一種防爆外點(diǎn)火裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及太陽(yáng)能電池制備技術(shù)，特別是涉及一種防爆外點(diǎn)火裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備中，有一個(gè)外點(diǎn)火裝置與工藝腔室相連，工藝氣體從外點(diǎn)火裝置中的進(jìn)氣管進(jìn)入主工藝腔室，外點(diǎn)火裝置中有加熱器將工藝氣體加熱以及進(jìn)行一定的反應(yīng)，外點(diǎn)火裝置的腔室與工藝腔室通過過渡管相連。
[0003]現(xiàn)有的防爆外點(diǎn)火裝置利用石英點(diǎn)火槍進(jìn)行點(diǎn)火，在石英點(diǎn)火槍與石英點(diǎn)火腔室之間設(shè)置加熱器，為石英點(diǎn)火腔室提供熱量，石英點(diǎn)火腔室在進(jìn)行工藝操作時(shí)，散熱量很大，一旦出現(xiàn)石英件爆裂會(huì)對(duì)人身造成嚴(yán)重傷害。因此，業(yè)界亟需提供一種防爆外點(diǎn)火裝置以解決上述問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在上述缺陷，提供了一種防爆外點(diǎn)火裝置，克服石英點(diǎn)火腔室進(jìn)行工藝操作時(shí)因散熱量過大而出現(xiàn)爆裂，并對(duì)周圍人身財(cái)產(chǎn)造成傷害的現(xiàn)象。
[0005]為解決上述問題，本發(fā)明提供一種防爆外點(diǎn)火裝置，包括石英點(diǎn)火腔室、石英點(diǎn)火槍以及加熱器；所述石英點(diǎn)火腔室安裝在固定底座上并與所述石英點(diǎn)火槍連接，所述加熱器設(shè)置在所述石英點(diǎn)火腔室和石英點(diǎn)火槍之間為所述石英點(diǎn)火腔室提供熱量，所述石英點(diǎn)火腔室外部設(shè)置有防爆罩體，所述防爆罩體內(nèi)盛有用于冷卻所述石英點(diǎn)火腔室的冷卻液，且其外側(cè)設(shè)有與其相連通的冷卻水循環(huán)系統(tǒng)；其中，所述防爆罩體包括有內(nèi)罩體和外罩體，所述內(nèi)罩體和所述外罩體之間形成的空腔填充有高分子吸能材料。
[0006]優(yōu)選的，所述的高分子吸能材料包括聚酯型成型主料、低密度膨脹型顆粒材料、固化劑以及阻燃劑。
[0007]優(yōu)選的，所述罩體包括上罩體和下罩體，所述上罩體以及下罩體采用合頁(yè)式翻蓋連接。
[0008]優(yōu)選的，所述冷卻水循環(huán)系統(tǒng)包括:設(shè)置在下罩體底部的進(jìn)水口、設(shè)置在上罩體頂部的出水口以及連接所述進(jìn)水口以及出水口的水循環(huán)軟管，所述水循環(huán)軟管上設(shè)有用于冷卻水循環(huán)軟管內(nèi)液體的冷卻器，所述水循環(huán)軟管將下罩體內(nèi)的液體引入上罩體。
[0009]優(yōu)選的，所述水循環(huán)軟管為軟態(tài)波紋管式軟管。
[0010]優(yōu)選的，所述上罩體與下罩體的連接處設(shè)置有限位擋片，以限制所述上罩體打開的角度。
[0011]優(yōu)選的，所述防爆罩體上設(shè)置溫度傳感器，以實(shí)時(shí)檢測(cè)所述防爆罩體的溫度。
[0012]優(yōu)選的，所述溫度傳感器連接預(yù)警器，當(dāng)所述防爆罩體的溫度超越預(yù)設(shè)溫度值時(shí)啟動(dòng)預(yù)警器。
[0013]優(yōu)選的，所述石英點(diǎn)火腔室和石英點(diǎn)火槍分別通過調(diào)節(jié)支架安裝在固定底座上。
[0014]優(yōu)選的，所述調(diào)節(jié)支架為三維調(diào)節(jié)支架。
[0015]上述技術(shù)方案所提供的防爆外點(diǎn)火裝置，在現(xiàn)有的外點(diǎn)火裝置上加裝了復(fù)合結(jié)構(gòu)的防爆罩體以及冷卻水循環(huán)系統(tǒng)，能夠有效減少點(diǎn)火工藝時(shí)石英點(diǎn)火腔室熱量的散發(fā)，同時(shí)也起到了防爆護(hù)罩的作用，可以減少對(duì)人身的傷害和對(duì)周圍環(huán)境的影響；另外，在石英點(diǎn)火腔室、加熱器與固定底座之間安裝了三維調(diào)節(jié)支架，可以使此裝置進(jìn)行上下左右的細(xì)微調(diào)節(jié)，能很好的和外圍設(shè)備進(jìn)行對(duì)接。
【附圖說明】
[0016]結(jié)合附圖，并通過參考下面的詳細(xì)描述，將會(huì)更容易地對(duì)本發(fā)明有更完整的理解并且更容易地理解其伴隨的優(yōu)點(diǎn)和特征，其中:
[0017]圖1是本發(fā)明實(shí)施例的防爆外點(diǎn)火裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖2是本發(fā)明實(shí)施例的防爆外點(diǎn)火裝置的主視圖；
[0019]圖3是本發(fā)明實(shí)施例的防爆外點(diǎn)火裝置的側(cè)視圖。
[0020][圖中附圖標(biāo)記]:
[0021]10、固定底座；20、調(diào)節(jié)支架；30、加熱器；40、防爆罩體；50、石英點(diǎn)火槍；60、石英點(diǎn)火腔室；70、溫度傳感器；80、進(jìn)水口 ；90、水循環(huán)軟管；100、出水口 ；110、限位擋片；120、
冷卻器。
【具體實(shí)施方式】
[0022]為使本發(fā)明的內(nèi)容更加清楚易懂，以下結(jié)合說明書附圖，對(duì)本發(fā)明的內(nèi)容作進(jìn)一步說明。當(dāng)然本發(fā)明并不局限于該具體實(shí)施例，本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員所熟知的一般替換也涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。其次，本發(fā)明利用示意圖進(jìn)行了詳細(xì)的表述，在詳述本發(fā)明實(shí)例時(shí)，為了便于說明，示意圖不依照一般比例局部放大，不應(yīng)以此作為對(duì)本發(fā)明的限定。
[0023]需要說明的是，在下述的實(shí)施例中，利用圖1?圖3的示意圖對(duì)按本發(fā)明的防爆外點(diǎn)火裝置進(jìn)行了詳細(xì)的表述。在詳述本發(fā)明的實(shí)施方式時(shí)，為了便于說明，各示意圖不依照一般比例繪制并進(jìn)行了局部放大及省略處理，因此，應(yīng)避免以此作為對(duì)本發(fā)明的限定。
[0024]圖1示出了本發(fā)明實(shí)施例的防爆外點(diǎn)火裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖，圖2和圖3分別是其主視圖和側(cè)視圖，如圖1-3所示，該防爆外點(diǎn)火裝置包括安裝在固定底座10上的石英點(diǎn)火腔室60，與石英點(diǎn)火腔室60相連的石英點(diǎn)火槍50，以及設(shè)置在石英點(diǎn)火腔室60和石英點(diǎn)火槍50之間的加熱器30。為了有效降低石英點(diǎn)火腔室60在工藝操作過程中散發(fā)大量熱量，在石英點(diǎn)火腔室60外部設(shè)置了防爆罩體40。
[0025]本實(shí)施例中，防爆罩體40為復(fù)合結(jié)構(gòu)，包括有內(nèi)罩體和外罩體，所述內(nèi)罩體和所述外罩體之間形成的空腔填充有高分子吸能材料；高分子吸能材料包括聚酯型成型主料、低密度膨脹型顆粒材料、固化劑以及阻燃劑；通過設(shè)置復(fù)合結(jié)構(gòu)的防爆罩體40，抗爆能力強(qiáng)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，重量輕，方便轉(zhuǎn)移。
[0026]具體的，防爆罩體40包括上罩體和下罩體，所述上罩體以及下罩體采用合頁(yè)式翻蓋連接。為進(jìn)一步提高防爆效果，防爆罩體40外側(cè)設(shè)有與其相連通的冷卻水循環(huán)系統(tǒng)；所述冷卻水循環(huán)系統(tǒng)具體包括:設(shè)置在下罩體底部的進(jìn)水口 80、設(shè)置在上罩體頂部的出水口100以及連接所述進(jìn)水口 80以及出水口 100的水循環(huán)軟管90，所述水循環(huán)軟管90上設(shè)有用于冷卻水循環(huán)軟管90內(nèi)液體的冷卻器120，所述水循環(huán)軟管90將下罩體內(nèi)的液體引入上罩體。
[0027]該冷卻水循環(huán)系統(tǒng)的連接方式采用串聯(lián)下進(jìn)上出的方式，兩個(gè)獨(dú)立的冷卻的部分只用一路進(jìn)出水就可以滿足，從而減少了一路進(jìn)出水，采用卡套連接方式，