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      汽輪機(jī)凝汽器的真空調(diào)節(jié)裝置及其控制方法與流程

      文檔序號(hào):11577122閱讀:1238來源:國知局
      汽輪機(jī)凝汽器的真空調(diào)節(jié)裝置及其控制方法與流程

      本發(fā)明涉及一種汽輪機(jī)凝汽器的真空調(diào)節(jié)裝置及其控制方法,屬于汽輪機(jī)發(fā)電技術(shù)領(lǐng)域。



      背景技術(shù):

      真空系統(tǒng)是汽輪機(jī)重要輔助系統(tǒng),汽輪機(jī)真空系統(tǒng)主要由凝汽器、循環(huán)水泵、凝結(jié)水泵、抽氣機(jī)等組成。

      凝汽器的作用是:降低汽輪機(jī)的排氣壓力即形成高度真空,以增大蒸汽在汽輪機(jī)內(nèi)的理想焓降;將汽輪機(jī)排汽冷卻成為凝結(jié)水,回收工質(zhì)和一部分熱量;在機(jī)組啟、停中回收疏水;對(duì)凝結(jié)水和凝汽器補(bǔ)水進(jìn)行一級(jí)真空除氧。

      抽氣機(jī)的作用有二:一是在機(jī)組啟、停過程中,抽出凝汽器內(nèi)的空氣,建立啟動(dòng)真空;二是在機(jī)組運(yùn)行中,連續(xù)不斷地抽出凝汽器內(nèi)漏入的空氣等不凝結(jié)氣體和蒸汽,維持凝汽器內(nèi)的真空,以保證凝汽器的工作效率和提高機(jī)組經(jīng)濟(jì)性。

      循環(huán)水泵的作用是:連續(xù)不斷地向凝汽器及其他冷卻器(空冷器、冷油器)等提供一定壓力和流量的冷卻水,以保證它們工作需要。

      凝結(jié)水泵的作用是:將凝汽器中的凝結(jié)水連續(xù)不斷地輸送出去,送至除氧器作為鍋爐給水,以達(dá)到回收工質(zhì)的作用。

      在某些工況下,如汽輪機(jī)啟動(dòng)階段中速暖機(jī)或汽輪機(jī)解列后減少惰轉(zhuǎn)時(shí)間,需要對(duì)已建立的真空度進(jìn)行一定程度的破壞,常規(guī)的做法是:由運(yùn)行操作人員手動(dòng)打開真空調(diào)節(jié)閥,降低抽氣機(jī)的工作效果,靠凝汽器內(nèi)漏入的空氣或不凝結(jié)蒸汽來緩慢調(diào)節(jié)真空。這種方法的缺點(diǎn)是:調(diào)節(jié)真空速度慢,調(diào)節(jié)手段被動(dòng);純手動(dòng)操作,增加誤操作概率,對(duì)機(jī)組運(yùn)行有一定安全風(fēng)險(xiǎn)。



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn),本發(fā)明的目的在于提供一種汽輪機(jī)凝汽器的真空調(diào)節(jié)裝置及其控制方法,能夠安全、準(zhǔn)確地調(diào)節(jié)汽輪機(jī)凝汽器內(nèi)的真空度。

      為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供一種汽輪機(jī)凝汽器的真空調(diào)節(jié)裝置,采用如下技術(shù)方案:一種汽輪機(jī)凝汽器的真空調(diào)節(jié)裝置,所述凝汽器連接于汽輪機(jī)的排汽口,所述凝汽器通過連接管道連接在抽氣機(jī)的吸氣口上,連接管道上設(shè)有真空隔絕閥;凝汽器上還連接有真空度測(cè)量?jī)x和第一真空度調(diào)節(jié)閥,第一真空度調(diào)節(jié)閥具有與外界大氣連通的第一進(jìn)氣口,所述真空度測(cè)量?jī)x、第一真空度調(diào)節(jié)閥均與控制裝置連接,真空度測(cè)量?jī)x檢測(cè)凝汽器內(nèi)的真空度并將測(cè)量信息發(fā)給控制裝置,控制裝置根據(jù)所接收的測(cè)量信息來調(diào)節(jié)第一真空度調(diào)節(jié)閥的第一進(jìn)氣口的開度大小。

      優(yōu)選地,所述第一真空度調(diào)節(jié)閥通過第一連接管連接在凝汽器上;所述凝汽器上還連接有真空破壞閥,真空破壞閥通過第二連接管連接在凝汽器上,真空破壞閥具有與外界大氣連通的第二進(jìn)氣口;所述第二連接管的直徑大于第一連接管的直徑。

      優(yōu)選地,所述凝汽器上還連接有真空破壞閥,真空破壞閥通過第二連接管連接在凝汽器上,真空破壞閥具有與外界大氣連通的第二進(jìn)氣口;所述第一真空度調(diào)節(jié)閥通過第一連接管連接在第二連接管上;所述第二連接管的直徑大于第一連接管的直徑。

      優(yōu)選地,所述抽氣機(jī)的出氣口連接有氣水分離器,氣水分離器具有與外界大氣連通的出口。

      更為優(yōu)選地,所述氣水分離器上設(shè)有支路接口,真空隔絕閥與抽氣機(jī)的吸氣口之間的連接管道上設(shè)有連接口,連接口與所述支路接口之間連接有支路管道,支路管道上設(shè)有第二真空度調(diào)節(jié)閥。

      與本發(fā)明的一種汽輪機(jī)凝汽器的真空調(diào)節(jié)裝置相應(yīng)地,本發(fā)明還提供一種汽輪機(jī)凝汽器的真空調(diào)節(jié)裝置的控制方法,采用如下技術(shù)方案:一種汽輪機(jī)凝汽器的真空調(diào)節(jié)裝置的控制方法,采用上述技術(shù)方案或其任一優(yōu)選的技術(shù)方案所述的汽輪機(jī)凝汽器的真空調(diào)節(jié)裝置進(jìn)行作業(yè),包括如下作業(yè)步驟:1)抽氣機(jī)對(duì)凝汽器進(jìn)行抽真空時(shí),打開真空隔絕閥,關(guān)閉第一真空度調(diào)節(jié)閥;2)需要降低凝汽器內(nèi)真空度時(shí),控制裝置調(diào)節(jié)第一真空度調(diào)節(jié)閥使第一進(jìn)氣口的開度增大,外界空氣從第一進(jìn)氣口進(jìn)入凝汽器而使凝汽器內(nèi)真空度降低;控制裝置從真空度測(cè)量?jī)x獲取凝汽器內(nèi)的真空度;當(dāng)凝汽器內(nèi)的真空度降低至第一期望值時(shí),控制裝置停止調(diào)節(jié)第一真空度調(diào)節(jié)閥的第一進(jìn)氣口開度;3)需要升高凝汽器內(nèi)真空度時(shí),控制裝置調(diào)節(jié)第一真空度調(diào)節(jié)閥使第一進(jìn)氣口的開度減小從而使凝汽器內(nèi)真空度升高;控制裝置從真空度測(cè)量?jī)x獲取凝汽器內(nèi)的真空度;當(dāng)凝汽器內(nèi)的真空度升高至第二期望值時(shí),控制裝置停止調(diào)節(jié)第一真空度調(diào)節(jié)閥的第一進(jìn)氣口開度。

      優(yōu)選地,所述凝汽器上連接有真空破壞閥,真空破壞閥具有與外界大氣連通的第二進(jìn)氣口,第二進(jìn)氣口大于所述第一進(jìn)氣口;還包括以下作業(yè)步驟:4)需要破除凝汽器內(nèi)真空度時(shí),打開所述真空破壞閥使外界大氣從第二進(jìn)氣口進(jìn)入凝汽器。

      優(yōu)選地,所述抽氣機(jī)的出氣口連接有氣水分離器,氣水分離器具有與外界大氣連通的出氣口;所述氣水分離器上設(shè)有支路接口,真空隔絕閥與抽氣機(jī)的吸氣口之間的連接管道上設(shè)有連接口,連接口與所述支路接口之間連接有支路管道,支路管道上設(shè)有第二真空度調(diào)節(jié)閥;還包括如下步驟:5)需要降低凝汽器內(nèi)真空度時(shí),還可以調(diào)節(jié)第二真空調(diào)節(jié)閥使支路管道導(dǎo)通。

      如上所述,本發(fā)明涉及的一種汽輪機(jī)凝汽器的真空調(diào)節(jié)裝置及其控制方法,具有以下有益效果:在本發(fā)明的一種汽輪機(jī)凝汽器的真空調(diào)節(jié)裝置中,由于在凝汽器上連接有真空度測(cè)量?jī)x和第一真空度調(diào)節(jié)閥,所述真空度測(cè)量?jī)x、第一真空度調(diào)節(jié)閥均與控制裝置連接,這樣,當(dāng)抽氣機(jī)對(duì)凝汽器內(nèi)進(jìn)行抽真空時(shí),真空度測(cè)量?jī)x檢測(cè)凝汽器內(nèi)的真空度并將測(cè)量信息發(fā)給控制裝置,控制裝置根據(jù)所接收的測(cè)量信息來調(diào)節(jié)第一真空度調(diào)節(jié)閥的第一進(jìn)氣口的開度大小,從而調(diào)節(jié)凝汽器內(nèi)的真空度至期望值。由此可見,本發(fā)明的一種汽輪機(jī)凝汽器的真空調(diào)節(jié)裝置及其控制方法能夠自動(dòng)地調(diào)節(jié)凝汽器內(nèi)的真空度,過程安全、結(jié)果準(zhǔn)確。

      附圖說明

      圖1所示為凝汽器和汽輪機(jī)等設(shè)備在發(fā)電廠系統(tǒng)中的一種連接形式的示意圖。

      圖2顯示為本發(fā)明的一種汽輪機(jī)凝汽器的真空調(diào)節(jié)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

      元件標(biāo)號(hào)說明

      1進(jìn)汽管道14第一真空度調(diào)節(jié)閥

      2旁路管道15第一進(jìn)氣口

      3旁路控制閥16第一連接管

      4汽輪機(jī)17真空破壞閥

      5發(fā)電機(jī)18第二連接管

      6排汽口19第二進(jìn)氣口

      7凝汽器20出氣口

      8給水管道21氣水分離器

      9連接管道22出口

      10抽氣機(jī)23支路接口

      11吸氣口24連接口

      12真空隔絕閥25支路管道

      13真空度測(cè)量?jī)x26第二真空度調(diào)節(jié)閥

      具體實(shí)施方式

      以下由特定的具體實(shí)施例說明本發(fā)明的實(shí)施方式,熟悉此技術(shù)的人士可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本發(fā)明的其他優(yōu)點(diǎn)及功效。

      須知,本說明書所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等,均僅用以配合說明書所揭示的內(nèi)容,以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀,并非用以限定本發(fā)明可實(shí)施的限定條件,故不具技術(shù)上的實(shí)質(zhì)意義,任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整,在不影響本發(fā)明所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下,均應(yīng)仍落在本發(fā)明所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時(shí),本說明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語,亦僅為便于敘述的明了,而非用以限定本發(fā)明可實(shí)施的范圍,其相對(duì)關(guān)系的改變或調(diào)整,在無實(shí)質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下,當(dāng)亦視為本發(fā)明可實(shí)施的范疇。

      在采用汽輪機(jī)發(fā)電的電廠中,凝汽器是重要的設(shè)備之一,圖1顯示為凝汽器在汽輪機(jī)4發(fā)電廠中的一種較為常見的連接結(jié)構(gòu),進(jìn)汽管道1和鍋爐連接,從鍋爐中流出的高溫高壓蒸汽進(jìn)入汽輪機(jī)4中做功并最終從汽輪機(jī)4的排汽口6流出,進(jìn)汽管道1和汽輪機(jī)4的排汽口6之間設(shè)有旁路管道2,旁路管道2上連接有旁路控制閥3,在汽輪機(jī)4啟動(dòng)階段,進(jìn)汽管道1中的部分蒸汽進(jìn)入汽輪機(jī)4對(duì)汽輪機(jī)4進(jìn)行暖缸并使汽輪機(jī)4低速轉(zhuǎn)動(dòng),另一部分蒸汽通過旁路管道2排至凝汽器7中,將旁路控制閥3的開度逐漸減小,則進(jìn)入汽輪機(jī)4中的蒸汽增多,汽輪機(jī)4轉(zhuǎn)速加快,直至并網(wǎng)發(fā)電。汽輪機(jī)4的透平轉(zhuǎn)動(dòng)而帶動(dòng)發(fā)電機(jī)5發(fā)電;凝汽器7連接在汽輪機(jī)4的排汽口6上,從汽輪機(jī)4的排汽口6流入到凝汽器7中的蒸汽凝結(jié)成水并由給水泵經(jīng)給水管道8壓至鍋爐,鍋爐將進(jìn)入到鍋爐中的液態(tài)水加熱成高溫高壓蒸汽再輸入至汽輪機(jī)4進(jìn)行做功。

      如圖2所示,本發(fā)明提供一種汽輪機(jī)凝汽器的真空調(diào)節(jié)裝置,所述凝汽器7連接于汽輪機(jī)4的排汽口6,所述凝汽器7通過連接管道9連接在抽氣機(jī)10的吸氣口11上,連接管道9上設(shè)有真空隔絕閥12;凝汽器7上還連接有真空度測(cè)量?jī)x13和第一真空度調(diào)節(jié)閥14,第一真空度調(diào)節(jié)閥14具有與外界大氣連通的第一進(jìn)氣口15,所述真空度測(cè)量?jī)x13、第一真空度調(diào)節(jié)閥14均與控制裝置連接,真空度測(cè)量?jī)x13檢測(cè)凝汽器7內(nèi)的真空度并將測(cè)量信息發(fā)給控制裝置,控制裝置根據(jù)所接收的測(cè)量信息來調(diào)節(jié)第一真空度調(diào)節(jié)閥14的第一進(jìn)氣口15的開度大小。由于在凝汽器7上連接有真空度測(cè)量?jī)x13和第一真空度調(diào)節(jié)閥14,所述真空度測(cè)量?jī)x13、第一真空度調(diào)節(jié)閥14均與控制裝置連接,這樣,當(dāng)抽氣機(jī)10對(duì)凝汽器7內(nèi)進(jìn)行抽真空時(shí),真空度測(cè)量?jī)x13檢測(cè)凝汽器7內(nèi)的真空度并將測(cè)量信息發(fā)給控制裝置,控制裝置根據(jù)所接收的測(cè)量信息來調(diào)節(jié)第一真空度調(diào)節(jié)閥14的第一進(jìn)氣口15的開度大小,從而調(diào)節(jié)凝汽器7內(nèi)的真空度至期望值。由此可見,本發(fā)明的一種汽輪機(jī)凝汽器的真空調(diào)節(jié)裝置能夠自動(dòng)地調(diào)節(jié)凝汽器7內(nèi)的真空度,過程安全、結(jié)果易控且準(zhǔn)確。

      在汽輪機(jī)4機(jī)組的啟、停過程中,抽氣機(jī)10抽出凝汽器7內(nèi)的空氣使凝汽器7內(nèi)保持較高的真空度;在機(jī)組運(yùn)行中,抽氣機(jī)10連續(xù)不斷地抽出凝汽器7內(nèi)漏入的空氣等不凝結(jié)氣體和蒸汽,維持凝汽器7內(nèi)的真空度,以保證凝汽器7的工作效率和提高機(jī)組經(jīng)濟(jì)性。在本發(fā)明的一種汽輪機(jī)凝汽器的真空調(diào)節(jié)裝置中,在抽氣機(jī)10對(duì)凝汽器7進(jìn)行抽真空時(shí),真空隔絕閥12打開而使連接管道9導(dǎo)通。如圖2所示,作為一種優(yōu)選的方式,所述第一真空度調(diào)節(jié)閥14通過第一連接管16連接在凝汽器7上;在某些緊急情況下,需要快速地破除凝汽器7內(nèi)的真空度,使凝汽器7內(nèi)的真空度迅速地降低,為此,如圖2所示,所述凝汽器7上還連接有真空破壞閥17,真空破壞閥17通過第二連接管18連接在凝汽器7上,真空破壞閥17具有與外界大氣連通的第二進(jìn)氣口19;所述第二連接管18的直徑大于第一連接管16的直徑,真空破壞閥17的第二進(jìn)氣口19所能夠打開的最大開度大于第一真空度調(diào)節(jié)閥14的第一進(jìn)氣口15所能夠打開的最大開度,所以,通過打開真空破壞閥17能夠快速地破除凝汽器7內(nèi)的真空度,使凝汽器7內(nèi)的真空度迅速地降低。作為一種優(yōu)選的方式,可以將所述第一真空度調(diào)節(jié)閥14通過第一連接管16連接在第二連接管18上。為了防止凝汽器7內(nèi)的真空度降低過快,可以將第一連接管16的管徑設(shè)置的比較小,這樣就能限制外界空氣進(jìn)入到凝汽器7內(nèi)的流速,第一連接管16的直徑根據(jù)所需要調(diào)節(jié)的真空度范圍而設(shè)置,同樣,選用最大閥口開度較小的第一真空度調(diào)節(jié)閥14也可以限制外界空氣進(jìn)入到凝汽器7內(nèi)的流速,防止凝汽器7內(nèi)的真空度降低過快。

      抽氣機(jī)10將凝汽器7中的殘留蒸汽抽出以使凝汽器7內(nèi)保持較好的真空度,為了使這些殘留蒸汽凝結(jié)下來,如圖2所示,所述抽氣機(jī)10的出氣口20連接有氣水分離器21,氣水分離器21具有與外界大氣連通的出口22,抽氣機(jī)10將殘留蒸汽從凝汽器7內(nèi)抽出并排放至氣水分離器21中,殘留蒸汽在氣水分離器21中溫度降低而凝結(jié)成水并儲(chǔ)存在氣水分離器21中,殘留蒸汽中未能凝結(jié)下來的余氣從氣水分離器21的出口22排至大氣中。作為一種優(yōu)選的方式,如圖2所示,所述氣水分離器21上設(shè)有支路接口23,真空隔絕閥12與抽氣機(jī)10的吸氣口11之間的連接管道9上設(shè)有連接口24,連接口24與所述支路接口23之間連接有支路管道25,支路管道25上設(shè)有第二真空度調(diào)節(jié)閥26,將第二真空度調(diào)節(jié)閥26打開可以使支路管道25導(dǎo)通,則氣水分離器21與抽氣機(jī)10的吸氣口11相連通,抽氣機(jī)10的吸氣口11抽吸的氣體為從凝汽器7和氣水分離器21中進(jìn)入到抽氣機(jī)10吸氣口11中的氣體總和,這樣,在抽氣機(jī)10的功率不變的情況下,第二真空度調(diào)節(jié)閥26的開度增大,則抽氣機(jī)10從凝汽器7中抽吸的蒸汽就會(huì)減少,凝汽器7內(nèi)的真空度就會(huì)降低。若需要對(duì)凝汽器7內(nèi)的真空度升高,則將第二真空度調(diào)節(jié)閥26的閥口開度關(guān)小直至完全關(guān)閉。所以,通過調(diào)節(jié)第二真空度調(diào)節(jié)閥26也能夠?qū)δ?內(nèi)的真空度起到調(diào)節(jié)作用。

      與本發(fā)明的一種汽輪機(jī)凝汽器的真空調(diào)節(jié)裝置相應(yīng)地,本發(fā)明還提供一種汽輪機(jī)凝汽器的真空調(diào)節(jié)裝置的控制方法,采用如下技術(shù)方案:一種汽輪機(jī)凝汽器的真空調(diào)節(jié)裝置的控制方法,采用上述技術(shù)方案或其任一優(yōu)選的技術(shù)方案所述的汽輪機(jī)凝汽器的真空調(diào)節(jié)裝置進(jìn)行作業(yè),包括如下作業(yè)步驟:

      1)抽氣機(jī)10對(duì)凝汽器7進(jìn)行抽真空時(shí),打開真空隔絕閥12,關(guān)閉第一真空度調(diào)節(jié)閥14;

      2)需要降低凝汽器7內(nèi)真空度時(shí),控制裝置調(diào)節(jié)第一真空度調(diào)節(jié)閥14使第一進(jìn)氣口15的開度增大,外界空氣從第一進(jìn)氣口15進(jìn)入凝汽器7而使凝汽器7內(nèi)真空度降低;控制裝置從真空度測(cè)量?jī)x13獲取凝汽器7內(nèi)的真空度;當(dāng)凝汽器7內(nèi)的真空度降低至第一期望值時(shí),控制裝置停止調(diào)節(jié)第一真空度調(diào)節(jié)閥14的第一進(jìn)氣口15開度;

      3)需要升高凝汽器7內(nèi)真空度時(shí),控制裝置調(diào)節(jié)第一真空度調(diào)節(jié)閥14使第一進(jìn)氣口15的開度減小從而使凝汽器7內(nèi)真空度升高;控制裝置從真空度測(cè)量?jī)x13獲取凝汽器7內(nèi)的真空度;當(dāng)凝汽器7內(nèi)的真空度升高至第二期望值時(shí),控制裝置停止調(diào)節(jié)第一真空度調(diào)節(jié)閥14的第一進(jìn)氣口15開度。

      在上述步驟2)和步驟3)中,第一期望值和第二期望值預(yù)先設(shè)置在控制裝置中,第一期望值和第二期望值的具體數(shù)值根據(jù)實(shí)際情況而確定,在此處并不能一一列舉。與本發(fā)明的一種汽輪機(jī)凝汽器的真空調(diào)節(jié)裝置相應(yīng)地,本發(fā)明的一種汽輪機(jī)凝汽器的真空調(diào)節(jié)裝置的控制方法當(dāng)然具有上述本發(fā)明的一種汽輪機(jī)凝汽器的真空調(diào)節(jié)裝置的有益技術(shù)效果,此處不再贅述。

      如圖2所示,在所述凝汽器7上連接有真空破壞閥17,真空破壞閥17具有與外界大氣連通的第二進(jìn)氣口19,第二進(jìn)氣口19大于所述第一進(jìn)氣口15;作為一種優(yōu)選的方式,本發(fā)明的一種汽輪機(jī)凝汽器的真空調(diào)節(jié)裝置的控制方法還包括以下作業(yè)步驟:

      4)需要破除凝汽器7內(nèi)真空度時(shí),打開所述真空破壞閥17使外界大氣從第二進(jìn)氣口19進(jìn)入凝汽器7,從而使使凝汽器7內(nèi)真空度降低。這樣,在某些緊急情況發(fā)生時(shí),可以通過打開真空破壞閥17而破除凝汽器7內(nèi)的真空度。

      如圖2所示,所述抽氣機(jī)10的出氣口20連接有氣水分離器21,氣水分離器21具有與外界大氣連通的出氣口20;所述氣水分離器21上設(shè)有支路接口23,真空隔絕閥12與抽氣機(jī)10的吸氣口11之間的連接管道9上設(shè)有連接口24,連接口24與所述支路接口23之間連接有支路管道25,支路管道25上設(shè)有第二真空度調(diào)節(jié)閥26;本發(fā)明的一種汽輪機(jī)凝汽器的真空調(diào)節(jié)裝置的控制方法還包括如下步驟:

      5)需要降低凝汽器7內(nèi)真空度時(shí),還可以調(diào)節(jié)第二真空調(diào)節(jié)閥使支路管道25導(dǎo)通。

      這樣,在抽氣機(jī)10的功率不變的情況下,第二真空度調(diào)節(jié)閥26的開度增大,則抽氣機(jī)10從凝汽器7中抽吸的蒸汽就會(huì)減少,凝汽器7內(nèi)的真空度就會(huì)降低。若需要對(duì)凝汽器7內(nèi)的真空度升高,則將第二真空度調(diào)節(jié)閥26的閥口開度關(guān)小直至完全關(guān)閉。所以,通過調(diào)節(jié)第二真空度調(diào)節(jié)閥26也能夠?qū)δ?內(nèi)的真空度起到調(diào)節(jié)作用。

      基于上述實(shí)施例的技術(shù)方案,本發(fā)明的一種汽輪機(jī)凝汽器的真空調(diào)節(jié)裝置及其控制方法能夠自動(dòng)地調(diào)節(jié)凝汽器內(nèi)的真空度,過程安全、結(jié)果準(zhǔn)確。

      綜上所述,本發(fā)明有效克服了現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺點(diǎn)而具高度產(chǎn)業(yè)利用價(jià)值。

      上述實(shí)施例僅例示性說明本發(fā)明的原理及其功效,而非用于限制本發(fā)明。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本發(fā)明的精神及范疇下,對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行修飾或改變。因此,舉凡所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者在未脫離本發(fā)明所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變,仍應(yīng)由本發(fā)明的權(quán)利要求所涵蓋。

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