一種適用于半導(dǎo)體制造工藝的廢氣處理裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種廢氣處理裝置。更具體地說，本發(fā)明涉及一種適用于半導(dǎo)體制造工藝的廢氣處理裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體制作工藝中需要使用多種特殊氣體以及大量的酸或堿，在半導(dǎo)體制造的不同工藝中使用并產(chǎn)生大量的廢氣，這些廢氣通過排風系統(tǒng)收集并處理，以防止直接排放對環(huán)境以及人們的身體健康造成的嚴重后果。
[0003]半導(dǎo)體制作工藝中產(chǎn)生的廢氣一般采取水洗、燃燒、吸附、解離等方法，然而燃燒水洗式去除廢氣的方法能有效處理廢氣中的主要廢棄物PFCs，能處理大流量的廢氣，同時去除各種可燃性的污染物，對環(huán)境污染較少，但是燃燒室內(nèi)燃燒有回火造成燃燒室爆炸的風險，存在一定的安全隱患，同時，燃燒室內(nèi)氣體燃盡的灰燼以及高溫對燃燒室內(nèi)壁容易造成結(jié)垢，降低燃燒室的使用壽命，一般對燃燒室進行定期清理，但常以刮刀直接在燃燒室的內(nèi)壁上采用強力去除，對燃燒室的結(jié)構(gòu)造成破壞，仍舊會降低其使用壽命，另外，廢氣的處理除了燃燒之外，一般多采用水洗或其他酸堿性液體洗滌，水流量使用較多，資源浪費嚴重。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的一個目的是解決至少上述問題和/或缺陷，并提供至少后面將說明的優(yōu)點。
[0005]本發(fā)明還有一個目的是提供一種適用于半導(dǎo)體制造工藝的廢氣處理裝置，通過提供一種圓錐形的燃燒室，在小內(nèi)徑的進氣口設(shè)置回火防止器，以使燃燒室內(nèi)在發(fā)生回火時，氣體流路集中于燃燒室上部的進氣口，以降低可燃物造成爆炸的幾率，保證燃燒室的安全工作。
[0006]本發(fā)明還有一個目的是通過設(shè)置磨砂式的內(nèi)壁打磨裝置，結(jié)合具有伸縮結(jié)構(gòu)的L型主軸，充分清理燃燒室的內(nèi)壁，同時通過打磨棒清理燃燒室內(nèi)壁，相比使用刮刀減少對燃燒室內(nèi)壁的損傷，延長燃燒室的使用壽命。
[0007]本發(fā)明還有一個目的是通過在第一噴淋裝置和第二噴淋裝置中設(shè)置水幕板，增加水流路徑，以使水流充分接觸氣體，吸附氣體中的固體顆粒以及水流可以去除的有害氣體成分。
[0008]為了實現(xiàn)根據(jù)本發(fā)明的這些目的和其它優(yōu)點，提供了一種適用于半導(dǎo)體制造工藝的廢氣處理裝置，包括:
[0009]燃燒室，其為中空的圓錐形筒體，所述燃燒室的上部設(shè)有第一進氣口，其與第一進氣管連通，其下部設(shè)有第一排氣口，其中，所述燃燒室的內(nèi)徑自上至下逐步增大，所述第一進氣口處設(shè)有回火防止器；
[0010]第一沉降池，其位于所述燃燒室的下方，所述第一沉降池上方有第一開口，其側(cè)壁靠近所述第一開口的上部設(shè)有第二排氣口，其側(cè)壁靠近所述第一沉降池底部的部位設(shè)有第一排水口 ；
[0011 ] 第一噴淋裝置，其連接所述第一排氣口與所述第一開口，所述第一噴淋裝置為中空的長方體，其四個內(nèi)壁上依次自上而下設(shè)有朝下的水幕板，所述第一噴淋裝置的上部設(shè)有一連接控制閥的入水孔。
[0012]優(yōu)選的是，所述的適用于半導(dǎo)體制造工藝的廢氣處理裝置，還包括內(nèi)壁打磨裝置，其包括:
[0013]主軸，其豎直設(shè)置在所述燃燒室內(nèi)，所述主軸呈L型，包括縱軸和橫軸；
[0014]電機，其連接所述縱軸的一端并驅(qū)動所述主軸在所述燃燒室自轉(zhuǎn)；
[0015]打磨棒，其呈圓柱狀，所述打磨棒與所述橫軸的一端可拆卸連接，所述打磨棒傾斜設(shè)置在所述燃燒室內(nèi)，與所述燃燒室的內(nèi)壁平行，以使其與所述燃燒室的內(nèi)壁貼合。
[0016]優(yōu)選的是，所述的適用于半導(dǎo)體制造工藝的廢氣處理裝置，所述縱軸沿其軸向方向上設(shè)有竹節(jié)伸縮結(jié)構(gòu)。
[0017]優(yōu)選的是，所述的適用于半導(dǎo)體制造工藝的廢氣處理裝置，所述橫軸沿其軸向方向上設(shè)有竹節(jié)伸縮結(jié)構(gòu)。
[0018]優(yōu)選的是，所述的適用于半導(dǎo)體制造工藝的廢氣處理裝置，所述打磨棒包括柔性填充層和磨砂層，所述柔性填充層是采用橡膠制成的內(nèi)徑為4_6cm的圓柱體，所述磨砂層包覆在所述柔性填充層的圓周面上，其采用厚度為2-4_的海綿砂紙制成。
[0019]優(yōu)選的是，所述的適用于半導(dǎo)體制造工藝的廢氣處理裝置，還包括:
[0020]第二沉降池，其側(cè)壁的上部設(shè)有第二進氣口，所述第二進氣口通過一導(dǎo)管與所述第二排氣口連通，所述第二沉降池的上部設(shè)有第二開口，所述第二沉降池的側(cè)壁靠近所述第二沉降池底部的部位設(shè)有第二排水口；
[0021]第二噴淋裝置，其一端與所述第二開口連通，另一端與大氣連通，所述第二噴淋裝置的結(jié)構(gòu)與形狀和所述第一噴淋裝置相同。
[0022]優(yōu)選的是，所述的適用于半導(dǎo)體制造工藝的廢氣處理裝置，所述第二沉降池的上部設(shè)有貫通所述第二沉降池的引水管，其通過水栗和導(dǎo)管連接所述第一噴淋裝置的入水孔，所述引水管延伸到所述第二沉降池內(nèi)的長度為所述沉降池高度的1/4-1/3。
[0023]優(yōu)選的是，所述的適用于半導(dǎo)體制造工藝的廢氣處理裝置，所述第一沉降池的第二排氣口處設(shè)有可拆卸的過濾裝置。
[0024]優(yōu)選的是，所述的適用于半導(dǎo)體制造工藝的廢氣處理裝置，所述水幕板與所述第一噴淋裝置的內(nèi)壁呈45°，且所述水幕板未與所述內(nèi)壁相連的一端與所述第一噴淋裝置的中心線在一個平面上。
[0025]本發(fā)明至少包括以下有益效果:
[0026]I)通過提供一種圓錐形的燃燒室，在小內(nèi)徑的進氣口設(shè)置回火防止器，以使燃燒室內(nèi)在發(fā)生回火時，氣體流路集中于燃燒室上部的進氣口，以降低可燃物造成爆炸的幾率，保證燃燒室的安全工作；
[0027]2)通過設(shè)置磨砂式的內(nèi)壁打磨裝置，結(jié)合具有伸縮結(jié)構(gòu)的L型主軸，充分清理燃燒室的內(nèi)壁，同時通過打磨棒清理燃燒室內(nèi)壁，相比使用刮刀減少對燃燒室內(nèi)壁的損傷，延長燃燒室的使用壽命；
[0028]3)通過在第一噴淋裝置和第二噴淋裝置中設(shè)置水幕板，增加水流路徑，以使水流充分接觸氣體，吸附氣體中的固體顆粒以及水流可以去除的有害氣體成分；
[0029]4)通過在第二沉降池和第一噴淋裝置之間設(shè)置管道，由于第二沉降池中的液體較第一沉淀池中的雜質(zhì)少，可以帶第二沉降池沉降一段時間后，打開水栗，使第二沉降池中的液體流入第一噴淋裝置中，進行重復(fù)利用；
[0030]5)在第一沉降池的第二排氣口處設(shè)有可拆卸的過濾裝置，可以防止從第一沉降池流出的氣體進入第二沉降池和連接兩者的管道中，避免了管道堵塞，也提高了第二沉降池中液體的潔凈程度，避免從第二沉降池抽出的液體堵塞第一噴淋裝置中的圓形通孔。
[0031]本發(fā)明的其它優(yōu)點、目標和特征將部分通過下面的說明體現(xiàn)，部分還將通過對本發(fā)明的研究和實踐而為本領(lǐng)域的技術(shù)人員所理解。
【附圖說明】
[0032]圖1為本發(fā)明的適用于半導(dǎo)體制造工藝的廢氣處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0033]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明做進一步的詳細說明，以令本領(lǐng)域技術(shù)人員參照說明書文字能夠據(jù)以實施。
[0034]應(yīng)當理解，本文所使用的諸如“具有”、“包含”以及“包括”術(shù)語并不配出一個或多個其它元件或其組合的存在或添加。
[0035]圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的一種實現(xiàn)形式，一種適用于半導(dǎo)體制造工藝的廢氣處理裝置，包括:
[0036]燃燒