本發(fā)明涉及一種清洗機(jī)構(gòu)，一種特別適用于濕式制程的清洗機(jī)構(gòu)，尤其是用于面板產(chǎn)業(yè)。

背景技術(shù)：

在面板產(chǎn)業(yè)中，濕式制程發(fā)展的已經(jīng)相當(dāng)成熟。然而，受限于現(xiàn)有的機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)，在實(shí)際操作中仍存在許多問題，如維修空間不足、耗液量大、均勻性不佳、漏液以及傳感器作動(dòng)異常。

現(xiàn)有技術(shù)中，濕式制程的刷毛很容易沾附臟污，進(jìn)而縮短刷毛的使用壽命，因此增加更換的人力以及成本。

因此，有必要提供一種清洗機(jī)構(gòu)，以解決上述之問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

有鑒于此，本發(fā)明目的在于提供一種清洗機(jī)構(gòu)，其具有改善上述之問題的功效。

為達(dá)成上述目的，本發(fā)明提供一種清洗機(jī)構(gòu)，所述清洗機(jī)構(gòu)包括一操作腔室以及至少一模刷。

所述操作腔室，用于容置至少一基板以執(zhí)行濕式制程。所述模刷，設(shè)置于所述操作腔室內(nèi)且用于對(duì)所述至少一基板上進(jìn)行清洗程序。所述至少一模刷包括一主軸、復(fù)數(shù)刷毛以及復(fù)數(shù)主貫孔。所述主軸以所述主軸的一長軸為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。所述復(fù)數(shù)刷毛，設(shè)置于所述主軸，用于對(duì)所述操作腔室內(nèi)部的所述至少一基板上進(jìn)行物理清潔。所述復(fù)數(shù)主貫孔，與所述復(fù)數(shù)刷毛沿著所述長軸 的一延伸方向交錯(cuò)配置于所述主軸的外表面上。

在一優(yōu)選實(shí)施例中，所述主軸還包括一沿著所述長軸的所述延伸方向之管線。

在一優(yōu)選實(shí)施例中，所述復(fù)數(shù)主貫孔與所述管線連通，所述管線用于輸送清潔物質(zhì)，進(jìn)而通過所述復(fù)數(shù)主貫孔噴灑所述清潔物質(zhì)至所述操作腔室內(nèi)的所述至少一基板上以進(jìn)行化學(xué)清潔。

在一優(yōu)選實(shí)施例中，每一所述復(fù)數(shù)刷毛還形成一刷毛貫孔，每一所述刷毛貫孔與所述管線連通，以通過每一所述復(fù)數(shù)刷毛貫孔噴灑所述清潔物質(zhì)至所述操作腔室內(nèi)部的所述至少一基板上。

在一優(yōu)選實(shí)施例中，所述復(fù)數(shù)刷毛與所述復(fù)數(shù)主貫孔配置在所述主軸的外表面上的數(shù)量比為5:1-10:1。

為達(dá)成上述目的，本發(fā)明提供一種清洗機(jī)構(gòu)，特別適用于濕式制程，所述清洗機(jī)構(gòu)包括一操作腔室以及至少一模刷。

所述操作腔室，用于容置至少一基板以執(zhí)行濕式制程。所述至少一模刷，設(shè)置于所述操作腔室內(nèi)且用于對(duì)所述至少一基板進(jìn)行清洗程序。所述至少一模刷包括一主軸以及復(fù)數(shù)刷毛。所述主軸以所述主軸的一長軸為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。所述復(fù)數(shù)刷毛，設(shè)置于所述主軸，用于對(duì)所述操作腔室內(nèi)部的所述至少一基板進(jìn)行物理清潔。每一所述復(fù)數(shù)刷毛還形成一刷毛貫孔。

在一優(yōu)選實(shí)施例中，所述主軸還包括一沿著所述長軸的所述延伸方向之管線，所述復(fù)數(shù)刷毛貫孔與所述管線連通，以通過每一所述刷毛貫孔噴灑清潔物質(zhì)至所述操作腔室內(nèi)部的所述至少一基板。

在一優(yōu)選實(shí)施例中，所述模刷還包括復(fù)數(shù)主貫孔，與所述復(fù)數(shù)刷毛沿著所述長軸的一延伸方向交錯(cuò)配置于所述主軸的外表面上。

在一優(yōu)選實(shí)施例中，所述復(fù)數(shù)主貫孔與所述管線連通，以便通過所述復(fù)數(shù)主貫孔噴灑所述清潔物質(zhì)至所述操作腔室內(nèi)部的所述至少一基板上。

在一優(yōu)選實(shí)施例中，所述復(fù)數(shù)刷毛與所述復(fù)數(shù)主貫孔配置在所述主軸的外表面上的數(shù)量比為5:1-10:1。

相較于先前技術(shù)，本發(fā)明中通過在刷毛上設(shè)置貫孔，讓具有特定壓力的物質(zhì)可以通過所述貫孔，在刷毛清潔基板時(shí)可以藉由所述清潔物質(zhì)避免臟污附著到刷毛上，進(jìn)而解決先前技術(shù)存在的技術(shù)問題。

附圖說明

圖1，繪示本發(fā)明的清洗機(jī)構(gòu)之示意圖；

圖2，繪示圖1標(biāo)示的部位a的第一優(yōu)選實(shí)施例的局部放大示意圖；

圖3，繪示圖1的部位a的第二優(yōu)選實(shí)施例的局部放大示意圖；以及

圖4，繪示圖1的部位a的第三優(yōu)選實(shí)施例的局部放大示意圖。

具體實(shí)施方式

以下參照附圖詳細(xì)說明的實(shí)施例將會(huì)使得本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征以及實(shí)現(xiàn)這些優(yōu)點(diǎn)和特征的方法更加明確。但是，本發(fā)明不局限于以下所公開的實(shí)施例，本發(fā)明能夠以互不相同的各種方式實(shí)施，以下所公開的實(shí)施例僅用于使本發(fā)明的公開內(nèi)容更加完整， 有助于本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員能夠完整地理解本發(fā)明之范疇，本發(fā)明是根據(jù)申請(qǐng)專利范圍而定義。在說明書全文中，相同的附圖標(biāo)記表示相同的裝置組件。

參考圖1-2。圖1，繪示本發(fā)明的清洗機(jī)構(gòu)100之示意圖。圖2，繪示圖1所標(biāo)示的一部位a的第一優(yōu)選實(shí)施例的局部放大示意圖。所述清洗機(jī)構(gòu)100包括一操作腔室110、一模刷120、一清潔物質(zhì)收容裝置(未圖標(biāo))、一幫浦(未圖示)。于本實(shí)施例中，并不限定所述模刷120的數(shù)量，可依實(shí)際需求設(shè)置。所述清洗機(jī)構(gòu)100利用所述模刷120清潔至少一基板(未圖示)上的臟污。所述操作腔室110，用于容置所述至少一基板以執(zhí)行濕式制程。所述至少一模刷120，設(shè)置于所述操作腔室110內(nèi)且用于進(jìn)行清洗程序。所述模刷120包括一主軸121、復(fù)數(shù)刷毛122以及復(fù)數(shù)主貫孔124。所述主軸121以所述主軸121的一長軸1205為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。所述復(fù)數(shù)刷毛122，設(shè)置于所述主軸121，用于對(duì)所述操作腔室110內(nèi)部的所述至少一基板進(jìn)行物理清潔(如摩擦或撞擊)。所述復(fù)數(shù)主貫孔124與所述復(fù)數(shù)刷毛122沿著所述長軸1205的一延伸方向1204均勻分布地交錯(cuò)配置于所述主軸121的外表面上。優(yōu)選地，所述復(fù)數(shù)刷毛122與所述復(fù)數(shù)主貫孔124配置在所述主軸121的外表面上的數(shù)量比為5:1-10:1。

詳細(xì)地，所述主軸120的內(nèi)部還包括一沿著所述長軸1205的所述延伸方向1204之管線123。所述復(fù)數(shù)主貫孔124與所述管線123連通，所述管線123用于輸送清潔物質(zhì)(如清潔液)，進(jìn)而通過所述復(fù)數(shù)主貫孔124噴灑所述清潔物質(zhì)至所述操作腔室110內(nèi)部的 所述至少一基板上以進(jìn)行化學(xué)清潔。在本實(shí)施例中，存放在所述清潔物質(zhì)收容裝置的所述清潔物質(zhì)是通過所述幫浦的加壓而進(jìn)入所述管線123，再通過所述復(fù)數(shù)主貫孔124噴灑出來到所述操作腔室110內(nèi)部的所述至少一基板上，因此能夠使所述復(fù)數(shù)刷毛122上充滿所述清潔物質(zhì)，一方面增加所述模刷120清潔所述至少一基板的能力，同時(shí)避免所述至少一基板上的臟污附著在所述復(fù)數(shù)刷毛上。因?yàn)樗銮鍧嵨镔|(zhì)可以是液體或者氣體，故，除了刷毛本身可以通過所述主軸120的旋轉(zhuǎn)對(duì)所述至少一基板進(jìn)行物理清潔(如摩擦或撞擊)；同時(shí)所述清潔物質(zhì)能在清潔刷毛的同時(shí)，進(jìn)一步對(duì)所述至少一基板提供化學(xué)清潔。

圖3，繪示圖1的部位a的第二優(yōu)選實(shí)施例的局部放大示意圖。本優(yōu)選實(shí)施例與第一優(yōu)選實(shí)施例的差異在于：所述復(fù)數(shù)刷毛122還包括復(fù)數(shù)刷毛貫孔122，所述復(fù)數(shù)刷毛貫孔122與所述管線123連通，以便通過所述復(fù)數(shù)刷毛貫孔122噴灑所述清潔物質(zhì)到所述操作腔室110內(nèi)部的所述至少一基板上。在本優(yōu)選實(shí)施例中，所述復(fù)數(shù)刷毛貫孔122的方向?yàn)榕c所述復(fù)數(shù)刷毛122的長邊平行，但是在其他實(shí)施例中，可以根據(jù)不同要求設(shè)置不同的方向。

圖4，繪示圖1的部位a的第三優(yōu)選實(shí)施例的局部放大示意圖。本優(yōu)選實(shí)施例與第二優(yōu)選實(shí)施例的差異在于：只有設(shè)置復(fù)數(shù)刷毛貫孔122。如此設(shè)計(jì)的主要用途是因應(yīng)不同的清潔需要。

雖然本發(fā)明已用優(yōu)選實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者，在不脫離本發(fā)明之精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作各種之更動(dòng)與潤飾，因此本發(fā)明之保護(hù) 范圍當(dāng)視后附之申請(qǐng)專利范圍所界定者為準(zhǔn)。