該組石墨電極柱的上部的外壁上各構(gòu)成有石墨電極柱外螺紋，在該石墨電極柱外螺紋上配設(shè)有一石墨電極柱限定螺母，在石墨電極柱的上部的中央位置開設(shè)有一電極連接螺紋孔，該電極連接螺紋孔為盲孔。
[0014]在本實(shí)用新型的又更而一個(gè)具體的實(shí)施例中，所述的饋電機(jī)構(gòu)包括上、下絕緣套、絕緣墊、固定板、電極接線板和電極，下絕緣套的中部位于所述石墨電極柱孔內(nèi)，下絕緣套的上端探出石墨電極柱孔并且在該上端的外壁上設(shè)有上絕緣套配接外螺紋，而下絕緣套的下端同樣探出石墨電極柱孔并且探入到所述的爐管加熱機(jī)構(gòu)腔內(nèi)，在該下絕緣套的下端的外壁上設(shè)有下絕緣套限定螺母配合外螺紋，在該下絕緣套限定螺母配合外螺紋上配設(shè)有一下絕緣套限定螺母，藉由該下絕緣套限定螺母而將下絕緣套限定在所述的爐筒上，在下絕緣套的長度方向的中央位置構(gòu)成有一石墨加熱棒孔，在上絕緣套的上絕緣套腔的下部的腔壁上構(gòu)成有上絕緣套配接內(nèi)螺紋，該上絕緣套配接內(nèi)螺紋與所述上絕緣套配接外螺紋螺紋配合，上絕緣套的上部探入到所述電極接口內(nèi)，所述的石墨電極柱的上部途經(jīng)石墨加熱棒孔探入到上絕緣套腔內(nèi)，并且由所述的石墨電極柱限定螺母限定，絕緣墊設(shè)置在所述電極接口上，在該絕緣墊的中央位置開設(shè)有一絕緣墊電極讓位孔，該絕緣墊電極讓位孔與所述上絕緣套腔相對(duì)應(yīng)，固定板疊置在絕緣墊上，并且該固定板通過一組固定板螺釘連同絕緣墊與電極接口固定，在固定板上并且在對(duì)應(yīng)于絕緣墊電極讓位孔的位置開設(shè)有固定板電極讓位孔，電極接線板套固在電極上，并且該電極接線板與外部電源電路電氣連接，而電極的下端以窄縮狀態(tài)構(gòu)成有一電極螺紋連接頭，該電極螺紋連接頭與所述電極連接螺紋孔配合連接，在電極上部的中央位置構(gòu)成有一電極冷卻腔。
[0015]在本實(shí)用新型的又進(jìn)而一個(gè)具體的實(shí)施例中，在所述的石墨棒連接座上構(gòu)成有一對(duì)石墨連接螺紋孔，該對(duì)石墨棒連接螺紋孔分別與所述的一組石墨加熱單元中的兩相鄰的石墨加熱單元連接；所述的一對(duì)石墨導(dǎo)電連接條中的其中一枚石墨導(dǎo)電連接條通過石墨螺母與所述的一組石墨加熱棒的一端端部固定連接，而一對(duì)石墨導(dǎo)電連接條中的另一枚石墨導(dǎo)電連接條同樣通過石墨螺母與一組石墨加熱棒的另一端端部固定連接。
[0016]本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案的技術(shù)效果在于:由于爐襯結(jié)構(gòu)采用了由石墨材料制成的爐筒、由碳纖維制成的爐筒內(nèi)套，以及采用了由石墨碳纖維制成的爐管，因而可顯著改善對(duì)爐管腔內(nèi)的產(chǎn)品的燒結(jié)溫度的均勻性而藉以保障對(duì)產(chǎn)品的燒結(jié)質(zhì)量。
【附圖說明】
[0017]圖1為本實(shí)用新型的實(shí)施例結(jié)構(gòu)圖。
[0018]圖2為圖1的剖視圖。
[0019]圖3為圖1所示的爐殼端蓋以及設(shè)置于爐殼端蓋上的端蓋密封機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖。
[0020]圖4為圖1所示的爐管加熱機(jī)構(gòu)以及饋電機(jī)構(gòu)的詳細(xì)結(jié)構(gòu)圖。
[0021]圖5為圖4的剖視圖。
[0022]圖6為圖1所示的爐筒的詳細(xì)結(jié)構(gòu)圖。
[0023]圖7為圖1所示的保護(hù)氣體引入機(jī)構(gòu)的詳細(xì)結(jié)構(gòu)圖。
[0024]圖8為圖1的橫截面示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0025]為了使專利局的審查員尤其是公眾能夠更加清楚地理解本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)和有益效果，申請(qǐng)人將在下面以實(shí)施例的方式作詳細(xì)說明，但是對(duì)實(shí)施例的描述均不是對(duì)本實(shí)用新型方案的限制，任何依據(jù)本實(shí)用新型構(gòu)思所作出的僅僅為形式上的而非實(shí)質(zhì)性的等效變換都應(yīng)視為本實(shí)用新型的技術(shù)方案范疇。
[0026]請(qǐng)參見圖1和圖2，給出了屬于高溫真空燒結(jié)爐的結(jié)構(gòu)體系的一爐殼1，該爐殼1在使用狀態(tài)下通過其底部的爐殼支承座18 (也可稱爐殼支承腿)以騰空于地坪的狀態(tài)并且同時(shí)以水平臥置狀態(tài)設(shè)置在使用的地坪上，圖中示出了位于爐殼1的左端和右端底部的各一對(duì)爐殼支承座18，該爐殼1具有一爐殼冷卻機(jī)構(gòu)11、并且在爐殼1上配接有爐管抽真空接口 12a、爐筒抽真空接口 12b、保護(hù)氣體管接口 12c和電極接口 13，在爐殼1的長度方向的左端端口和右端端口(以圖1所示位置狀態(tài)為例)的部位各擴(kuò)設(shè)有一爐殼法蘭邊14，并且在對(duì)應(yīng)于該爐殼法蘭邊14的部位配設(shè)有一爐殼端蓋15。前述的爐管抽真空接口 12a位于爐殼1的底部，該爐管抽真空接口 12a在使用狀態(tài)下通過抽真空管路與抽真空裝置如抽真空栗連接，由于該爐管抽真空接口 12a與下面將要提及的爐管4的爐管腔41相通，因而可起到對(duì)爐管腔41抽真空的作用。前述的爐筒抽真空接口 12b在爐殼1上的位置位于爐殼1的后側(cè)偏上方，在使用狀態(tài)下同樣通過抽真空管路與抽真空裝置如抽真空栗連接，由于該爐筒抽真空接口 12b在途經(jīng)爐殼1后探入到爐殼腔通風(fēng)道12d內(nèi)，因而可起到對(duì)爐殼腔通風(fēng)道12d的抽真空的作用。
[0027]給出了屬于本實(shí)用新型的爐襯結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)體系的一爐筒2，該爐筒2以套置于爐管4外的狀態(tài)并且同時(shí)以并行于前述爐殼1的長度方向的狀態(tài)設(shè)置在爐殼1的爐殼腔內(nèi)，并且該爐筒2的爐筒外壁與爐殼1的爐殼腔壁之間保持有空間，藉由該空間構(gòu)成為前述的爐殼腔通風(fēng)道12d，前述的保護(hù)氣體引入管接口 12c的下部探入到該爐殼通風(fēng)道12d內(nèi)，前述的電極接口 13同例。由圖1所示，在爐筒2的長度方向的左端端口和右端端口的部位各嵌置有一爐筒門蓋圈21，該爐筒門蓋圈21的表面與前述的爐殼法蘭邊14平齊。給出了一爐筒內(nèi)套3，該爐筒內(nèi)套3也可稱其為爐筒襯套，設(shè)置在爐筒2的爐筒腔內(nèi)并且與爐筒腔的腔壁貼觸。由此可知，由爐筒2和爐筒內(nèi)套3構(gòu)成高溫真空燒結(jié)爐的爐襯。
[0028]給出了在上面已提及的屬于高溫真空燒結(jié)爐的結(jié)構(gòu)體系的一爐管4，該爐管4設(shè)置在前述爐筒2的爐筒腔內(nèi)，并且該爐管4的外壁與前述爐筒內(nèi)套3之間保持有空間，藉由該空間構(gòu)成為爐管加熱機(jī)構(gòu)腔42，在爐管4的爐管腔41內(nèi)以并行于爐管腔41的長度方向并且位于爐管腔41的底部設(shè)置有一爐床411，爐床411的詳細(xì)結(jié)構(gòu)可參見圖8，用于燒結(jié)的產(chǎn)品例如氮化鋁基片或類似的在片由載具如匣缽或類似的容器如坩禍置于爐床411上。由此可知，爐筒2連同爐筒襯套3套置于爐管4外，而爐管4則位于爐殼1的中心位置。
[0029]給出了同樣屬于高溫真空燒結(jié)爐的結(jié)構(gòu)體系的一保護(hù)氣體引入機(jī)構(gòu)5，該保護(hù)氣體引入機(jī)構(gòu)5設(shè)置在前述爐管腔41內(nèi)，并且在對(duì)應(yīng)于前述保護(hù)氣體管接口 12c的位置伸展到爐殼1外與保護(hù)氣體供給源管路連接，這里包括在下面提及的保護(hù)氣體均指氮?dú)?，保護(hù)氣體供給源如氮?dú)夤蕖?br>[0030]給出了高溫真空燒結(jié)爐的結(jié)構(gòu)體系的一爐管加熱機(jī)構(gòu)6，該爐管加熱機(jī)構(gòu)6設(shè)置在前述爐管加熱機(jī)構(gòu)腔42內(nèi)，即位于爐管4外，并且在對(duì)應(yīng)于前述電極接口 13的位置伸展到爐殼1外與饋電機(jī)構(gòu)7電氣連接，上面提及的爐管抽真空接口 12a與前述爐管4的爐管腔41相通，同樣在上面提及的爐筒抽真空接口 12b與爐殼腔通風(fēng)道12d相通。
[0031]繼續(xù)見圖1，在前述的爐殼1上設(shè)置有與前述爐管4的爐管腔41相通的壓力檢測(cè)器安裝接口 12c、溫度測(cè)定器安裝接口 12f、熱電偶安裝接口 12g和紅外線探測(cè)器安裝接口12h，并且在爐殼1上還設(shè)置有與前述爐管加熱機(jī)構(gòu)腔42相通的加熱機(jī)構(gòu)腔溫度檢測(cè)器安裝接口 12i。將壓力檢測(cè)器例如壓力傳感器設(shè)置于壓力檢測(cè)器安裝接口 12e上，可測(cè)知爐管腔41內(nèi)的壓力；將溫度測(cè)定器如溫度傳感器設(shè)置于溫度測(cè)定器安裝接口 12f上，可測(cè)定爐管腔41內(nèi)的燒結(jié)溫度；熱電偶安裝接口 12g有兩個(gè)，將兩個(gè)熱電偶分別安裝于熱電偶安裝接口 12g，可起到控制爐管腔41內(nèi)的溫度的作用；將紅外線探測(cè)器安裝于紅外線探測(cè)器安裝接口 12h上，可了解爐管腔內(nèi)的所需工藝狀況。
[0032]繼續(xù)見圖1和圖2，上面提及的爐殼冷卻機(jī)構(gòu)11的優(yōu)選而非絕對(duì)限于的結(jié)構(gòu)如下:包括一爐殼冷卻隔套111、一組冷卻介質(zhì)引入接口 112和一組熱介質(zhì)引出接口 113，爐殼冷卻隔套111構(gòu)成于前述爐殼1上，一組冷卻介質(zhì)引入接口 112在對(duì)應(yīng)于爐殼1的長度方向的下部的位置以間隔狀態(tài)構(gòu)成于爐殼1上并且由冷卻介質(zhì)引入管路與冷卻介質(zhì)供給源連接，該組冷卻介質(zhì)引入接口 112均與爐殼冷卻隔套111相通，一組熱介質(zhì)引出接口 113在對(duì)應(yīng)于爐殼1的長度方向的上部的位置以間隔狀態(tài)構(gòu)成于爐殼1上并且由熱介質(zhì)引出管路與所述冷卻介質(zhì)供給源連接而形成冷卻介質(zhì)循環(huán)回路，該組熱介質(zhì)引出接口 113均與爐殼冷卻隔套111相通。前述的冷卻介質(zhì)為水，前述的冷卻介質(zhì)供給源如配置于循環(huán)水箱或循環(huán)水池上的循環(huán)水栗。由于一組冷卻介質(zhì)引入接口 112通過冷卻介質(zhì)引入管路與冷卻介質(zhì)供給源如前述的循環(huán)水栗的出水口連接，因而由一組冷卻介質(zhì)引入接口 112將冷卻介質(zhì)(水)引入爐殼冷卻隔套111，進(jìn)入爐殼冷卻隔套111內(nèi)的并且升溫后的熱介質(zhì)(水)經(jīng)一組熱介質(zhì)引出接口 113通過熱介質(zhì)引出管路引入前述的循環(huán)水箱或循環(huán)水池，以供循環(huán)水栗的進(jìn)水口抽取，如此循環(huán)而起到對(duì)爐殼1的物理降溫作用(水冷卻降溫作用)，避免爐殼1的溫升超出合理允許的程度。
[0033]繼續(xù)見圖1，在前述爐殼1的長度方向的左端和右端并且在對(duì)應(yīng)于前述爐殼法蘭邊14背對(duì)前述爐殼端蓋15的一側(cè)的位置圍繞爐殼1的圓周方向以間隔狀態(tài)固定有銷軸座16，在銷軸座16上通過銷軸1611鉸接有一鎖緊螺桿161，并且在該鎖緊螺桿161的末端配設(shè)有一手輪1612。在前述的爐殼端蓋15朝向爐殼1的一側(cè)并且在對(duì)應(yīng)于爐殼法蘭邊14的位置擴(kuò)設(shè)有一爐殼端蓋法蘭邊151，在該爐殼端蓋法蘭邊151背對(duì)爐殼法蘭邊14的一側(cè)并且圍繞爐殼端蓋法蘭邊151的圓周方向以間隔狀態(tài)固定有數(shù)量與前述銷軸座16的數(shù)量相等以及位置相對(duì)應(yīng)的端蓋鎖定爪1511，藉由前述鎖緊螺桿161探入或退出端蓋鎖定爪1511的鎖定爪槽15111并且對(duì)手輪1612作順時(shí)針或逆時(shí)針的操作而使?fàn)t殼端蓋15對(duì)爐殼1的端口封閉或解除封閉。此外，在前述爐殼1上并且在伴隨于銷軸座16的位置還固定有一對(duì)爐殼鉸鏈座17，而在爐殼端蓋15上并且在對(duì)應(yīng)于一對(duì)爐殼鉸鏈座17的位置固定有一對(duì)爐殼端蓋鉸鏈連接頭156，該對(duì)爐殼端蓋鉸鏈連接頭156各通過連接頭銷軸1561與一對(duì)爐殼鉸鏈座17鉸接。
[0034]優(yōu)選地，在前述爐殼法蘭邊14朝向爐殼端蓋15即朝向爐殼端蓋法蘭邊151的一側(cè)嵌設(shè)有一爐殼法蘭邊密封圈141，而在爐殼端蓋法蘭邊151上并且在對(duì)應(yīng)于爐殼法蘭邊密封圈141的位置嵌設(shè)有一對(duì)爐殼端蓋法蘭邊密封圈1512 (圖3示)。
[0035]請(qǐng)參見圖3，在前述的爐殼端蓋15上構(gòu)成有端蓋冷卻介質(zhì)隔套152，該端蓋冷卻介質(zhì)隔套152通過構(gòu)成于爐殼端蓋15上的并且與端蓋冷卻介質(zhì)隔套152相通的端蓋冷卻介質(zhì)引入接口 153和端蓋熱介質(zhì)引出接口 154與冷卻介質(zhì)供給源形成循環(huán)冷卻回路，并且在爐殼端蓋15上還設(shè)置有一用于對(duì)前述爐管4的爐管腔41的腔口以及對(duì)前述爐管加熱機(jī)構(gòu)腔42的腔口封閉或解除封閉的端蓋密封機(jī)構(gòu)8。在前述的爐殼腔通風(fēng)道12d內(nèi)并行于爐殼腔通風(fēng)道12d以間隔狀態(tài)設(shè)置有用于對(duì)所述爐筒2定位的爐筒墊塊22 (圖1示)。
[0036]由于前述的端蓋冷卻介質(zhì)隔套152、端蓋冷卻介質(zhì)引入接口 153以及端蓋熱介質(zhì)引出接口 154對(duì)爐殼端蓋15的循環(huán)冷卻回路以及作用機(jī)理等均與前述的爐殼冷卻機(jī)構(gòu)11相雷同，因而申請(qǐng)人不再贅述。
[0037]請(qǐng)重點(diǎn)見圖3，前述的端蓋密封機(jī)構(gòu)8的優(yōu)選而非絕對(duì)限于的結(jié)構(gòu)如下:包括動(dòng)圈驅(qū)動(dòng)作用缸81、動(dòng)圈支承連接座82、動(dòng)圈83、蓋板座架84、彈簧壓板85、后蓋板86、爐筒封閉蓋87、爐管蓋88和護(hù)圈89，動(dòng)圈驅(qū)動(dòng)作用缸81以水平懸臂狀態(tài)固定在前述爐殼端蓋15背對(duì)前述爐殼1的一側(cè)，并且位于爐殼端蓋15的邊緣部位，作為優(yōu)選的方案，在動(dòng)圈驅(qū)動(dòng)作用缸81與爐殼端蓋15相固定的部位設(shè)置有一作用缸密封座812，該動(dòng)圈驅(qū)動(dòng)作用缸81的動(dòng)圈驅(qū)動(dòng)作用缸柱811伸展到爐殼端蓋15的爐殼端蓋腔155內(nèi)，動(dòng)圈支承連接座82在爐殼端蓋腔155