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      用于加工太陽能電池硅片的燒結(jié)爐的模塊化分區(qū)結(jié)構(gòu)的制作方法

      文檔序號:11045738閱讀:820來源:國知局
      用于加工太陽能電池硅片的燒結(jié)爐的模塊化分區(qū)結(jié)構(gòu)的制造方法與工藝

      本實(shí)用新型屬于太陽能電池片的制備設(shè)備領(lǐng)域,具體涉及一種硅片燒結(jié)爐,尤其涉及用于加工太陽能電池硅片的燒結(jié)爐的模塊化分區(qū)結(jié)構(gòu)。



      背景技術(shù):

      在當(dāng)今的晶體硅太陽能電池硅片的生產(chǎn)工藝中,漿料的烘干及燒結(jié)主要是靠紅外燈管的方式進(jìn)行升溫加熱。

      現(xiàn)有的燒結(jié)爐包括殼體、爐體以及穿設(shè)在爐體當(dāng)中的傳輸網(wǎng)鏈,殼體包圍在爐體外部,其中,爐體由上爐體和下爐體構(gòu)成,上爐體和下爐體中均設(shè)有紅外燈管,現(xiàn)有燒結(jié)爐中的上爐體和下爐體中的溫差小,無法精確控制爐體上、下、左、右各部分中的獨(dú)立溫度,也就是無法拉開爐體上、下、左、右各部分之間的溫差。然而,在加工生產(chǎn)中,硅片的工藝要求非常嚴(yán)格,太陽能電池硅片的正面涂覆有銀漿,而背面涂覆由鋁漿,銀漿和鋁漿的熔點(diǎn)不同,加工工藝要求太陽能硅片中的銀漿和鋁漿同步實(shí)現(xiàn)烘干燒結(jié),并且能夠確保硅片快燒和快冷。現(xiàn)有的燒結(jié)爐溫度控制粗糙,容易導(dǎo)致爐體中串溫,無法根據(jù)工藝要求精確控制爐體各部分的溫度。

      鑒于此,提出用于加工太陽能電池硅片的燒結(jié)爐的模塊化分區(qū)結(jié)構(gòu)是本所要研究的課題。



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      本實(shí)用新型目的是提供用于加工太陽能電池硅片的燒結(jié)爐的模塊化分區(qū)結(jié)構(gòu),主要解決現(xiàn)有的燒結(jié)爐溫度控制粗糙,無法根據(jù)工藝要求精確控制爐體各部分的溫度等問題。

      為達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:用于加工太陽能電池硅片的燒結(jié)爐的模塊化分區(qū)結(jié)構(gòu),所述燒結(jié)爐包括爐體;

      所述爐體包括沿長度方向上的至少五個獨(dú)立的燒結(jié)單元,該至少五個獨(dú)立的燒結(jié)單元依次串聯(lián)拼接形成一個連通的風(fēng)道;所述的至少五個獨(dú)立的燒結(jié)單元中,至少前兩個為烘干區(qū),至少后三個為燒結(jié)區(qū),每個烘干區(qū)中的燒結(jié)單元的長度均大于燒結(jié)區(qū)中的燒結(jié)單元的長度;

      其中,每個燒結(jié)單元均包括結(jié)構(gòu)、形狀、尺寸相同的上單元和下單元,上單元位于上方,下單元位于下方,下單元相對地面固定,上單元可相對下單元打開,所述上單元和下單元上下對合布置;

      所述上單元和下單元對合拼接形成一獨(dú)立的燒結(jié)單元,每相鄰兩個燒結(jié)單元之間設(shè)有一隔熱條,該隔熱條設(shè)在相鄰兩個燒結(jié)單元之間的保溫層中,將相鄰兩個燒結(jié)單元隔離開;

      每個上單元內(nèi)部均設(shè)有若干上加熱管,該若干上加熱管沿上單元長度方向依次間隔布置,且設(shè)于上氣室和風(fēng)道之間;每個下單元內(nèi)部均設(shè)有若干下加熱管,該若干下加熱管沿下單元長度方向依次間隔布置,且設(shè)于上風(fēng)道和下氣室之間;每個燒結(jié)區(qū)中上加熱管的間隔距離均小于烘干區(qū)中上加熱管的間隔距離,對應(yīng)每個燒結(jié)區(qū)中下加熱管的間隔距離均小于烘干區(qū)中下加熱管的間隔距離。

      上述技術(shù)方案中的有關(guān)內(nèi)容解釋如下:

      1、上述方案中,每個上氣室和下氣室中均分別設(shè)有一熱電偶,用于實(shí)時檢測氣室中的溫度。

      2、上述方案中,所述爐體中位于烘干區(qū)的入口端以及位于燒結(jié)區(qū)的出口端均設(shè)有一排廢結(jié)構(gòu),該排廢結(jié)構(gòu)包括廢氣排出管道,該廢氣排出管道中設(shè)有風(fēng)機(jī)。

      本實(shí)用新型工作原理是:本實(shí)用新型通過將燒結(jié)爐劃分成多個獨(dú)立的燒結(jié)單元,每個燒結(jié)單元均包括結(jié)構(gòu)、形狀、尺寸相同的上單元和下單元,所述上單元和下單元上下對合布置,這樣設(shè)置使得每個燒結(jié)單元中各自形成氣場,保證各個區(qū)域上、下、左、右均可以形成加工工藝中所需的溫差,通過每個區(qū)域中的獨(dú)立控溫,實(shí)現(xiàn)燒結(jié)爐中溫度的精確控制。

      硅片在燒結(jié)過程中,第一步,漿料先進(jìn)行烘干干燥,燒除有機(jī)溶劑和粘結(jié)劑,接著,當(dāng)溫度到達(dá)660攝氏度時,鋁/硅開始熔化為液相,然后當(dāng)溫度到達(dá)700攝氏度時,熔融的鋁和硅開始相互地傳遞形成Al/Si互溶的液體,在達(dá)到最高溫825攝氏度時,Al/Si互溶的液體完整地覆蓋在晶片的表面,當(dāng)冷卻時,溫度降至700攝氏度,硅原子快速地移回晶片表面,摻雜著Al原子形成P+結(jié)構(gòu)的背面反射場,當(dāng)溫度冷卻治550攝氏度以下時,背鋁硅片會轉(zhuǎn)換成Al-Si共晶結(jié)構(gòu)。

      而現(xiàn)有技術(shù)中的燒結(jié)爐由于溫度控制粗糙,無法滿足以上精度要求高的溫度條件。

      由于上述技術(shù)方案運(yùn)用,本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn):

      1、本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單,把整個風(fēng)道劃分為多個獨(dú)立區(qū)域,每個區(qū)域獨(dú)立控溫,能夠?qū)崿F(xiàn)各區(qū)域上、下、左、右溫度的精確控制,控制溫度為正負(fù)1度。

      2、側(cè)邊式排廢結(jié)構(gòu),保證烘干燒結(jié)過程中產(chǎn)生的氣狀、煙狀溶劑、粘結(jié)劑以及有機(jī)溶劑的及時排出。

      附圖說明

      附圖1為本實(shí)施例中燒結(jié)爐中爐體長度方向的剖面示意圖;

      附圖2為本實(shí)施例中含氣室的燒結(jié)單元的剖面示意圖;

      附圖3為本實(shí)施例中爐體通道處的剖面結(jié)構(gòu)示意圖;

      附圖4為本實(shí)施例中燒結(jié)爐的爐體的立體圖;

      附圖5為本實(shí)施例中燒結(jié)單元的下單的元爆炸圖。

      以上附圖中:1、爐體;10、殼體;11、烘干區(qū);12、燒結(jié)區(qū);13、冷卻單元;130、冷凝管;131、熱排放口;2、網(wǎng)鏈;3、排廢結(jié)構(gòu);30、排廢口;

      4、燒結(jié)單元;40、熱電偶;41、進(jìn)氣管;42、保溫層;43、透氣棉層;44、氣室;45、金屬密封罩;46、加熱管;5、爐體通道;50、隔熱條;6、硅片。

      具體實(shí)施方式

      下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述:

      實(shí)施例:用于加工太陽能電池硅片的燒結(jié)爐的模塊化分區(qū)結(jié)構(gòu)

      參見附圖1-5,包括爐體1以及穿設(shè)在爐體1當(dāng)中的傳輸網(wǎng)鏈2。

      其中,所述爐體1包括沿長度方向上的七個獨(dú)立的燒結(jié)單元4和相鄰兩個燒結(jié)單元4之間的爐體通道5,該七個獨(dú)立的燒結(jié)單元4依次串聯(lián)拼接形成一個連通的風(fēng)道;所述的七個獨(dú)立的燒結(jié)單元4中,前三個為烘干區(qū)11,后四個為燒結(jié)區(qū)12,每個烘干區(qū)11中的燒結(jié)單元4的長度均大于燒結(jié)區(qū)12中的燒結(jié)單元4的長度。

      其中,每個燒結(jié)單元4均包括結(jié)構(gòu)、形狀、尺寸相同的上單元和下單元,上單元位于上方,下單元位于下方,下單元相對地面固定,上單元可相對下單元打開,所述上單元和下單元上下對合布置,所述傳輸網(wǎng)鏈2位于上單元和下單元之間的空間中。

      所述上單元由上至下分別包括上殼體10、上保溫層42、上金屬密封罩45以及上透氣棉層43,本實(shí)施例中,所述上透氣棉層43采用陶瓷纖維材料屬性組裝形成,上金屬密封罩45為一帶有開口的罩體結(jié)構(gòu),所述上保溫層42包圍在該上金屬密封罩45四周及一端部,所述上透氣棉層43蓋合在上金屬密封罩45的開口上,使得上金屬密封罩45和上保溫層42之間形成一上氣室44;所述上殼體10、上保溫層42以及上金屬密封罩45中均開設(shè)有一對應(yīng)配合的上進(jìn)氣口,上進(jìn)氣口中穿設(shè)有一上進(jìn)氣管41,以使外部氣體能夠從進(jìn)氣口進(jìn)入上氣室44。

      相同于上單元,所述下單元由下至上分別包括下殼體、下保溫層、下金屬密封罩以及下透氣棉層,下金屬密封罩為一帶有開口的罩體結(jié)構(gòu),所述下保溫層包圍在該下金屬密封罩四周及一端部,所述下透氣棉層蓋合在下金屬密封罩的開口上,使得下金屬密封罩和下保溫層之間形成一下氣室;所述下殼體、下保溫層以及下金屬密封罩中均開設(shè)有一對應(yīng)配合的下進(jìn)氣口,下進(jìn)氣口中穿設(shè)有一下進(jìn)氣管以使外部氣體能夠從下進(jìn)氣口進(jìn)入下氣室。

      所述上單元和下單元對合拼接形成一獨(dú)立的燒結(jié)單元4,每相鄰兩個燒結(jié)單元4之間設(shè)有一隔熱條50,該隔熱條50設(shè)在相鄰兩個燒結(jié)單元4之間的保溫層42中,將相鄰兩個燒結(jié)單元4隔離開。

      每個上單元內(nèi)部均設(shè)有若干上加熱管46,該若干上加熱管46沿上單元長度方向依次間隔布置,且設(shè)于上氣室44和風(fēng)道之間;每個下單元內(nèi)部均設(shè)有若干下加熱管,該若干下加熱管沿下單元長度方向依次間隔布置,且設(shè)于上風(fēng)道和下氣室之間。

      工作過程中,爐體1外部的氣體同時從下進(jìn)氣口進(jìn)入下氣室,再從下氣室滲透入風(fēng)道中,也從上進(jìn)氣口進(jìn)入上氣室44,再從上氣室44滲透入風(fēng)道中,通過透氣棉層的多孔結(jié)構(gòu)設(shè)置,使得進(jìn)入風(fēng)道中的氣體溫度均勻,有利于硅片6的加工。

      為了實(shí)時檢測每個氣室中的溫度,每個上氣室和下氣室中均分別設(shè)有一熱電偶40。

      參見附圖1,所述爐體1還包括一冷卻單元13,冷卻單元13拼接在燒結(jié)區(qū)12遠(yuǎn)離烘干區(qū)11的一端。所述冷卻單元13上開設(shè)有熱排放口131,冷卻單元13內(nèi)部設(shè)有水冷式冷凝管130,用于對燒結(jié)后的硅片6進(jìn)行快速冷卻。所述冷卻單元13中還設(shè)有冷卻風(fēng)扇(圖中未標(biāo)出),用于將冷卻單元13中的熱氣快速排出冷卻單元13外。

      所述爐體1中位于烘干區(qū)11的入口端以及位于燒結(jié)區(qū)12的出口端均設(shè)有一排廢結(jié)構(gòu)3,該排廢結(jié)構(gòu)包括廢氣排出管道,廢氣排出管道具有排廢口30與外界連通,該廢氣排出管道中設(shè)有風(fēng)機(jī)(圖中未示出)。

      針對上述實(shí)施例,本實(shí)施例進(jìn)一步解釋及可能產(chǎn)生的變化描述如下:

      1、上述實(shí)施例中,所述爐體1包括沿長度方向上的七個獨(dú)立的燒結(jié)單元4和相鄰兩個燒結(jié)單元之間的爐體通道5,事實(shí)上,所述爐體1包括沿長度方向上的五個、或六個、或八個及八個以上的獨(dú)立的燒結(jié)單元4均是可行的,不僅限于本實(shí)施例中的五個燒結(jié)單元4。

      2、上述實(shí)施例中,所述冷卻單元13內(nèi)部設(shè)有水冷式冷凝管130,事實(shí)上,所述的冷卻單元13還可以采用其它如酒精式冷凝管(圖中未示出)等等冷卻結(jié)構(gòu),不僅限于本實(shí)施例中的冷卻結(jié)構(gòu)。

      上述實(shí)施例只為說明本實(shí)用新型的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn),其目的在于讓熟悉此項(xiàng)技術(shù)的人士能夠了解本實(shí)用新型的內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施,并不能以此限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。凡根據(jù)本實(shí)用新型精神實(shí)質(zhì)所作的等效變化或修飾,都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。

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