干燥過程中，所述調(diào)頻風刀裝置70中的所有風刀95與所述傳統(tǒng)風刀裝置40中的所有風刀55的噴氣方向為朝向所述基板10向下傾斜的一側(cè)，干燥過程中，風刀95/55噴出的斜向下氣流將所述基板10上殘留的清洗水沿所述基板10的向下的傾斜方向吹走或吹干。
[0075]上述基板清洗方法，通過在干燥過程中，將調(diào)頻風刀裝置70作為預吹干的風刀裝置，分別調(diào)節(jié)每個風刀95的氣流量和噴氣頻率，能夠迅速有效地吹散基板10上聚集在一起的清洗水，起到阻隔清洗水回流的作用，由于調(diào)頻風刀裝置70的高效干燥速率，可以適當提高基板10的運輸速度，從而提高基板10的清洗效度，同時，通過將傳統(tǒng)風刀裝置40作為攔截干燥不良的第二道風刀裝置，杜絕漏干燥的可能性，從而通過兩道吹干工序快速有效地去除基板10上殘留的清洗水，避免在后續(xù)工序中產(chǎn)生條形mura，既確保了清洗質(zhì)量又節(jié)省時間提高產(chǎn)能。另外，通過在干燥過程中設定了基板10的傾斜角度和不同的傾斜模式，借助重力影響，降低了清洗水回流的可能性，有助于提高基板10的干燥速度與干燥效果。
[0076]綜上所述，本發(fā)明提供的一種基板清洗方法，通過在干燥過程中將基板10設置為不同的傾斜角度和不同的傾斜模式，采用傳統(tǒng)風刀裝置40對基板10上殘留的清洗水進行徹底清除；或者在干燥過程中采用調(diào)頻風刀裝置70作為第一道吹干工序的風刀裝置，采用傳統(tǒng)風刀裝置40作為第二道吹干工序的風刀裝置，通過兩道吹干工序?qū)?0上殘留的清洗水進行徹底清除，同時可進一步將基板10設置為不同的傾斜角度和不同的傾斜模式，防止清洗水回流并且加快干燥速率，避免在后續(xù)工序中產(chǎn)生條形mura;另外，由于所述調(diào)頻風刀裝置70的高效干燥速率，可以適當提高基板10的運輸速度，從而加快基板10的清洗速度。
[0077]以上所述，對于本領域的普通技術人員來說，可以根據(jù)本發(fā)明的技術方案和技術構思作出其他各種相應的改變和變形，而所有這些改變和變形都應屬于本發(fā)明權利要求的保護范圍。
【主權項】
1.一種基板清洗方法，其特征在于，包括如下步驟: 步驟1、提供一基板(10)，采用水溶液對所述基板(10)進行清洗，以去除基板(10)上的污染物； 步驟2、提供第一干燥裝置，所述第一干燥裝置包括對基板(10)進行傳送的傳送輪、以及對基板(10)上殘留的清洗水進行清除的傳統(tǒng)風刀裝置(40)，所述傳統(tǒng)風刀裝置(40)包括在基板(10)的傳送過程中對應于所述基板(10)上方的第一風刀單元(51)以及對應于所述基板(10)下方的第二風刀單元(52)，所述第一風刀單元(51)與第二風刀單元(52)均包括沿水平方向設置的數(shù)個風刀(55)，在干燥過程中，所述傳統(tǒng)風刀裝置(40)中的所有風刀(55)同時開啟，且在干燥過程中一直保持噴氣狀態(tài)； 步驟3、將所述待干燥的基板(10)送入所述第一干燥裝置中，通過調(diào)節(jié)所述傳送輪的高度，將所述基板(1)的行進方向設置為與水平方向之間呈±9夾角的傾斜方向，開啟所述傳統(tǒng)風刀裝置(40)中的第一風刀單元(51)與第二風刀單元(52)中的所有風刀(55)，將所述基板(10)上殘留的清洗水沿所述基板(10)的傾斜方向吹走或吹干。2.如權利要求1所述的基板清洗方法，其特征在于，所述傳統(tǒng)風刀裝置(40)中的所有風刀(55)的氣流量需要統(tǒng)一進行調(diào)整，從而大小相同。3.如權利要求1所述的基板清洗方法，其特征在于，所述Θ的范圍為0-15°。4.如權利要求3所述的基板清洗方法，其特征在于，所述步驟3中，在基板(10)的干燥過程中，所述傳統(tǒng)風刀裝置(40)中的所有風刀(55)的噴氣方向為朝向所述基板(10)向下傾斜的一側(cè)。5.一種基板清洗方法，其特征在于，包括如下步驟: 步驟1、提供一基板(10)，采用水溶液對所述基板(10)進行清洗，以去除基板(10)上的污染物； 步驟2、提供第二干燥裝置，所述第二干燥裝置包括對基板(10)進行傳送的傳送輪、以及對基板(10)上殘留的清洗水進行清除的傳統(tǒng)風刀裝置(40)與調(diào)頻風刀裝置(70); 所述傳統(tǒng)風刀裝置(40)包括在基板(10)的傳送過程中對應于所述基板(10)上方的第一風刀單元(51)以及對應于所述基板(10)下方的第二風刀單元(52)，所述第一風刀單元(51)與第二風刀單元(52)均包括沿水平方向設置的數(shù)個風刀(55)，在干燥過程中所述傳統(tǒng)風刀裝置(40)中的所有風刀(55)同時開啟，且在干燥過程中一直保持噴氣狀態(tài)； 所述調(diào)頻風刀裝置(70)包括在基板(10)的傳送過程中對應于所述基板(10)上方的第三風刀單元(80)以及對應于所述基板(10)下方的第四風刀單元(90)，所述第三風刀單元(80)與第四風刀單元(90)均包括沿水平方向設置的數(shù)個風刀(95)，在干燥過程中，所述調(diào)頻風刀裝置(70)中的每個風刀(95)的開啟和關閉可以獨立進行控制，且每個風刀(95)的氣流量和噴氣頻率可以獨立進行調(diào)整； 步驟3、將所述待干燥的基板(10)送入所述第二干燥裝置中，所述基板(10)依次經(jīng)過所述調(diào)頻風刀裝置(70)與傳統(tǒng)風刀裝置(40)，從而所述基板(10)在傳送過程中首先采用所述調(diào)頻風刀裝置(70)對基板(10)上殘留的清洗水進行初步吹干，然后采用所述傳統(tǒng)風刀裝置(40)對基板(1)上的殘留水漬進行徹底吹干。6.如權利要求5所述的基板清洗方法，其特征在于，所述傳統(tǒng)風刀裝置(40)中的所有風刀(55)的氣流量需要統(tǒng)一進行調(diào)整，從而大小相同。7.如權利要求5所述的基板清洗方法，其特征在于，所述第三風刀單元(80)與第四風刀單元(90)均包括沿水平方向設置的9個風刀(95)，分別為第一風刀(I)、第二風刀(2)、第三風刀(3)、第四風刀(4)、第五風刀(5)、第六風刀(6)、第七風刀(7)、第八風刀(8)和第九風刀(9);在干燥過程中，所述第三風刀單元(80)與第四風刀單元(90)按照相同的模式運行，所述運行模式為以下三種模式中的任意一種: 模式1:在干燥過程中所述第一至第九風刀(1-9)同時開啟，且所述第一至第九風刀(1-9)的氣流量和噴氣頻率相同； 模式Π:將第一風刀(I)、第三風刀(3)、第五風刀(5)、第七風刀(7)、第九風刀(9)設為第一風刀組，將第二風刀(2)、第四風刀(4)、第六風刀(6)、第八風刀(8)設為第二風刀組，在干燥過程中將第一風刀組與第二風刀組間隔開啟，且兩風刀組的氣流量和噴氣頻率相同； 模式ΙΠ:將第一風刀(I)、第三風刀(3)、第五風刀(5)、第七風刀(7)、第九風刀(9)設為第一風刀組，將第二風刀(2)、第四風刀(4)、第六風刀(6)、第八風刀(8)設為第二風刀組，在干燥過程中將第一風刀組與第二風刀組間隔開啟，且兩風刀組的噴氣頻率相同，氣流量不同。8.如權利要求5所述的基板清洗方法，其特征在于，所述步驟3中，將所述基板(10)的行進方向設置為水平方向，或者通過調(diào)節(jié)所述傳送輪的高度，將所述基板(10)的行進方向設置為與水平方向之間呈± Θ夾角的傾斜方向。9.如權利要求8所述的基板清洗方法，其特征在于，所述Θ的范圍為0-15°。10.如權利要求8所述的基板清洗方法，其特征在于，所述步驟3中，當所述基板(10)的行進方向為與水平方向之間呈±Θ夾角的傾斜方向時，在基板(1)的干燥過程中，所述調(diào)頻風刀裝置(70)中的所有風刀(95)與所述傳統(tǒng)風刀裝置(40)中的所有風刀(55)的噴氣方向為朝向所述基板(10)向下傾斜的一側(cè)。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種基板清洗方法，通過在干燥過程中將基板(10)設置為不同的傾斜角度和不同的傾斜模式，采用傳統(tǒng)風刀裝置(40)對基板(10)上殘留的清洗水進行徹底清除；或者在干燥過程中采用調(diào)頻風刀裝置(70)作為第一道吹干工序的風刀裝置，采用傳統(tǒng)風刀裝置(40)作為第二道吹干工序的風刀裝置，通過兩道吹干工序?qū)?10)上殘留的清洗水進行徹底清除，同時可進一步將基板(10)設置為不同的傾斜角度和不同的傾斜模式，防止清洗水回流并且加快干燥速率，避免在后續(xù)工序中產(chǎn)生條形mura；另外，由于所述調(diào)頻風刀裝置(70)的高效干燥速率，可以適當提高基板(10)的運輸速度，從而加快基板(10)的清洗速度。
【IPC分類】F26B21/00, B08B3/00
【公開號】CN105605909
【申請?zhí)枴緾N201610029339
【發(fā)明人】鄭俊豐
【申請人】武漢華星光電技術有限公司
【公開日】2016年5月25日
【申請日】2016年1月15日