~"前后記載的數(shù)值分別作為 最小值和最大值的范圍。
[0018] 本說明書中，對于組合物中的各成分的量，在組合物中存在多個與各成分相當?shù)?物質時，只要沒有特殊說明，則表示組合物中存在的該多個物質的合計量。
[0019] 本說明書中，"工序"的用語不僅表示獨立的工序，即便在與其它的工序無法明確 區(qū)別的情況下只要實現(xiàn)該工序所期望的目的，則也包括本用語中。
[0020] 本說明書中，"成型模具的內(nèi)部表面"是指與利用成型模具成型的被成型物接觸的 區(qū)域。應予說明，本說明書中，有時將"成型模具"簡稱為"模具"。
[0021] 根據(jù)本發(fā)明，能夠提供清掃性能和保存穩(wěn)定性優(yōu)異的模具清掃用樹脂組合物和使 用該模具清掃用樹脂組合物的模具清掃方法。
【具體實施方式】
[0022] 以下，對本發(fā)明的模具清掃用樹脂組合物和模具清掃方法進行詳細說明。
[0023] <模具清掃用樹脂組合物>
[0024] 本發(fā)明的模具清掃用樹脂組合物含有合成橡膠、選自堿金屬鹽和堿金屬氫氧化物 中的至少1種（以下，也稱為"特定清洗劑"）、二氧化硅以及硫化劑，水分的含有率在模具 清掃用樹脂組合物的總質量中為0. 20質量％~3. 50質量％。
[0025] 本發(fā)明的模具清掃用樹脂組合物通過含有二氧化硅和選自堿金屬鹽和堿金屬氫 氧化物中的至少1種即特定清洗劑，且使水分的含有率為特定的范圍，從而特定清洗劑有 效作用而發(fā)揮優(yōu)異的清掃性能。另外，本發(fā)明的模具清掃用樹脂組合物即便在制造模具清 掃用樹脂組合物后經(jīng)過長期間（例如6個月）后，也能夠發(fā)揮優(yōu)異的清掃性能。這點例如 可以如下考慮。
[0026] 認為現(xiàn)有的含有堿金屬鹽等的模具清掃用樹脂組合物在模具清掃用樹脂組合物 的保存中，模具清掃用樹脂組合物所含的水分量下降，初始的設定物性（門尼粘度、拉伸強 度、伸長率、硫化特性等）發(fā)生變化。認為保存中水分量下降的模具清掃用樹脂組合物在 清掃模具時因無法適當?shù)乩?，而發(fā)生對模具的填充不良和模具清掃不良。本發(fā)明的發(fā) 明人等發(fā)現(xiàn)通過使模具清掃用樹脂組合物含有二氧化硅，并且使水分的含有率為0. 20質 量％~3. 50質量％，從而能夠抑制水分量的經(jīng)時下降。由此，認為能夠提供保存穩(wěn)定性優(yōu) 異的模具清掃用樹脂組合物。
[0027] 另外，一般含有堿金屬鹽和水分的模具清掃用樹脂組合物顯示優(yōu)異的模具清掃能 力。然而，模具清掃用樹脂組合物所含的硫化劑由于受熱、光、空氣中的氧等的影響而有劣 化（分解）的趨勢，若使用長期間保存后的模具清洗劑組合物，則有時硫化性能下降。如果 硫化性能下降，則清掃模具時模具清掃用樹脂組合物無法充分固化，因此無法從模具表面 充分去除污染物質。本發(fā)明的發(fā)明人等認為對于長期保存中的模具清掃用樹脂組合物而 言，由于模具清洗劑組合物所含的水分，促進硫化劑的劣化。本發(fā)明并未像現(xiàn)有技術那樣僅 僅在模具清掃用樹脂組合物中加入水分，而是在代替水而含有二氧化硅的基礎上，使水分 含有率為0. 20質量％~3. 50質量％，由此構成模具清掃用樹脂組合物，認為能夠抑制硫化 劑的劣化，且保持優(yōu)異的模具的清掃性能。
[0028] 模具清掃用樹脂組合物中的水分可以為模具清掃用樹脂組合物制造時添加的水， 也可以為構成模具清掃用樹脂組合物的材料所含的水分。從清掃性能和保存穩(wěn)定性的觀點 考慮，優(yōu)選模具清掃用樹脂組合物中的水分為構成模具清掃用樹脂組合物的材料所含的水 分。
[0029] 模具清掃用樹脂組合物中的水分含有率為0. 20質量％~3. 50質量％，從模具 清掃性和保存穩(wěn)定性的觀點考慮，優(yōu)選為〇. 50質量％~3. 00質量％，更優(yōu)選為0. 80質 量％~2. 90質量％，進一步優(yōu)選為1. 25質量％~2. 80質量％，特別優(yōu)選為1. 40質量％~ 1. 80質量％。
[0030] 應予說明，模具清掃用樹脂組合物中的水分含有率可以用卡爾費休法測定。具體 而言，使用三菱化學株式會社制的卡爾費休水分測量儀CA-100和水分氣化裝置VA-100,并 利用水分氣化-庫倫滴定法測定。應予說明，用于氣化的溫度設為180°C。
[0031] [橡膠成分]
[0032] 模具清掃用樹脂組合物含有合成橡膠的至少1種作為橡膠成分。合成橡膠沒有特 別限制，可以從通常使用的合成橡膠中適當?shù)剡x擇。合成橡膠是所謂的未硫化橡膠，例如， 可舉出丁二烯橡膠（BR)、丁腈橡膠（NBR)、乙烯-丙烯橡膠（EPR)等乙烯-α-烯烴橡膠、 苯乙烯-丁二烯橡膠（SBR)、聚異戊二烯橡膠（IR)、丁基橡膠（IIR)、硅酮橡膠（Q)、氟橡膠 (FKM)等。這些橡膠可以單獨使用1種或者并用2種以上。這些未硫化橡膠在模具內(nèi)經(jīng)過 硫化而變成硫化橡膠。
[0033] 從清掃模具時污染性少和硫化時的臭味少的觀點考慮，上述合成橡膠優(yōu)選為選自 乙烯-丙烯橡膠和丁二烯橡膠中的至少1種，更優(yōu)選為乙烯-丙烯橡膠的至少1種和丁二 烯橡膠的至少1種的混合物。
[0034] 本說明書中，"乙烯-丙烯橡膠"的用語主旨是包含通常的乙烯-丙烯橡膠（EPM) 和乙烯-丙烯-二烯橡膠（以下，有時簡稱為"EPDM"）這兩者，意思是選自乙烯-丙烯橡膠 和乙烯-丙烯-二烯橡膠中的至少1種。
[0035] 作為上述乙烯-丙烯橡膠，乙烯與至少包含丙烯的α-烯烴的共聚比例以摩爾 比計