基板清洗裝置和使用其清洗基板的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及液晶顯示器制造領(lǐng)域，特別涉及一種基板清洗裝置。本發(fā)明還涉及使用這種基板清洗裝置來清洗基板的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在液晶面板快速發(fā)展的今天，產(chǎn)品的成品率提升日顯重要。產(chǎn)品成品率決定產(chǎn)品的市場競爭力和工廠的生命力。
[0003]液晶面板的成品率受很多因素的影響，例如在場效應(yīng)晶體管(即，TFT)的制程工藝中產(chǎn)生的斑點(即，Mura)會對面板產(chǎn)生重大影響，從而極大的影響液晶面板的成品率。
[0004]TFT制程工藝中的濕制程通常包括強酸或強堿(即，藥劑)制程和之后的水洗制程，其中強酸或強堿制程用以進行蝕刻，水洗制程用以沖洗掉這些蝕刻藥劑。水洗制程通常通過以下方式來實現(xiàn):使用水刀在基板上均勻地涂布一層水膜以快速洗掉基板上殘留的藥液。但是，由于外界環(huán)境中的水滴會在基板接觸到水刀之前滴落到基板上，并最終導(dǎo)致所制備的液晶面板出現(xiàn)不可修復(fù)的斑點，從而嚴重影響液晶面板的成品率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]針對上述問題，本發(fā)明提出了一種基板清洗裝置。在使用根據(jù)本發(fā)明的基板清洗裝置清洗基板時，外界環(huán)境中的水滴不會滴落到基板上，從而避免了基板出現(xiàn)蝕刻程度不同的狀況，并由此避免了液晶面板出現(xiàn)不可修復(fù)的斑點的問題。
[0006]根據(jù)本發(fā)明的第一方面的基板清洗裝置，包括:護罩，該護罩包括頂板和從頂板向下延伸的側(cè)壁，設(shè)置在護罩內(nèi)的噴水器，護罩和噴水器的寬度覆蓋了基板的寬度，并且側(cè)壁延伸到基板表面附近。
[0007]在使用根據(jù)本發(fā)明的基板清洗裝置來清洗基板時，護罩遮蓋了基板。這樣，在基板遇到噴水器之前，外界環(huán)境中的水滴最多只能落到護罩上而不是基板上。由此，殘留在基板上的藥劑液膜也就不會被局部地稀釋，從而基板的整體蝕刻程度會為相同。這樣，就從根本上避免了液晶面板出現(xiàn)不可修復(fù)的斑點，提高了液晶面板的成品率。此外，由于噴水器的寬度覆蓋了基板的寬度，因此噴水器能在基板上形成一層均勻的水膜，即對殘留在基板上的藥液進行均勻地稀釋，這也保證了基板的整體蝕刻程度均相同，并且最終提高了液晶面板的成品率。
[0008]在一個實施例中，噴水器包括方向能調(diào)整的水噴嘴。這樣，能夠根據(jù)實際情況隨時調(diào)整噴水器的噴水方向，從而保證能在基板上形成一層均勻的水膜。在一個實施例中，水噴嘴斜朝向前方。這樣，噴水器噴出的水能夠更有效地沖刷基板的表面，提高了基板的清洗效果。在一個實施例中，噴水器為水刀。水刀能夠噴出厚度非常薄的水幕，非常有利于控制噴到基板上的水量，以不但實現(xiàn)清洗基板而且能夠大幅度節(jié)省用水。
[0009]在一個實施例中，在護罩內(nèi)，在噴水器的后方還設(shè)置有用于在基板表面上形成定向氣流的吹風(fēng)器。在一個優(yōu)選的實施例中，吹風(fēng)器為風(fēng)刀。
[0010]在一個實施例中，吹風(fēng)器包括氣噴嘴，該氣噴嘴所處的直線與基板的交點相鄰地處于水噴嘴所處的直線與基板的交點的后方。這樣，吹風(fēng)器產(chǎn)生的風(fēng)會向前吹動噴水器噴到基板上水，防止水向后擴散。由此，能夠防止基板上殘留的藥液被不均勻地稀釋而造成基板的蝕刻程度不同，從而避免了所制備的液晶面板出現(xiàn)不可修復(fù)的斑點。
[0011]在一個實施例中，吹風(fēng)器的高度低于噴水器的高度。這樣，來自吹風(fēng)器的氣流不會受到任何阻擋，而是直接吹在基板上，從而能進一步防止噴水器噴到基板上的水向后擴散。
[0012]在一個實施例中，該裝置還包括抽氣組件，在護罩的頂板上設(shè)置有排氣口。抽氣組件能夠?qū)⒆o罩內(nèi)的水汽抽走，從而避免了護罩內(nèi)的水汽凝結(jié)成滴落到基板上的水滴，也就避免了基板上殘留的藥液的不均勻稀釋造成基板蝕刻程度不同，進而避免了液晶面板出現(xiàn)不可修復(fù)的斑點。
[0013]根據(jù)本發(fā)明的第二方面，提出了一種使用上文所述的裝置來清洗基板的方法，包括:將基板沿從后到前的方向穿過護罩，將噴水器的水噴嘴調(diào)整為斜朝向前方，以向基板上噴水而實現(xiàn)清洗。
[0014]在一個實施例中，裝置內(nèi)還包括抽氣組件，以將護罩內(nèi)水汽抽走。
[0015]在一個實施例中，在護罩內(nèi)，在噴水器的后方還設(shè)置有吹風(fēng)器，吹風(fēng)器在基板表面上形成向前的定向氣流以向前吹動基板上的水。
[0016]在本申請中，方位用語“前方”是指基板運動的方向。方位用語“后方”是指與“前方”相反的方向。
[0017]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的優(yōu)點在于:(I)根據(jù)本發(fā)明的基板清洗裝置包括護罩，在基板遇到噴水器之前，外界環(huán)境中的水滴最多只能落到護罩上而不是基板上。由此，殘留在基板上的藥劑液膜的就不會被局部地稀釋，從而基板的整體蝕刻程度為相同。這樣，就從根本上避免了液晶面板出現(xiàn)不可修復(fù)的斑點，提高了液晶面板的成品率。(2)由于噴水器的寬度覆蓋了基板的寬度，因此噴水器能在基板上形成一層均勻的水膜，即對殘留在基板上的藥液進行均勻地稀釋，這也保證了基板的整體蝕刻程度均相同，并且最終提高了液晶面板的成品率。
【附圖說明】
[0018]在下文中將基于實施例并參考附圖來對本發(fā)明進行更詳細的描述。其中:
[0019]圖1示意性地顯示了根據(jù)本發(fā)明的基板清洗裝置的側(cè)視圖。
[0020]圖2是圖1的A向視圖。
[0021]圖3示意性地顯示了根據(jù)本發(fā)明的基板清洗裝置在使用中的狀態(tài)。
[0022]在附圖中，相同的部件使用相同的附圖標記。附圖并未按照實際的比例。
【具體實施方式】
[0023]下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步說明。
[0024]圖1示意性地顯示了根據(jù)本發(fā)明的基板清洗裝置10(以下稱之為裝置10)的側(cè)視圖。如圖1所示，裝置10包括護罩11和設(shè)置在護罩11內(nèi)的噴水器12。護罩11包括頂板13和從頂板13向下延伸的側(cè)壁14。應(yīng)理解地是，裝置10還可以根據(jù)需要而包括支架15(如圖3) ο
[0025]對于特定尺寸的基板而言，護罩11和噴水器12的寬度覆蓋了基板的寬度，并且側(cè)壁14延伸到基板表面附近。這樣，在使用裝置10清洗基板31時(見圖3)，護罩11整體地遮蓋了基板31，從而在基板31遇到噴水器12之前，外界環(huán)境中的水滴最多只能落到護罩11上。由于噴水器12的寬度覆蓋了基板31的寬度