本實(shí)用新型涉及超純水技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種超純水設(shè)備。

背景技術(shù)：

超純水，電阻率達(dá)到18MΩ*cm（25℃）的水。常用于集成電路工業(yè)中用于半導(dǎo)體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固態(tài)電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等的制作也都要使用超純水。但是要想達(dá)到超純水的要求，一般都需要經(jīng)過(guò)很多道工序，生產(chǎn)裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜，且生產(chǎn)效率低下。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種超純水設(shè)備，包括預(yù)處理水箱，所述預(yù)處理水箱的頂部入水口連接有自來(lái)水箱，預(yù)處理器水箱內(nèi)部安裝有多介質(zhì)過(guò)濾器，預(yù)處理器水箱的底部出水口連接有反滲透箱，所述反滲透箱的內(nèi)部分為三層，第一層內(nèi)部四周側(cè)壁上安裝有加熱器，底部鋪墊有活性炭過(guò)濾器，活性炭過(guò)濾器對(duì)應(yīng)底部有出水口連接到第二層，第二層內(nèi)部安裝有電解床，出水口安裝有反滲透水膜，第三層內(nèi)部安裝有膜脫氣裝置，反滲透箱的出水口安裝有出水閥，所述出水閥通過(guò)導(dǎo)管連接有純水箱，所述純水箱內(nèi)部頂端固定安裝有紫外線殺菌燈，輸出端連接有蒸餾釜，所述蒸餾釜內(nèi)部固定安裝有拋光混床，輸出口連接有超濾裝置，所述超濾裝置的輸出端連接有密封存儲(chǔ)罐。

作為本實(shí)用新型一種優(yōu)選的技術(shù)方案，所述多介質(zhì)過(guò)濾器的側(cè)邊還安裝有反沖洗水泵，所述反沖洗水泵的進(jìn)水口連接到自來(lái)水箱。

作為本實(shí)用新型一種優(yōu)選的技術(shù)方案，所述膜脫氣裝置包括中心管，所述中心管的周圍圍繞分布有膜纖維管。

作為本實(shí)用新型一種優(yōu)選的技術(shù)方案，所述超濾裝置包括超濾管道，所述超濾管道的進(jìn)水口連接有過(guò)濾水泵，超濾管道的內(nèi)部均勻卡接放置有超濾膜。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：該超純水設(shè)備，通過(guò)設(shè)置多介質(zhì)過(guò)濾箱進(jìn)行大分子過(guò)濾操作，結(jié)合反沖洗水泵可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)清洗，無(wú)需取出，從而使操作更加簡(jiǎn)便；通過(guò)設(shè)置膜脫氣裝置，利用中心管和膜纖維管組成脫氣裝置，大大提高了脫氣性能；通過(guò)設(shè)置超濾裝置，進(jìn)一步提高過(guò)濾效果，保證超純水的純度；本實(shí)用新型能夠有效實(shí)現(xiàn)超純水的提純操作，大大提高生產(chǎn)效率，安全高效。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1-預(yù)處理水箱；2-自來(lái)水箱；3-多介質(zhì)過(guò)濾器；4-反滲透箱；5-加熱器；6-活性炭過(guò)濾器；7-電解床；8-反滲透水膜；9-膜脫氣裝置；10出水閥；11-純水箱；12-紫外線殺菌燈；13-蒸餾釜；14-拋光混床；15-超濾裝置；16-密封存儲(chǔ)罐；17-反沖洗水泵；18-中心管；19-膜纖維管；20-超濾管道；21-過(guò)濾水泵；22-超濾膜。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

實(shí)施例：

請(qǐng)參閱圖1，本實(shí)用新型提供一種技術(shù)方案：包括預(yù)處理水箱1，所述預(yù)處理水箱1的頂部入水口連接有自來(lái)水箱2，預(yù)處理器水箱1內(nèi)部安裝有多介質(zhì)過(guò)濾器3，預(yù)處理器水箱1的底部出水口連接有反滲透箱4，所述反滲透箱4的內(nèi)部分為三層，第一層內(nèi)部四周側(cè)壁上安裝有加熱器5，底部鋪墊有活性炭過(guò)濾器6，活性炭過(guò)濾器6對(duì)應(yīng)底部有出水口連接到第二層，第二層內(nèi)部安裝有電解床7，出水口安裝有反滲透水膜8，第三層內(nèi)部安裝有膜脫氣裝置9，反滲透箱4的出水口安裝有出水閥10，所述出水閥10通過(guò)導(dǎo)管連接有純水箱11，所述純水箱11內(nèi)部頂端固定安裝有紫外線殺菌燈12，輸出端連接有蒸餾釜13，所述蒸餾釜13內(nèi)部固定安裝有拋光混床14，輸出口連接有超濾裝置15，所述超濾裝置15的輸出端連接有密封存儲(chǔ)罐16；

所述多介質(zhì)過(guò)濾器3的側(cè)邊還安裝有反沖洗水泵17，所述反沖洗水泵17的進(jìn)水口連接到自來(lái)水箱2；所述膜脫氣裝置9包括中心管18，所述中心管18的周圍圍繞分布有膜纖維管19；所述超濾裝置15包括超濾管道20，所述超濾管道20的進(jìn)水口連接有過(guò)濾水泵21，超濾管道20的內(nèi)部均勻卡接放置有超濾膜22。

所述預(yù)處理水箱1通過(guò)自來(lái)水箱2引入自來(lái)水，通過(guò)多介質(zhì)過(guò)濾器3除去水中可溶性大顆粒物質(zhì)，然后進(jìn)入反滲透箱4，首先加熱器5對(duì)誰(shuí)進(jìn)行加熱，減小一些可溶性物體的溶解度使之析出，然后利用活性炭過(guò)濾器6除去水中的碳有機(jī)物和余氯；接著利用電解床7進(jìn)行電解除去無(wú)機(jī)鹽離子，經(jīng)過(guò)過(guò)濾電解的水通過(guò)反滲透水膜8得到穩(wěn)定的水分子，進(jìn)入膜脫氣裝置9，利用中心管18引入水循環(huán)，以周圍的膜纖維管19引入進(jìn)行脫氣操作，除去水中溶解性氣體；所述出水閥10打開(kāi)后，得到的半成品進(jìn)入純水箱11，首先由紫外線殺菌燈12進(jìn)行殺菌操作，接著進(jìn)入蒸餾釜13做蒸餾提純，所述拋光混床14截留溶解性大分子和所有大于0.2um的離子/有機(jī)溶劑和其他小的溶解性物質(zhì)，蒸餾拋光后得到的水進(jìn)入超濾裝置15，過(guò)濾水泵21將水吸入超濾管道20，經(jīng)過(guò)層層超濾膜22得到最終純水，并存儲(chǔ)至密封存儲(chǔ)罐16；所述反沖洗水泵17對(duì)預(yù)處理水箱1進(jìn)行清洗操作。

具體使用方式及優(yōu)點(diǎn)：該超純水設(shè)備，通過(guò)設(shè)置多介質(zhì)過(guò)濾箱進(jìn)行大分子過(guò)濾操作，結(jié)合反沖洗水泵可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)清洗，無(wú)需取出，從而使操作更加簡(jiǎn)便；通過(guò)設(shè)置膜脫氣裝置，利用中心管和膜纖維管組成脫氣裝置，大大提高了脫氣性能；通過(guò)設(shè)置超濾裝置，進(jìn)一步提高過(guò)濾效果，保證超純水的純度；本實(shí)用新型能夠有效實(shí)現(xiàn)超純水的提純操作，大大提高生產(chǎn)效率，安全高效。

對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然本實(shí)用新型不限于上述示范性實(shí)施例的細(xì)節(jié)，而且在不背離本實(shí)用新型的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型。因此，無(wú)論從哪一點(diǎn)來(lái)看，均應(yīng)將實(shí)施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求而不是上述說(shuō)明限定，因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本實(shí)用新型內(nèi)。不應(yīng)將權(quán)利要求中的任何附圖標(biāo)記視為限制所涉及的權(quán)利要求。