本實用新型涉及太陽能電池片的技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種用于太陽能電池片生產(chǎn)中硅烷廢氣的預(yù)處理裝置。

背景技術(shù)：

中國專利201520926337.5公開了一種氨氣和硅烷混合廢氣綜合處理裝置，包括硅烷燃燒塔，該硅烷燃燒塔的進風(fēng)口通過管道與PECVD真空泵出風(fēng)口連通，該硅烷燃燒塔的出風(fēng)口通過管道與氨氣噴淋吸收塔進風(fēng)口連通，該氨氣噴淋吸收塔的出風(fēng)口通過管道與風(fēng)機連通。該氨氣和硅烷廢氣綜合處理裝置有效處理氨氣廢氣，廢氣排放達到國家標準；安全處理硅烷廢氣，廢氣排放達到國家標準；整個處理過程無需人員操作，安全無害，結(jié)構(gòu)簡單，壓損小；不使用其他化學(xué)藥劑，降低廢氣處理成本。真空管道、排氣管道及石英管漏氣造成廢氣中硅烷與空氣中的氧氣反應(yīng)產(chǎn)生二氧化硅，由于排氣管道細長，二氧化硅長期堆積在排氣管道中，使排氣管道堵塞，導(dǎo)致真空泵里面的二氧化硅排不出去而卡死。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的是提供一種用于太陽能電池片生產(chǎn)中硅烷廢氣的預(yù)處理裝置，讓廢氣中的硅烷在密閉的燃燒罐體內(nèi)燃燒，生成二氧化硅沉降，使排氣管道只排放氨氣，解決了排氣管道易堵塞、不易清理的問題。

本實用新型的目的是由下述技術(shù)方案實現(xiàn)的：一種用于太陽能電池片生產(chǎn)中硅烷廢氣的預(yù)處理裝置，包括燃燒罐體，所述燃燒罐體的一側(cè)設(shè)有真空泵管接頭，所述燃燒罐體的另一側(cè)設(shè)有排氣管道管接頭，所述真空泵管接頭和所述排氣管道管接頭位于所述燃燒罐體的中部或中上部，所述真空泵管接頭和所述排氣管道管接頭之間設(shè)有壓縮空氣管接頭。

進一步的，所述真空泵管接頭通過法蘭盤與真空泵連接，所述排氣管道管接頭通過法蘭盤與排氣管道連接。

進一步的，所述壓縮空氣管接頭通過輸氣管路與空壓機連接。

進一步的，所述真空泵管接頭的中心線與所述排氣管道管接頭的中心線重合。

進一步的，所述燃燒罐體的頂端設(shè)有法蘭盤，密封蓋通過螺栓、螺母安裝在所述燃燒罐體的法蘭盤上。

本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有如下優(yōu)點：

本實用新型使廢氣中的硅烷與壓縮空氣在密閉的燃燒罐體內(nèi)混合燃燒，并使廢氣中二氧化硅沉降，使排氣管道只排放氨氣，使真空泵因粉塵卡死的現(xiàn)象減少80％，尾排清洗周期延長了50％。

以下結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型作詳盡說明。

附圖說明

圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是燃燒罐體的法蘭盤的示意圖。

具體實施方式

實施例一：

參見圖1，本實用新型的一種用于太陽能電池片生產(chǎn)中硅烷廢氣的預(yù)處理裝置，包括燃燒罐體1，所述燃燒罐體的一側(cè)設(shè)有真空泵管接頭2，所述燃燒罐體的另一側(cè)設(shè)有排氣管道管接頭3，所述真空泵管接頭和所述排氣管道管接頭位于所述燃燒罐體的中部或中上部，所述真空泵管接頭和所述排氣管道管接頭之間設(shè)有壓縮空氣管接頭4。

參見圖1，在本實施例中，所述燃燒罐體1固定在一個底座5上，所述底座5由多塊不銹鋼板焊接而成。所述真空泵管接頭2通過法蘭盤與真空泵連接，所述排氣管道管接頭3通過法蘭盤與排氣管道連接。所述壓縮空氣管接頭4通過輸氣管路與空壓機連接，通過壓縮空氣管接頭向燃燒罐體內(nèi)輸送壓縮空氣。真空泵將硅烷廢氣送入燃燒罐體內(nèi)，硅烷廢氣中含有硅烷、氮化硅、二氧化硅、氨氣等，廢氣中硅烷與壓縮空氣中的氧氣混合燃燒反應(yīng)生成二氧化硅，S iH₄+2O₂＝S iO₂+2H₂O。二氧化硅、氮化硅沉降到燃燒罐體的底部，氨氣從排氣管道管接頭排出。

參見圖1，在本實施例中，所述真空泵管接頭2的中心線與所述排氣管道管接頭3的中心線重合。

參見圖1、圖2，在本實施例中，所述燃燒罐體1的頂端設(shè)有法蘭盤6，密封蓋7通過螺栓、螺母安裝在所述燃燒罐體1的法蘭盤6上。

本實用新型使廢氣中的硅烷與壓縮空氣在密閉的燃燒罐體內(nèi)混合燃燒，并使廢氣中二氧化硅沉降，使排氣管道只排放氨氣，使真空泵因粉塵卡死的現(xiàn)象減少80％，尾排清洗周期延長了50％。

實施例中公開的內(nèi)容僅為本實用新型較佳的具體實施方式，但本實用新型的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實用新型披露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。