加熱爐的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及工藝設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種加熱爐。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，在平板顯示及半導(dǎo)體行業(yè)中，生產(chǎn)顯示面板過程中，涉及到面板組裝工序。通常采用封膠框來連接兩層基板，兩層基板之間設(shè)置發(fā)光層。在對(duì)合兩個(gè)基板后，需要用加熱爐對(duì)封框膠進(jìn)行加熱固化，從而使兩個(gè)基板粘合到一起。
[0003]相關(guān)技術(shù)中的加熱爐一般包括加熱腔、熱源組件以及控制系統(tǒng)。在對(duì)封框膠進(jìn)行加熱固化過程中，需要支撐物支撐基板?，F(xiàn)有技術(shù)中，通常加熱爐包括進(jìn)氣管、預(yù)加熱單元和腔體等單元。在使用時(shí)進(jìn)氣管與預(yù)加熱單元相連，使通過進(jìn)氣管的工藝氣體進(jìn)行預(yù)加熱處理，以避免工藝氣體進(jìn)入腔體內(nèi)造成腔體內(nèi)熱量不均勻，影響封框膠的固化效果;預(yù)加熱單元與腔體連接，以使預(yù)加熱后的工藝氣體進(jìn)入腔體內(nèi)。
[0004]但是，加熱爐設(shè)置專門的預(yù)加熱單元提高了能量的消耗。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型提供加熱爐，以克服現(xiàn)有技術(shù)中加熱爐設(shè)置專門的預(yù)加熱單元增加了能量的消耗的技術(shù)問題。
[0006]本實(shí)用新型提供加熱爐，包括用于通過工藝氣體的進(jìn)氣管、熱排管和腔體，
[0007]所述熱排管與所述腔體連通，所述進(jìn)氣管包括進(jìn)氣口和出氣口，所述進(jìn)氣口位于所述腔體之外，所述出氣口位于所述腔體之內(nèi)，所述進(jìn)氣管的一部分伸入所述熱排管的內(nèi)部，且沿所述熱排管延伸一段長(zhǎng)度，所述進(jìn)氣管與所述腔體之間為密封連接，所述進(jìn)氣管處于所述熱排管內(nèi)部的部分與所述熱排管之間留有間隙。
[0008]優(yōu)選地，所述熱排管固定設(shè)置于所述腔體內(nèi)部，且沿豎直方向貼合于所述腔體的側(cè)壁。
[0009]優(yōu)選地，所述支架由石英或不銹鋼制成。
[0010]優(yōu)選地，所述進(jìn)氣管伸出所述腔體的部分設(shè)置有調(diào)節(jié)閥。
[0011 ]優(yōu)選地，所述進(jìn)氣管伸出所述腔體的部分還設(shè)置有過濾器，所述過濾器設(shè)置于所述調(diào)節(jié)閥和所述進(jìn)氣管與腔體的接合處之間。
[0012]優(yōu)選地，所述進(jìn)氣管伸出所述腔體的部分還設(shè)置有流量計(jì)，所述流量計(jì)設(shè)置于所述調(diào)節(jié)閥與所述過濾器之間。
[0013]優(yōu)選地，所述熱排管伸出所述腔體之外的部分還設(shè)置有尾氣處理單元。
[0014]優(yōu)選地，所述尾氣處理單元的輸出端還設(shè)置有風(fēng)機(jī)。
[0015]優(yōu)選地，所述進(jìn)氣管內(nèi)通入氮?dú)狻?br>[0016]本實(shí)用新型的加熱爐，包括用于通過工藝氣體的進(jìn)氣管、熱排管和腔體，所述熱排管與所述腔體連通，所述進(jìn)氣管包括進(jìn)氣口和出氣口，所述進(jìn)氣口位于所述腔體之外，所述出氣口位于所述腔體之內(nèi)，所述進(jìn)氣管的一部分伸入所述熱排管的內(nèi)部，且沿所述熱排管延伸一段長(zhǎng)度，所述進(jìn)氣管與所述腔體之間為密封連接，所述進(jìn)氣管處于所述熱排管內(nèi)部的部分與所述熱排管之間留有間隙。本實(shí)用新型的加熱爐通過將進(jìn)氣管的靠近出氣口的部分設(shè)置于熱排管內(nèi)部，使進(jìn)氣管中的工藝氣體通過熱排管內(nèi)的熱量進(jìn)行預(yù)加熱，從而提高了能源利用效率，減少了能量消耗。
【附圖說明】
[0017]為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作一簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0018]圖1為現(xiàn)有技術(shù)的加熱爐的示意圖；
[0019]圖2為本實(shí)用新型的加熱爐的實(shí)施例一的示意圖；
[0020]圖3為本實(shí)用新型的加熱爐的實(shí)施例二的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0021]為使本實(shí)用新型實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0022]圖1為現(xiàn)有的技術(shù)中的加熱爐的示意圖，如圖1所示，現(xiàn)有技術(shù)的加熱爐包括腔體
11、熱排管12、進(jìn)氣管13、預(yù)加熱單元14、過濾器15、流量計(jì)16、調(diào)節(jié)閥17、尾氣處理單元18、風(fēng)機(jī)19和支架20。其中，進(jìn)氣管13與腔體11密封連接，工藝氣體由進(jìn)氣管13的進(jìn)氣口進(jìn)入進(jìn)氣管13內(nèi)，通入腔體11內(nèi)，工藝氣體的流向如圖1中箭頭所示。在進(jìn)氣管13上還設(shè)置有調(diào)節(jié)閥17，通過調(diào)節(jié)閥17來調(diào)節(jié)工藝氣體的流量，在調(diào)節(jié)閥17和腔體11之間還設(shè)置有過濾器15和流量計(jì)16，在流量計(jì)16和腔體11之間還設(shè)置有預(yù)加熱單元14，以將工藝氣體進(jìn)行預(yù)加熱，避免溫度較低的工藝氣體進(jìn)入腔體11內(nèi)使腔體11內(nèi)的溫度不均勻;腔體11呈豎直放置，腔體11內(nèi)設(shè)置有放置基板的支架20，腔體11周圍設(shè)置有加熱裝置，支架20上的基板受熱后，基板上涂的光刻膠或封框膠發(fā)生固化反應(yīng);熱排管12設(shè)置于腔體11內(nèi)，并豎直貼合于腔體11的側(cè)壁，熱排管12的底部伸出腔體11之外，連接于尾氣處理單元18，尾氣處理單元18的輸出口設(shè)置有風(fēng)機(jī)19，以將尾氣處理單元18輸出的氣體冷卻，排出于大氣中。
[0023]現(xiàn)有技術(shù)中的加熱爐需要設(shè)置預(yù)加熱單元14為進(jìn)氣管13中的工藝氣體預(yù)加熱，同時(shí)熱排管12的熱量很高，如果能將進(jìn)氣管13設(shè)置于熱排管12中，不但能夠使加熱爐結(jié)構(gòu)更為簡(jiǎn)單，同時(shí)還能使能源充分利用，節(jié)約了能源。基于此構(gòu)思，發(fā)明人設(shè)計(jì)了如下實(shí)用新型。
[0024]圖2為本實(shí)用新型的加熱爐的實(shí)施例一的示意圖，如圖2所示，本實(shí)施例的加熱爐，具體可以包括用于通過工藝氣體的進(jìn)氣管21、熱排管22和腔體23。
[0025]為充分利用溫度較高的熱排管22為進(jìn)氣管21中的工藝氣體預(yù)加熱，可以將進(jìn)氣管21的一部分設(shè)置于熱排管22中，具體技術(shù)方案如下:所述熱排管22與所述腔體23連通，所述進(jìn)氣管21包括進(jìn)氣口和出氣口，所述進(jìn)氣口位于所述腔體23之外，所述出氣口位于所述腔體23之內(nèi)，所述進(jìn)氣管21的一部分伸入所述熱排管22的內(nèi)部，且沿所述熱排管22延伸一段長(zhǎng)度，所述進(jìn)氣管21與所述腔體23之間為密封連接，所述進(jìn)氣管21處于所述熱排管22內(nèi)部的部分與所述熱排管22之間留有間隙。
[0026]這樣將進(jìn)氣管21通入工藝氣體后，工藝氣體流經(jīng)進(jìn)氣管21位于熱排管22中的一部分，并流過一段長(zhǎng)度后，溫度升高，達(dá)到為工藝氣體預(yù)加熱的目的。且進(jìn)氣管21處于所述熱排管22內(nèi)部的部分與所述熱排管22之間留有間隙，不會(huì)影響熱排管22排出廢氣的作用。
[0027]為放置基板，在腔體23內(nèi)設(shè)置有至少一層用于放置基板的支架24。在具體實(shí)施時(shí)，腔體23內(nèi)可以設(shè)置多層支架24，以放置多個(gè)基板。具體地基板為玻璃基板，支架24為具有耐熱性能的支架，可以為石英支架或者不銹鋼支架。
[0028]由于腔體23內(nèi)設(shè)置有很多層支架24，每層支架24上放置基板，為利于每層支架24上方的空間進(jìn)行排出廢氣，將熱排管22固定設(shè)置于所述腔體23內(nèi)部，且沿豎直方向貼合于所述腔體23的側(cè)壁，這樣每層支架24上方的空間的氣體都能流入熱排管22中。
[0029]在本實(shí)施例中，熱排管22的作用是使腔體23中的廢氣(例如，蒸發(fā)的光刻膠)通過，并排出腔體23之外。因此，熱排管22的數(shù)量可以是一個(gè)或多個(gè)。當(dāng)