1.一種用于至少部分地去除粘附在通過光刻生成制造工藝制造的部件(1)上的至少部分未反應的樹脂(10)的方法,包括:
2.根據(jù)權利要求1所述的方法,其特征在于,所述至少一個部件(1)被布置在粘附于所述容器(3)中的部件載體(2)上,特別是構建平臺上。
3.根據(jù)權利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述至少一個部件(1)或所述部件載體(2)被緊固在所述容器(3)中,優(yōu)選緊固在所述容器(3)的面向或背向所述離心裝置(7,8)的旋轉軸線(6)的一側或壁上。
4.根據(jù)權利要求1、2或3所述的方法,其特征在于,對所述離心裝置(7,8)的離心室進行加熱,其中優(yōu)選地用加熱裝置來加熱所述離心室,所述加熱裝置包括壓縮機和/或風扇單元(16)以及加熱元件(17),并且加熱氣體在此被循環(huán)地引導。
5.根據(jù)權利要求1至4中任一項所述的方法,其特征在于,所述容器(3)具有孔(18),用以確保所述容器(3)對流體有更好的穿流性。
6.根據(jù)權利要求1至5中任一項所述的方法,其特征在于,所述至少一個容器(3)在離心之前被封閉。
7.根據(jù)權利要求1至6中任一項所述的方法,其特征在于,布置在所述容器(3)中的所述至少一個部件(1)在離心之前和/或在離心期間通過所述加熱裝置加熱。
8.根據(jù)權利要求1至7中任一項所述的方法,其特征在于,裝載步驟包括:將至少一個部件(1)布置在第一容器(3)中,和將至少一個另外的部件(2)布置在第二容器(3)中,其中,將所述第一和第二容器(3)的加熱控制為,在離心過程中,所述第一容器(3)中的溫度與所述第二容器(3)中的溫度不同。
9.根據(jù)權利要求1至8中任一項所述的方法,其特征在于,所述容器(3)的內(nèi)腔在封閉之后處于降低的壓力之下。
10.根據(jù)權利要求1至9中任一項所述的方法,其特征在于,所述至少一個容器(3)在離心期間相對于所述離心裝置的承載所述至少一個容器(3)的轉子(7,8)轉動,并在必要時被驅動地轉動。
11.根據(jù)權利要求1至10中任一項所述的方法,其特征在于,將所述收集部(12)連同布置于其中的分離出的樹脂(10)一起與所述容器(3)分離。
12.根據(jù)權利要求1至11中任一項所述的方法,其特征在于,將收集在所述收集部(12)中的樹脂(10)返回到用于光刻生成制造部件的工藝,并優(yōu)選在所述返回之前受到質量控制,其中,所述質量控制優(yōu)選地包含粘度測量和/或固化測量。
13.一種裝置,用于至少部分地去除粘附在通過光刻生成制造工藝制造的部件(1)上的至少部分未反應的樹脂(10),特別是用于執(zhí)行根據(jù)權利要求1至12中任一項所述的方法,包括:離心裝置(7,8),具有能夠被驅動圍繞旋轉軸線(6)旋轉的轉子(7,8);多個容器(3),分別具有容器開口,所述容器開口被設置用于裝載至少一個部件(1);以及緊固裝置(9),用于將所述至少一個部件(3)緊固在容器內(nèi)部,其中所述轉子(7,8)具有多個關于所述旋轉軸線(6)偏心的容置部,用于偏心地布置多個容器(3)中的每一個,其中所述容器(3)可選地具有用于封閉所述容器開口的封閉件(11)和用于收集分離出的樹脂(10)的可選的、能拆卸的收集部(12)。
14.根據(jù)權利要求13所述的裝置,其特征在于,所述離心裝置(7,8)具有加熱裝置,每個加熱裝置被分配給相應的容器(3),并且設置用于單獨控制所述加熱裝置的裝置,從而能夠單獨調(diào)整每個容器(3)的溫度。
15.根據(jù)權利要求13或14所述的裝置,其特征在于,所述離心裝置(7,8)具有至少一個負壓源,所述負壓源分別穿過能操控的封閉件與所述容器(3)的內(nèi)腔流體連接。
16.根據(jù)權利要求13、14或15所述的裝置,其特征在于,所述容器(3)相對于所述轉子(7,8)可轉動地安裝在所述轉子(7,8)上。
17.根據(jù)權利要求13至16中任一項所述的裝置,其特征在于,所述容器(3)分別在所述容器(3)的面向或背向所述離心裝置(7,8)的旋轉軸線(6)的一側或壁上具有緊固裝置(9),用于緊固所述至少一個部件(1)或所述部件載體(2)。
18.根據(jù)權利要求13至17中任一項所述的裝置,其特征在于,所述容器(3)分別具有布置在所述收集部(12)上游的保持裝置(13),例如篩網(wǎng)或過濾器。
19.根據(jù)權利要求13至18中任一項所述的裝置,其特征在于,所述收集部(12)與所述容器(3)能拆卸地連接,并且被優(yōu)選地構造為收集盆。
20.根據(jù)權利要求13至19中任一項所述的裝置,其特征在于,所述收集部(12)與所述容器(3)的背向所述離心裝置(7,8)的旋轉軸線(6)的一側或壁流體連接,特別布置在其下方。
21.根據(jù)權利要求13至20中任一項所述的裝置,其特征在于,所述收集部(12)被構造為收集盆,在其背向所述旋轉軸線(6)的壁上構造有至少一個能封閉的開口,并且所述離心裝置(7,8)具有至少一個環(huán)形的、特別是固定的收集槽,所述收集槽圍繞所述開口的圓形軌跡。
22.根據(jù)權利要求13至21中任一項所述的裝置,其特征在于,所述離心裝置(7,8)的離心室與壓縮機和/或風扇單元(16)以及加熱元件(17)連接。