本實(shí)用新型屬于機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種烘干裝置，特別是一種硅片清洗機(jī)的熱吹風(fēng)烘干裝置。

背景技術(shù)：

科學(xué)技術(shù)的發(fā)展不斷推動著半導(dǎo)體的發(fā)展，自動化和計(jì)算機(jī)等技術(shù)發(fā)展，使硅片(集成電路)這種高技術(shù)產(chǎn)品的造價(jià)已降到十分低廉的程度。這使得硅片已廣泛應(yīng)用于航空航天、工業(yè)、農(nóng)業(yè)和國防，甚至悄悄進(jìn)入每一個(gè)家庭，因此對硅片的清洗要求就顯得尤為重要。在硅片生產(chǎn)過程中需要使用到硅片清洗機(jī)，現(xiàn)有的硅片清洗機(jī)往往都比較笨重，清洗后的硅片往往都是在硅片清洗機(jī)里直接進(jìn)行烘干，烘干效率低。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是針對現(xiàn)有的技術(shù)存在上述問題，提出了一種硅片清洗機(jī)的熱吹風(fēng)烘干裝置，該熱吹風(fēng)烘干裝置具有烘干效率高的特點(diǎn)。

本實(shí)用新型的目的可通過下列技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)：硅片清洗機(jī)的熱吹風(fēng)烘干裝置，所述硅片清洗機(jī)包括機(jī)架，在機(jī)架上固定有存放硅片的存放箱，存放箱具有熱風(fēng)進(jìn)口，其特征在于，本熱吹風(fēng)烘干裝置包括底座，在底座上固定有烘干箱，烘干箱包括內(nèi)箱和設(shè)置在內(nèi)箱外的外箱，所述內(nèi)箱和外箱之間具有空腔，所述空腔與內(nèi)箱的內(nèi)部腔室不連通，在空腔內(nèi)設(shè)置有導(dǎo)熱油，在外箱體一側(cè)上開設(shè)有進(jìn)油口，在外箱體另一側(cè)上開設(shè)有出油口，進(jìn)油口通過一根輸送管與一鍋爐相連通，鍋爐內(nèi)裝有導(dǎo)熱油，在輸送管上設(shè)置有輸送泵，出油口通過一根回油管與所述的鍋爐相連通；在內(nèi)箱一側(cè)上開設(shè)有出風(fēng)口，在內(nèi)箱另一側(cè)上開設(shè)有進(jìn)風(fēng)口，在出風(fēng)口處連接有出風(fēng)管，出風(fēng)管穿出外箱與上述的熱風(fēng)進(jìn)口相連通，且出風(fēng)管與空腔保持密封，在進(jìn)風(fēng)口處連接有進(jìn)風(fēng)管，進(jìn)風(fēng)管穿出外箱與一送風(fēng)泵相連通，且進(jìn)風(fēng)管與空腔保持密封，在內(nèi)箱中還設(shè)置有若干電加熱管。

本硅片清洗機(jī)的熱吹風(fēng)烘干裝置運(yùn)行原理如下，通過運(yùn)行輸送泵來讓外箱空腔內(nèi)的導(dǎo)熱油通過出油口由輸送管進(jìn)入鍋爐進(jìn)行加熱，而且鍋爐內(nèi)本身就有導(dǎo)熱油，可以使得加熱速度更快，在經(jīng)由輸送管進(jìn)入進(jìn)油口回到空腔，形成一種循環(huán)，使空腔內(nèi)的導(dǎo)熱油始終保持高溫，空腔內(nèi)的導(dǎo)熱油會加熱內(nèi)箱；通過運(yùn)行送風(fēng)泵來讓外界的空氣進(jìn)入，在通過進(jìn)風(fēng)管經(jīng)過外箱空腔這一段時(shí)導(dǎo)熱油可以初步將空氣加熱，經(jīng)過內(nèi)箱的內(nèi)部腔室時(shí)電加熱管進(jìn)一步對空氣加熱，同時(shí)內(nèi)箱的內(nèi)部腔室中的空氣在導(dǎo)熱油的加熱下，已經(jīng)處于一個(gè)較高的溫度，這樣使吹出的空氣具有很高的溫度，能有效的對硅片進(jìn)行烘干，提高了效率；出風(fēng)管和進(jìn)風(fēng)管與空腔保持密封可以保證導(dǎo)熱油不會流出，再由出風(fēng)口通過出風(fēng)管進(jìn)入到熱風(fēng)進(jìn)口到達(dá)存放箱，對硅片進(jìn)行烘干處理。

所述的內(nèi)箱和外箱均采用鋼質(zhì)材料制成。采用鋼質(zhì)材料可以減輕內(nèi)箱和外箱的重量，更加耐熱，且密閉性好。

所述內(nèi)箱的內(nèi)壁上固定有若干安裝桿，上述的電加熱管設(shè)置在安裝桿上。安裝桿可以加固電加熱管。

作為另外一種情況，在內(nèi)箱內(nèi)壁處固定有若干層金屬網(wǎng)，上述的電加熱管設(shè)置在金屬網(wǎng)上。金屬網(wǎng)更容易導(dǎo)熱，讓電加熱管加熱速度更快。

所述的底座下部還設(shè)置有若干個(gè)萬向輪。萬向輪可以方便底座的移動，降低勞動強(qiáng)度。

所述內(nèi)箱和外箱之間通過若干根立柱相固連。這樣使內(nèi)箱的底部和外箱的底部之間具有間隙，內(nèi)箱的底部也能得到加熱，提高加熱效果。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本硅片清洗機(jī)的熱吹風(fēng)烘干裝置具有以下優(yōu)點(diǎn)：

1、結(jié)構(gòu)簡單，重量較輕，可以任意移動熱吹風(fēng)烘干裝置，實(shí)用性強(qiáng)，降低勞動強(qiáng)度。

2、外箱空腔的導(dǎo)熱油通過輸送管由出油口到達(dá)鍋爐進(jìn)行加熱回到進(jìn)油口，形成一種循環(huán)，使空腔內(nèi)的導(dǎo)熱油始終保持高溫。

3、熱風(fēng)多次加熱，可以保持熱風(fēng)溫度，使得熱風(fēng)效果更好，提高烘干效率。

附圖說明

圖1是本硅片清洗機(jī)的熱吹風(fēng)烘干裝置的主視圖。

圖2是本硅片清洗機(jī)的熱吹風(fēng)烘干裝置的俯視圖。

圖3是本硅片清洗機(jī)的熱吹風(fēng)烘干裝置烘干箱帶安裝桿的剖視圖。

圖4是本硅片清洗機(jī)的熱吹風(fēng)烘干裝置烘干箱帶金屬網(wǎng)的剖視圖。

圖中，1、機(jī)架；2、存放箱；3、熱風(fēng)進(jìn)口；4、底座；5、烘干箱；51內(nèi)箱；52、外箱；511、內(nèi)部腔室；521、空腔；6、導(dǎo)熱油；7、進(jìn)油口；8、出油口；9、輸送管；91、輸送泵；10、鍋爐；11、回油管；12、出風(fēng)口；121、出風(fēng)管；13、進(jìn)風(fēng)口；131、進(jìn)風(fēng)管；14、送風(fēng)泵；15、電加熱管；16、安裝桿；17、金屬網(wǎng)；18、萬向輪；19、立柱。

具體實(shí)施方式

以下是本實(shí)用新型的具體實(shí)施例并結(jié)合附圖，對本實(shí)用新型的技術(shù)方案作進(jìn)一步的描述，但本實(shí)用新型并不限于這些實(shí)施例。

如圖1、圖2、圖3、圖4所示，硅片清洗機(jī)的熱吹風(fēng)烘干裝置，硅片清洗機(jī)包括機(jī)架1，在機(jī)架1上固定有存放硅片的存放箱2，存放箱2具有熱風(fēng)進(jìn)口3，本熱吹風(fēng)烘干裝置包括底座4，在底座4上固定有烘干箱5，烘干箱5包括內(nèi)箱51和設(shè)置在內(nèi)箱51外的外箱52，內(nèi)箱51和外箱52之間通過若干根立柱19相固連，內(nèi)箱51和外箱52之間具有空腔521，空腔521與內(nèi)箱51的內(nèi)部腔室511不連通，在空腔521內(nèi)設(shè)置有導(dǎo)熱油6，在外箱52體一側(cè)上開設(shè)有進(jìn)油口7，在外箱52體另一側(cè)上開設(shè)有出油口8，進(jìn)油口7通過一根輸送管9與一鍋爐10相連通，鍋爐10內(nèi)裝有導(dǎo)熱油6，在輸送管9上設(shè)置有輸送泵91，出油口8通過一根回油管11與所述的鍋爐10相連通；在內(nèi)箱51一側(cè)上開設(shè)有出風(fēng)口12，在內(nèi)箱51另一側(cè)上開設(shè)有進(jìn)風(fēng)口13，在出風(fēng)口12處連接有出風(fēng)管121，出風(fēng)管121穿出外箱與上述的熱風(fēng)進(jìn)口3相連通，且出風(fēng)管121與空腔521保持密封，在進(jìn)風(fēng)口13處連接有進(jìn)風(fēng)管131，進(jìn)風(fēng)管131穿出外箱52與一送風(fēng)泵14相連通，且進(jìn)風(fēng)管131與空腔521保持密封，在內(nèi)箱51中還設(shè)置有若干電加熱管15。

本實(shí)施案例中，為了可以減輕內(nèi)箱51和外箱52重量，更加耐熱，且密閉性好，內(nèi)箱51和外箱52均采用鋼質(zhì)材料制成。

如圖3所示，內(nèi)壁上固定有若干安裝桿16，電加熱管15設(shè)置在安裝桿16上，加固電加熱管15；

如圖4所示，在內(nèi)箱51內(nèi)壁處固定有若干層金屬網(wǎng)17，電加熱管15設(shè)置在金屬網(wǎng)17上，導(dǎo)熱速度更快。

如圖1所示，底座4下部還設(shè)置有若干個(gè)萬向輪18，方便移動，降低勞動強(qiáng)度。

本熱吹風(fēng)烘干裝置，通過運(yùn)行輸送泵91來讓外箱52空腔521內(nèi)的導(dǎo)熱油6通過出油口8由輸送管9進(jìn)入鍋爐10進(jìn)行加熱，而且鍋爐10內(nèi)本身就有導(dǎo)熱油8，可以使得加熱速度更快，在經(jīng)由輸送管9進(jìn)入進(jìn)油口7回到空腔521，形成一種循環(huán)，使空腔521內(nèi)的導(dǎo)熱油6始終保持高溫，空腔521內(nèi)的導(dǎo)熱油6會加熱內(nèi)箱51。

通過運(yùn)行送風(fēng)泵14來讓外界的空氣進(jìn)入，在通過進(jìn)風(fēng)管131經(jīng)過外箱52空腔521這一段時(shí)導(dǎo)熱油8可以初步將空氣加熱，經(jīng)過內(nèi)箱51的內(nèi)部腔室511時(shí)電加熱管15進(jìn)一步對空氣加熱，同時(shí)內(nèi)箱51的內(nèi)部腔室511中的空氣在導(dǎo)熱油8的加熱下，已經(jīng)處于一個(gè)較高的溫度，這樣使吹出的空氣具有很高的溫度，能有效的對硅片進(jìn)行烘干，提高了效率。

本文中所描述的具體實(shí)施例僅僅是對本實(shí)用新型精神作舉例說明。本實(shí)用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對所描述的具體實(shí)施例做各種各樣的修改或補(bǔ)充或采用類似的方式替代，但并不會偏離本實(shí)用新型的精神或者超越所附權(quán)利要求書所定義的范圍。

盡管本文較多地使用了1、機(jī)架；2、存放箱；3、熱風(fēng)進(jìn)口；4、底座；5、烘干箱；51內(nèi)箱；52、外箱；511、內(nèi)部腔室；521、空腔；6、導(dǎo)熱油；7、進(jìn)油口；8、出油口；9、輸送管；91、輸送泵；10、鍋爐；11、回油管；12、出風(fēng)口；121、出風(fēng)管；13、進(jìn)風(fēng)口；131、進(jìn)風(fēng)管；14、送風(fēng)泵；15、電加熱管；16、安裝桿；17、金屬網(wǎng)；18、萬向輪；19、立柱等術(shù)語，但并不排除使用其它術(shù)語的可能性。使用這些術(shù)語僅僅是為了更方便地描述和解釋本實(shí)用新型的本質(zhì)；把它們解釋成任何一種附加的限制都是與本實(shí)用新型精神相違背的。