本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種擴(kuò)散爐，特別是一種擴(kuò)散爐的爐門結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

擴(kuò)散爐是半導(dǎo)體生產(chǎn)線前工序的重要工藝設(shè)備之一，用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導(dǎo)纖維等行業(yè)的擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝。

擴(kuò)散爐的爐門需要較好的密封，目前市場(chǎng)上的擴(kuò)散爐的爐門結(jié)構(gòu)，密封圈使用壽命短、密封不可靠、密封圈更換維護(hù)頻度高、操作費(fèi)力等缺點(diǎn)。

經(jīng)檢索，如中國(guó)專利文獻(xiàn)公開(kāi)了一種擴(kuò)散爐自動(dòng)爐門【專利號(hào)：ZL201210244362.6；授權(quán)公告號(hào)：CN102767958A】。這種擴(kuò)散爐自動(dòng)爐門。它包括與爐管固定成一體的爐門固定板和左右兩扇對(duì)合的門體，所述兩個(gè)門體的上端通過(guò)一個(gè)鉸鏈連桿機(jī)構(gòu)與爐門固定板活動(dòng)連接，使兩個(gè)門體懸空吊掛著貼近爐口；一個(gè)電機(jī)通過(guò)一個(gè)蝸桿螺母與螺母絲杠傳動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)一個(gè)門體啟閉與施壓密封機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)門體啟閉與受壓密封。但是這種擴(kuò)散爐自動(dòng)爐門密封效果相對(duì)還不夠好、操作繁瑣。

所以，對(duì)于本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員，還有待研發(fā)出一種操作省力、密封效果好的爐門。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是針對(duì)現(xiàn)有的技術(shù)存在上述問(wèn)題，提出了一種擴(kuò)散爐的爐門結(jié)構(gòu)，本擴(kuò)散爐的爐門結(jié)構(gòu)具有密封效果好、 操作更加省力的特點(diǎn)。

本實(shí)用新型的目的可通過(guò)下列技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)：

擴(kuò)散爐的爐門結(jié)構(gòu)，擴(kuò)散爐包括內(nèi)部具有爐腔的爐體，爐體外側(cè)壁上開(kāi)設(shè)有與爐腔相連通的開(kāi)口，所述的開(kāi)口呈圓形，其特征在于，本爐門結(jié)構(gòu)包括爐門、導(dǎo)軌一和導(dǎo)軌二，所述導(dǎo)軌一和導(dǎo)軌二平行設(shè)置，導(dǎo)軌一的布置方向與重力方向相同，導(dǎo)軌二的布置方向與重力方向相同，導(dǎo)軌一和爐體之間具有間隙一，導(dǎo)軌一通過(guò)支架一固定在爐體上，導(dǎo)軌二和爐體之間具有間隙二，導(dǎo)軌二通過(guò)支架二固定在爐體上，間隙一等于間隙二，所述的爐門呈圓臺(tái)狀，爐門一端為小端，爐門另一端為大端，小端的外徑小于開(kāi)口的口徑，大端的外徑大于開(kāi)口的口徑，在導(dǎo)軌一和導(dǎo)軌二之間設(shè)置有滑塊，在滑塊上朝向爐體的一側(cè)面上固定有第一氣缸，第一氣缸的缸體固定在滑塊上，第一氣缸的活塞桿朝向爐體，第一氣缸的活塞桿端部與爐門的大端相固連；在爐體上部處還固定有第二氣缸，第二氣缸的活塞桿豎直向下，第二氣缸的活塞桿的端部與所述的滑塊相固定。

本擴(kuò)散爐的爐門結(jié)構(gòu)的原理大致是這樣的：當(dāng)需要更換爐料時(shí)，啟動(dòng)第一氣缸，第一氣缸的活塞桿向內(nèi)移動(dòng)，第一氣缸的活塞桿帶動(dòng)爐門，爐門被打開(kāi)，然后啟動(dòng)第二氣缸，第二氣缸活塞桿向上移動(dòng)，帶動(dòng)滑塊向上移動(dòng)，滑塊向上移動(dòng)帶動(dòng)第一氣缸向上移動(dòng)，第一氣缸向上移動(dòng)爐門向上移動(dòng)，工作人員可從開(kāi)口處更換爐料；當(dāng)更換好爐料后，再次啟動(dòng)第二氣缸，第二氣缸的活塞桿向下移動(dòng)，當(dāng)爐門與開(kāi)口處于同一水平時(shí)，啟動(dòng)第一氣缸，第一氣缸向外移動(dòng)，爐門小端進(jìn)入開(kāi)口，將開(kāi)口封閉，從打開(kāi)到關(guān)閉爐門的過(guò)程利用第一氣缸、第二氣缸、軌道和滑塊，使操作更加省力；通過(guò)爐門小端設(shè)置在開(kāi)口內(nèi)，大端設(shè)置在開(kāi)口外，起到很好的密封效果。

所述的導(dǎo)軌一下部處還設(shè)置有下限位塊，導(dǎo)軌一上部處還設(shè) 置有上限位塊。下限位塊起到定位作用，當(dāng)滑塊向下移動(dòng)到下限位塊時(shí)，爐門中心剛好對(duì)準(zhǔn)開(kāi)口中心，上限位塊防止滑塊跑出軌道。

所述爐門中部處開(kāi)設(shè)有呈環(huán)形的安裝槽，所述的安裝槽中設(shè)置有環(huán)形密封圈。環(huán)形密封圈增加了擴(kuò)散爐的密封性。

所述大端的端面上開(kāi)設(shè)有觀察孔，所述的觀察孔貫穿大端和小端，在觀察孔中設(shè)置有透明的玻璃?？赏ㄟ^(guò)觀察孔實(shí)時(shí)觀察爐內(nèi)情況，以便控制擴(kuò)散爐的溫度。

所述的玻璃的厚度與爐門的厚度相同。使玻璃剛好處于大端和小端之間。

所述的玻璃為防彈玻璃。防彈玻璃具有強(qiáng)度高，耐高溫等特點(diǎn)，保證了使用爐門的壽命。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本擴(kuò)散爐的爐門結(jié)構(gòu)具有以下優(yōu)點(diǎn)：

1、本實(shí)用新型通過(guò)以小端設(shè)置在開(kāi)口內(nèi)、大端設(shè)置在開(kāi)口外，從而提高了爐門的密封性。

2、本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置下限位塊，使第二氣缸的下降具有定位精確的優(yōu)點(diǎn)。

3、本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置第一氣缸、第二氣缸，使打開(kāi)或關(guān)閉爐門的過(guò)程操作省力，提高了生產(chǎn)效率。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型的立體示意圖。

圖2是本實(shí)用新型的側(cè)視圖。

圖中，1、爐體；2、開(kāi)口；3、爐門；3a、大端；3b、小端；3c、環(huán)形密封圈；3d、觀察孔；4、導(dǎo)軌一；5、導(dǎo)軌二；6、支架一；7、支架二；8、第一氣缸；9、第二氣缸；10、上限位塊；11、下限位塊；12、滑塊；13、連接板。

具體實(shí)施方式

以下是本實(shí)用新型的具體實(shí)施例并結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案作進(jìn)一步的描述，但本實(shí)用新型并不限于這些實(shí)施例。

如圖1、圖2所示，擴(kuò)散爐的爐門3結(jié)構(gòu)，擴(kuò)散爐包括內(nèi)部具有爐腔的爐體1，爐體1外側(cè)壁上開(kāi)設(shè)有與爐腔相連通的開(kāi)口2，開(kāi)口2呈圓形，本爐門3結(jié)構(gòu)包括爐門3、導(dǎo)軌一4和導(dǎo)軌二5，導(dǎo)軌一4和導(dǎo)軌二5平行設(shè)置，導(dǎo)軌一4的布置方向與重力方向相同，導(dǎo)軌二5的布置方向與重力方向相同，導(dǎo)軌一4和爐體1之間具有間隙一，導(dǎo)軌一4通過(guò)支架一6焊接固定在爐體1上，導(dǎo)軌二5和爐體1之間具有間隙二，導(dǎo)軌二5通過(guò)支架二7焊接固定在爐體1上，間隙一等于間隙二，爐門3呈圓臺(tái)狀，爐門3一端為小端3b，爐門3另一端為大端3a，小端3b的外徑小于開(kāi)口2的口徑，大端3a的外徑大于開(kāi)口2的口徑，在導(dǎo)軌一4和導(dǎo)軌二5之間設(shè)置有滑塊12，在滑塊12上朝向爐體1的一側(cè)面上用螺栓固定有第一氣缸8，第一氣缸8的缸體用螺栓固定在滑塊12上，第一氣缸8的活塞桿朝向爐體1，第一氣缸8的活塞桿端部與爐門3的大端3a相固連；在爐體1上部處焊接固定一連接板13，連接板13上還用螺栓固定有第二氣缸9，第二氣缸9的活塞桿豎直向下，第二氣缸9的活塞桿的端部與滑塊12相固定。

導(dǎo)軌一4下部處還設(shè)置有下限位塊11，導(dǎo)軌一4上部處還設(shè)置有上限位塊10。下限位塊11起到定位作用，當(dāng)滑塊12向下移動(dòng)到下限位塊11時(shí)，爐門3中心剛好對(duì)準(zhǔn)開(kāi)口2中心，上限位塊10防止滑塊12跑出軌道。

爐門3中部處開(kāi)設(shè)有呈環(huán)形的安裝槽，安裝槽中設(shè)置有環(huán)形密封圈3c。環(huán)形密封圈3c增加了擴(kuò)散爐的密封性。

大端3a的端面上開(kāi)設(shè)有觀察孔3d，觀察孔3d貫穿大端3a和小端3b，在觀察孔3d中設(shè)置有透明的玻璃，玻璃為防彈玻璃，玻璃的厚度與爐門3的厚度相同?？赏ㄟ^(guò)觀察孔3d實(shí)時(shí)觀察爐內(nèi) 情況，以便控制擴(kuò)散爐的溫度；防彈玻璃具有強(qiáng)度高，耐高溫等特點(diǎn)，保證了使用爐門3的壽命。

本擴(kuò)散爐的爐門3結(jié)構(gòu)的原理大致是這樣的：當(dāng)需要更換爐料時(shí)，啟動(dòng)第一氣缸8，第一氣缸8的活塞桿向內(nèi)移動(dòng)，第一氣缸8的活塞桿帶動(dòng)爐門3，爐門3被打開(kāi)，然后啟動(dòng)第二氣缸9，第二氣缸9活塞桿向上移動(dòng)，帶動(dòng)滑塊12向上移動(dòng)，滑塊12向上移動(dòng)帶動(dòng)第一氣缸8向上移動(dòng)，第一氣缸8向上移動(dòng)爐門3向上移動(dòng)，工作人員可從開(kāi)口2處更換爐料；當(dāng)更換好爐料后，再次啟動(dòng)第二氣缸9，第二氣缸9的活塞桿向下移動(dòng)，當(dāng)滑塊12移動(dòng)到下限位塊11時(shí)，爐門3與開(kāi)口2處于同一水平時(shí)，啟動(dòng)第一氣缸8，第一氣缸8向外移動(dòng)，爐門3小端3b進(jìn)入開(kāi)口2，將開(kāi)口2封閉，從打開(kāi)到關(guān)閉爐門3的過(guò)程利用第一氣缸8、第二氣缸9、軌道和滑塊12，使操作更加省力；通過(guò)爐門3小端3b設(shè)置在開(kāi)口2內(nèi)，大端3a設(shè)置在開(kāi)口2外，起到很好的密封效果。

本文中所描述的具體實(shí)施例僅僅是對(duì)本實(shí)用新型精神作舉例說(shuō)明。本實(shí)用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)所描述的具體實(shí)施例做各種各樣的修改或補(bǔ)充或采用類似的方式替代，但并不會(huì)偏離本實(shí)用新型的精神或者超越所附權(quán)利要求書(shū)所定義的范圍。

盡管本文較多地使用了爐體1；開(kāi)口2；爐門3；大端3a；小端3b；環(huán)形密封圈3c；觀察孔3d；導(dǎo)軌一4；導(dǎo)軌二5；支架一6；支架二7；第一氣缸8；第二氣缸9；上限位塊10；下限位塊11；滑塊12；連接板13等術(shù)語(yǔ)，但并不排除使用其它術(shù)語(yǔ)的可能性。使用這些術(shù)語(yǔ)僅僅是為了更方便地描述和解釋本實(shí)用新型的本質(zhì)；把它們解釋成任何一種附加的限制都是與本實(shí)用新型精神相違背的。