1.一種光學制造系統(tǒng),其特征在于,所述光學制造系統(tǒng)包括:精密氣體控制裝置、氣體管路以及環(huán)境控制裝置,其中:
所述氣體管路的兩端分別連接所述精密氣體控制裝置和環(huán)境控制裝置;
所述精密氣體控制裝置包括氣體回路,所述氣體回路包括:
除濕裝置,用于吸附輸入的氣體的至少部分水蒸氣,以對輸入的氣體進行除濕;
過濾器,用于對經(jīng)過除濕前和/或除濕后的氣體進行凈化過濾,并進一步將經(jīng)過除濕和凈化過濾的氣體通過所述氣體管路輸送到所述環(huán)境控制裝置;
所述環(huán)境控制裝置包括:
高效過濾器,用于對所述精密氣體控制裝置輸送的氣體進一步凈化過濾后輸送到所需的環(huán)境中。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學制造系統(tǒng),其特征在于,所述環(huán)境控制裝置還包括:
溫度傳感器、濕度傳感器以及風速傳感器,分別對環(huán)境的溫度參數(shù)、濕度參數(shù)以及風速參數(shù)進行采集并反饋給所述精密氣體控制裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學制造系統(tǒng),其特征在于,所述過慮器包括初效過濾器和中效過濾器,其中:
所述初效過濾器設置在所述除濕裝置的前端,用于對輸入的氣體進行初步凈化過濾,并將經(jīng)過初步過濾的氣體輸送到所述除濕裝置;
所述中效過濾器設置在所述除濕裝置的后端,用于對經(jīng)過除濕裝置除濕的氣體進行二次凈化過濾,以通過所述氣體管路輸送到所述環(huán)境控制裝置中。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光學制造系統(tǒng),其特征在于,所述氣體回路還包括換熱器,用于對輸入的氣體進行溫度控制。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學制造系統(tǒng),其特征在于,所述換熱器采用翅片管式換熱器,且所述換熱器的形式、換熱面積、迎風面積、總管長、水管排數(shù)和水管口徑可根據(jù)實際需要進行配置。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光學制造系統(tǒng),其特征在于,所述氣體回路還包括均風裝置、離心風機以及電加熱器,所述換熱器包括初級換熱器和次級換熱器,其中:
所述均風裝置的一側(cè)與外部環(huán)境空氣直接接觸,另一側(cè)與所述初效過濾器相連接,所述均風裝置用于將外部空氣經(jīng)過勻化后送入所述初效過濾器內(nèi)部;
所述離心風機的一側(cè)與所述初效過濾器連接,另一側(cè)與所述除濕裝置相連接,所述離心風機用于向經(jīng)過初步凈化過濾的氣體提供吸力;
所述除濕裝置的一側(cè)與所述離心風機相連接,另一側(cè)與所述初級換熱器相連接;
所述初級換熱器的一側(cè)與所述除濕裝置連接,另一側(cè)與所述電加熱器連接,所述初級換熱器用于向經(jīng)過除濕后的氣體提供初級溫度穩(wěn)定的溫度場,以進行初級氣體溫度控制;
所述電加熱器的一側(cè)與所述初級換熱器相連接,另一側(cè)與所述次級換熱器相連接,所述電加熱器用于對經(jīng)過初級氣體溫度控制的氣體進行加熱升溫控制;
所述次級換熱器的一側(cè)與電加熱器相連接,另一側(cè)與所述中效過濾器相連接,所述次級換熱器用于向經(jīng)過加熱升溫控制的氣體提供次級溫度穩(wěn)定的溫度場,以進行精密氣體溫度控制;
所述中效過濾器的一側(cè)與所述次級換熱器連接,另一側(cè)與所述氣體管路連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光學制造系統(tǒng),其特征在于,所述精密氣體控制裝置還包括液體回路,所述液體回路包括初級調(diào)節(jié)閥和次級調(diào)節(jié)閥,其中:
所述初級調(diào)節(jié)閥通過管路與所述初級換熱器連接,所述初級調(diào)節(jié)閥用于控制流入和流出所述初級換熱器的循環(huán)液的流量,以向所述初級換熱器提供初級溫度穩(wěn)定的溫度場;
所述次級調(diào)節(jié)閥通過管路與所述次級換熱器連接,所述次級調(diào)節(jié)閥用于控制流入和流出所述次級換熱器的循環(huán)液的流量,以向所述次級換熱器提供次級溫度穩(wěn)定的溫度場。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光學制造系統(tǒng),其特征在于,所述精密氣體控制裝置還包括主控器,所述主控器分別與所述離心風機、電加熱器、初級調(diào)節(jié)閥以及次級調(diào)節(jié)閥相連接,分別對所述離心風機的送風風量、電加熱器的加熱量、初級調(diào)節(jié)閥控制的循環(huán)液的流量以及次級調(diào)節(jié)閥控制的循環(huán)液的流量進行控制。
9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光學制造系統(tǒng),其特征在于,所述主控器進一步與所述環(huán)境控制裝置的溫度傳感器、濕度傳感器以及風速傳感器連接,以接收所述溫度參數(shù)、濕度參數(shù)以及風速參數(shù)并反饋給用戶。
10.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光學制造系統(tǒng),其特征在于,所述光學制造系統(tǒng)還包括液體恒溫控制裝置,所述液體恒溫控制裝置與所述精密氣體控制裝置相連接,用于利用外部循環(huán)液體對所述精密氣體控制裝置內(nèi)部的氣體溫度進行控制。