本實用新型涉及一種太陽能硅片洗凈機(jī)槽體管道裝置，屬于硅片洗凈領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

硅片經(jīng)過切片、倒角、研磨、表面處理、拋光、外延等不同工序加工后，表面已經(jīng)受到嚴(yán)重的沾污，清洗的目的就是為了去除硅片表面顆粒、金屬離子以及有機(jī)物等污染。隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展，對硅片表面潔凈度的要求也越來越高，這在一定程度上促進(jìn)了硅片清洗技術(shù)的發(fā)展，也促進(jìn)了人們對硅片清洗工藝的研究。

硅片洗凈機(jī)槽體的排水管道，作為一重要的部件，有左向和右向兩種，在槽體損壞維修更換管道時，存在單一性，左向開口無法使用在右向開口的機(jī)臺，影響工作效率，且制作同方向溢流口的槽體耗費成本較高。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

根據(jù)以上現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實用新型所要解決的技術(shù)問題是：提供一種太陽能硅片洗凈機(jī)槽體管道裝置，其更換、維修方便，且不會妨礙設(shè)備正常運(yùn)行，節(jié)省制作成本及改裝費用，延長使用壽命，有效提高工作效率。

為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型的技術(shù)方案是：一種太陽能硅片洗凈機(jī)槽體管道裝置，包括槽體、備用槽體和連接管道，其特征在于：所述連接管道的上端與洗凈機(jī)槽體的排水管道連接，所述連接管道的下端與固定機(jī)臺管道可拆式連接。

作為一種改進(jìn)方案，所述連接管道的上端與洗凈機(jī)槽體的排水管道通過法蘭連接，所述連接管道的下端與固定機(jī)臺管道通過法蘭連接。

作為一種改進(jìn)方案，所述連接管道采用不銹鋼材質(zhì)。

作為一種改進(jìn)方案，所述備用槽體與槽體結(jié)構(gòu)相同，且所述備用槽體的排水管道方向固定。

采用了上述技術(shù)方案后，本實用新型的有益效果是：

由于本實用新型一種太陽能硅片洗凈機(jī)槽體管道裝置，包括槽體、備用槽體和連接管道，連接管道的上端與洗凈機(jī)槽體的排水管道連接，連接管道的下端與固定機(jī)臺管道可拆式連接。工作時，當(dāng)位于槽體左向位置的排水管道出現(xiàn)故障時，可將槽體前端閥門關(guān)閉，將連接管道連接到備用槽體上，左右向排水管道替換使用，節(jié)約了制作槽體或者改變溢流口的費用，更換維修方便，且不會妨礙設(shè)備正常運(yùn)行。

由于連接管道的上端與洗凈機(jī)槽體的排水管道通過法蘭連接，連接管道的下端與固定機(jī)臺管道通過法蘭連接，保證了槽體無左右之分，在維修槽體或者更換槽體時可替換使用。

綜上所述，本實用新型一種太陽能硅片洗凈機(jī)槽體管道裝置，其更換、維修方便，且不會妨礙設(shè)備正常運(yùn)行，節(jié)省制作成本及改裝費用，延長使用壽命，有效提高了工作效率，降低了生產(chǎn)成本。

附圖說明

圖1為本實用新型一種太陽能硅片洗凈機(jī)槽體管道裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中：1-連接管道、2-右向排水管道、3-固定機(jī)臺管道、4-法蘭、

5-螺栓、6-槽體、7-密封墊、8-備用槽體、9-左向排水管道。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和實施例，進(jìn)一步闡述本實用新型。

如圖1所示，本實用新型一種太陽能硅片洗凈機(jī)槽體管道裝置，包括槽體6、備用槽體8和連接管道1，連接管道1的上端與洗凈機(jī)槽體6的右向排水管道2連接，連接管道1的下端與固定機(jī)臺管道3可拆式連接。

如圖1所示，在本實施例中，由于連接管道1為左右向可替換管道，如槽體6中右向排水管道2工作時出現(xiàn)故障，可通過關(guān)閉槽體6前端閥門，將右向排水管道2關(guān)閉進(jìn)行維修檢測，由于備用槽體8排水管道9為左向固定，調(diào)節(jié)連接管道1上下兩端的法蘭4和螺栓5，將連接管道1旋轉(zhuǎn)180度，使連接管道1上端與備用槽體8的左向排水管道9進(jìn)行連接，連接管道1下端與固定機(jī)臺管道3進(jìn)行連接，直接使不同向的槽體排水管道可替換使用。

工作時，如果槽體6與備用槽體8排水管道為同向，當(dāng)槽體6出現(xiàn)故障時，可直接調(diào)節(jié)替換到備用槽體8上；如果槽體6與備用槽體8排水管道為反向，當(dāng)槽體6出現(xiàn)故障時，將連接管道1旋轉(zhuǎn)180度進(jìn)行連接，從而有效節(jié)省了制作槽體或改變溢流口的費用，避免槽體在改裝中造成尺寸及質(zhì)量問題。

如圖1所示，在本實施例中，由于連接管道1為不銹鋼材質(zhì)，且法蘭4中間設(shè)有密封墊7，有效防止清洗過程中滲漏的問題，壓力流時，洗滌水在管道中高速流動，可起到清潔管道的作用，避免管道淤積。

本實用新型一種太陽能硅片洗凈機(jī)槽體管道裝置，操作簡單，其更換、維修方便，且不會妨礙設(shè)備正常運(yùn)行，節(jié)省制作成本及改裝費用，延長使用壽命，有效提高了工作效率，降低了生產(chǎn)成本。

上述實施例目的在于說明本實用新型的技術(shù)構(gòu)思及特點，只起到示例性的作用，并不能以此作為本實用新型權(quán)利范圍的限定。