本發(fā)明涉及顯示裝置清洗技術(shù)領(lǐng)域；具體地說，本發(fā)明涉及一種基板清洗用水箱、水箱加熱系統(tǒng)、方法以及基板清洗裝置。

背景技術(shù)：

在液晶顯示裝置生產(chǎn)線上，大量使用高溫加熱工藝設(shè)備以及一些消耗熱能的輔助設(shè)備，這些設(shè)備會(huì)產(chǎn)生大量的熱廢氣，這些熱廢氣通常不進(jìn)行回收。比如，在ODF(液晶滴下制程)生產(chǎn)線，ODF設(shè)備ARCO(摩擦后烘烤爐)的作用主要用于將清洗后的基板進(jìn)行充分的干燥，ARCO加熱的溫度是150℃進(jìn)行，ARCO設(shè)備的熱廢氣的排氣溫度在150℃以上，此外還有Seal Oven和Aging Oven的熱廢氣排氣溫度，也在120℃以上。目前，這些熱廢氣直接排入動(dòng)力的管道不進(jìn)行回收利用，造成極大的熱能量損失。

同時(shí)，在ODF生產(chǎn)線，在清洗基板時(shí)，水箱中流體的溫度需要加熱到一定溫度(比如40℃)才能高效清洗，目前對(duì)水箱的加熱通常都是采用電加熱器進(jìn)行加熱，顯示裝置生產(chǎn)線24小時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)，因此每天需要消耗大量的電能。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種基板清洗用水箱、水箱加熱系統(tǒng)、方法以及基板清洗裝置，將液晶顯示裝置生產(chǎn)線的熱廢氣回收用于水箱的加熱，節(jié)能減排。

本發(fā)明提供一種基板清洗用水箱，用于生產(chǎn)線，包括熱廢氣回收管、加熱器和換熱管，所述熱廢氣回收管用于接收生產(chǎn)線的熱廢氣排放管中的熱廢氣，所述加熱器和換熱管用于對(duì)水箱內(nèi)的流體進(jìn)行加熱，所述換熱管與所述熱廢氣回收管連通。

優(yōu)選地，所述加熱器和換熱管設(shè)置在所述水箱內(nèi)。

優(yōu)選地，所述熱廢氣回收管的一端與所述換熱管連通，另一端與所述熱廢氣排放管連通。

優(yōu)選地，所述水箱具有內(nèi)殼和外殼，所述內(nèi)殼和外殼之間形成保溫腔，所述保溫腔與所述熱廢氣回收管連通。

優(yōu)選地，所述內(nèi)殼為不銹鋼材料制成。

優(yōu)選地，所述外殼為PVC材料制成。

優(yōu)選地，所述外殼頂部設(shè)有連通所述保溫腔的進(jìn)液管，底部設(shè)有連通所述保溫腔的排液管。

優(yōu)選地，所述熱廢氣回收管為絕熱管道。

優(yōu)選地，所述換熱管為沉浸式蛇管、U形管、盤管中的任意一種。

優(yōu)選地，所述換熱管采用不銹鋼管制成。

優(yōu)選地，所述加熱器包括套管和設(shè)置在所述套管中的加熱元件，所述套管上設(shè)置有若干個(gè)散熱翅片。

優(yōu)選地，所述熱廢氣回收管上設(shè)有風(fēng)機(jī)。

本發(fā)明還提供一種水箱加熱系統(tǒng)，包括：如上所述任一種基板清洗用水箱；溫度傳感器，設(shè)置于所述水箱內(nèi)，用于檢測(cè)水箱內(nèi)流體的溫度信息；以及控制裝置，與所述溫度傳感器電連接，用于當(dāng)水箱內(nèi)流體溫度值小于設(shè)定溫度值時(shí)，控制所述加熱器和/或換熱管進(jìn)行加熱，且當(dāng)水箱內(nèi)流體溫度值不小于設(shè)定溫度值時(shí)，控制所述加熱器和換熱管停止加熱。

本發(fā)明還提供一種水箱加熱方法，采用如上所述任一種基板清洗用水箱，包括以下步驟：檢測(cè)水箱內(nèi)流體溫度；判斷水箱內(nèi)流體溫度值是否小于設(shè)定溫度值，如果是，控制所述加熱器和/或換熱管進(jìn)行加熱；如果否，控制所述加熱器和換熱管停止加熱。

本發(fā)明還提供一種基板清洗裝置，包括：如上所述任一種基板清洗用水箱；與所述水箱相連的水泵；以及與所述水泵相連的多個(gè)用于對(duì)基板進(jìn)行清洗的噴嘴。

本發(fā)明的基板清洗用水箱、水箱加熱系統(tǒng)、方法以及基板清洗裝置，通過回收液晶顯示裝置生產(chǎn)線的熱廢氣引入到換熱管來輔助加熱器對(duì)水箱內(nèi)流體進(jìn)行加熱，有效利用熱廢氣，減少了電力消耗，節(jié)約了生產(chǎn)成本，減少了熱廢氣的排放。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的實(shí)施例的基板清洗裝置的示意圖；

圖2為圖1中加熱器的放大示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的基板清洗用水箱、水箱加熱系統(tǒng)以及基板清洗裝置作進(jìn)一步的詳細(xì)描述，但不作為對(duì)本發(fā)明的限定。

參見圖1，本發(fā)明的實(shí)施例的基板清洗用水箱10，包括設(shè)置于水箱10內(nèi)對(duì)水箱10內(nèi)流體進(jìn)行加熱的加熱器20和換熱管30，所述換熱管30通過熱廢氣回收管40與液晶顯示裝置生產(chǎn)線的熱廢氣排放管100連通，所述熱廢氣回收管40用于接收液晶顯示裝置生產(chǎn)線的熱廢氣排放管中的熱廢氣。通過在水箱10內(nèi)設(shè)換熱管30，液晶顯示裝置生產(chǎn)線的熱廢氣排放管100內(nèi)的熱廢氣通過熱廢氣回收管40引入到換熱管30中與水箱10中的流體進(jìn)行熱交換，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)流體的加熱。經(jīng)過換熱管30完成熱交換的熱廢氣通過與換熱管30連通的排氣管18進(jìn)行排放。本領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠理解，所述換熱管30的入口連接熱廢氣回收管40，出口連接排氣管18。所述換熱管30可采用沉浸式蛇管、U形管、盤管等結(jié)構(gòu)形式，所述換熱管30采用不銹鋼管繞制而成。

所述加熱器20和換熱管30對(duì)水箱10內(nèi)流體進(jìn)行加熱的方式可以采用設(shè)置于水箱10內(nèi)直接對(duì)流體進(jìn)行加熱，當(dāng)然，也可以采用設(shè)置于水箱10外對(duì)對(duì)水箱10內(nèi)流體進(jìn)行加熱，比如加熱器可以采用紅外加熱器來進(jìn)行輻射加熱，換熱管可以采用盤管設(shè)置在水箱的箱體外進(jìn)行加熱。由于加熱器20和換熱管30設(shè)置于水箱10內(nèi)加熱速度快，效率高，本發(fā)明的實(shí)施例的基板清洗用水箱10優(yōu)選采用設(shè)置于水箱10內(nèi)。

所述加熱器20可以采用現(xiàn)有技術(shù)中公知的電加熱器，在本發(fā)明的實(shí)施例中，為提高加熱效率，圖2示出了加熱器20的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例，所述加熱器20包括套管22和設(shè)置在所述套管22中的加熱元件21，所述套管22上設(shè)置有若干個(gè)散熱翅片23。所述加熱元件21采用電加熱方式，其產(chǎn)生的熱量通過散熱翅片23與水箱10中的流體進(jìn)行熱傳遞，散熱翅片23與流體直接接觸，增加了熱交換面積，加快了加熱速度，提高了加熱效率，使得水箱10中的流體溫度能快速達(dá)到工藝要求的溫度。

繼續(xù)參見圖1，本發(fā)明的實(shí)施例的基板清洗用水箱10，具有內(nèi)殼11和外殼12，所述內(nèi)殼11和外殼12之間形成保溫腔111，所述保溫腔111與所述熱廢氣回收管40連通。熱廢氣排放管100內(nèi)的廢熱氣通過熱廢氣回收管40進(jìn)入到所述內(nèi)殼11和外殼12之間的保溫腔111，可以避免水箱10中流體的熱量流失。外殼12上設(shè)置與所述熱廢氣回收管40連接的進(jìn)氣接口，用于將熱廢氣引入到保溫腔111，外殼12上還設(shè)置有排氣接口，排氣接口與排氣管18之間通過連接管17連通，用于排出保溫腔111中的熱廢氣。

所述內(nèi)殼11為不銹鋼材料制成，不銹鋼材料強(qiáng)度高，可以防止高溫狀態(tài)下發(fā)生變形，同時(shí)，所述保溫腔111內(nèi)的氣體的熱量可以通過不銹鋼內(nèi)殼11傳遞給水箱10內(nèi)的流體，可以起到保溫及輔助加熱的作用。所述內(nèi)殼11具有傳熱好、防腐蝕、強(qiáng)度高等優(yōu)點(diǎn)。

所述外殼12為PVC材料制成，PVC材料傳熱慢，可防止保溫腔111內(nèi)的熱量流失，有利于保溫。所述PVC材料優(yōu)選采用硬質(zhì)PVC材料，以保證外殼12的強(qiáng)度。

為防止熱廢氣在熱廢氣回收管40中傳輸?shù)臅r(shí)候熱量損失，所述熱廢氣回收管40采用絕熱管道。所述熱廢氣回收管40上設(shè)置有控制閥401，用于控制是否向換熱管30輸送廢熱氣，從而控制是否通過換熱管30對(duì)水箱10中的流體加熱?？刂崎y401還可同時(shí)控制是否向所述保溫腔內(nèi)輸入熱廢氣，本領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠理解，控制是否向所述保溫腔內(nèi)輸入熱廢氣也可以單獨(dú)設(shè)置控制閥進(jìn)行控制。

所述熱廢氣回收管40上設(shè)置有風(fēng)機(jī)41，用于提高熱廢氣在所述熱廢氣回收管40中的壓力，保證熱廢氣的有效輸送，充分利用熱廢氣排放管100中的熱廢氣。

由于保溫腔111內(nèi)充滿熱廢氣，使用一段時(shí)間后，熱廢氣中含有的一些雜質(zhì)會(huì)在外殼12內(nèi)部以及內(nèi)殼11的外壁上沉積，為去除保溫腔111內(nèi)的沉積物，需要對(duì)保溫腔111進(jìn)行清洗維護(hù)，因此，所述外殼12頂部設(shè)有連通所述保溫腔111的進(jìn)液管14，底部設(shè)有連通所述保溫腔111的排液管15。進(jìn)液管14用于向保溫腔111內(nèi)加入洗滌劑，洗滌劑可以采用異丙醇、丙酮等。排液管15用于排放洗滌后的洗滌劑。所述進(jìn)液管14和排液管15上分別設(shè)有閥門141、151，所述閥門141、151在水箱10正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)處于常閉狀態(tài)，在需要對(duì)保溫腔111清洗維護(hù)時(shí)按需打開。

所述水箱10還包括連通水箱10內(nèi)部的進(jìn)水管13，用于向水箱10內(nèi)注入基板清洗用流體，這里的流體可以是水或者是添加了清洗藥液的水，流體的種類根據(jù)基板清洗的工藝要求來確定。

本發(fā)明的實(shí)施例的水箱加熱系統(tǒng)，采用上述基板清洗用水箱10，包括：

溫度傳感器16，設(shè)置于所述水箱10內(nèi)，用于檢測(cè)水箱10內(nèi)流體的溫度信息；以及

控制裝置(圖中未示出)，與所述溫度傳感器16電連接，用于當(dāng)水箱10內(nèi)流體溫度值小于設(shè)定溫度值時(shí)，控制所述加熱器20和/或換熱管30進(jìn)行加熱，且當(dāng)水箱10內(nèi)流體溫度值不小于設(shè)定溫度值時(shí)，控制所述加熱器20和換熱管30停止加熱。

在本發(fā)明實(shí)施例中，采用控制裝置實(shí)現(xiàn)對(duì)流體溫度的自動(dòng)控制，換熱管30的開啟加熱和停止加熱通過控制閥401來實(shí)現(xiàn)。所述控制裝置可以通過硬件實(shí)現(xiàn)控制功能，也可通過軟件來實(shí)現(xiàn)控制功能，所述設(shè)定溫度值根據(jù)基板清洗工藝要求進(jìn)行設(shè)定，通常設(shè)定溫度值的取值區(qū)間為40～100℃，設(shè)定溫度值可以是40～100℃中的任一溫度值，比如40℃、45℃、50℃、60℃、70℃、80℃、90℃或100℃等。

本發(fā)明的實(shí)施例的水箱加熱方法，在采用加熱器20對(duì)水箱10內(nèi)流體進(jìn)行加熱的同時(shí)，利用液晶顯示裝置生產(chǎn)線的熱廢氣引入換熱管30中對(duì)水箱10中的流體進(jìn)行加熱，通過所述溫度傳感器16檢測(cè)水箱10內(nèi)流體溫度；然后判斷水箱10內(nèi)流體溫度值是否小于設(shè)定溫度值，如果是，控制所述加熱器20和/或換熱管30進(jìn)行加熱；如果否，控制所述加熱器20和換熱管30停止加熱。

本發(fā)明的實(shí)施例的基板清洗裝置，包括上述基板清洗用水箱10；與所述水箱10相連的水泵50；以及與所述水泵50相連的多個(gè)用于對(duì)基板進(jìn)行清洗的噴嘴60。作為示例，圖1中示出了兩個(gè)水箱10，本領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠理解，所述水箱10可以設(shè)置一個(gè)，也可以設(shè)置兩個(gè)或兩個(gè)以上，根據(jù)實(shí)際需要而定。所述水泵50優(yōu)選采用高壓水泵，以使從噴嘴60噴射出的流體速度更快，清洗效果更好。

以上具體實(shí)施方式僅為本發(fā)明的示例性實(shí)施方式，不能用于限定本發(fā)明，本發(fā)明的保護(hù)范圍由權(quán)利要求書限定。本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在本發(fā)明的實(shí)質(zhì)和保護(hù)范圍內(nèi)，對(duì)本發(fā)明做出各種修改或等同替換，這些修改或等同替換也應(yīng)視為落在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。