廢液回收系統(tǒng)的制作方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及半導體工業(yè)生產廢水回收技術，尤其涉及一種廢液回收系統(tǒng)。
【背景技術】
[0002]現有半導體設備廠房為了輔助化合反應程序的進行，普遍難免必須應用大量的化學溶液。在半導體生成過程中，這些溶解的化學液體在使用過后必定會殘余下若干的化學廢液，產生具有排放量大、污染物種類繁多、成分復雜等特點的工業(yè)生產廢液，是一種處理難度較大的工業(yè)廢水。
[0003]由于半導體工業(yè)生產廢液中含有大量的有毒物質，若將工業(yè)生產廢液隨意傾倒而不加以處理，直接排入地表水體中，不僅污染地表水資源，而且破壞生態(tài)環(huán)境等不良影響，因此，對半導體生成工業(yè)廢液回收作為一個重要的研究課題受到廣泛關注。

【發(fā)明內容】

[0004]本發(fā)明提供一種廢液回收系統(tǒng)，用于對廢液進行回收，降低廢液對環(huán)境的不良影響。
[0005]本發(fā)明提供的一種廢液回收系統(tǒng)，包括：廢液傳輸裝置、控制裝置、監(jiān)測裝置和至少2個廢液接收裝置；
[0006]其中，所述廢液傳輸裝置包括：與廢液輸出裝置連接的主管道、與所述主管道連通的至少2條支管道；
[0007]用于監(jiān)測所述廢液傳輸裝置是否出現異常的所述監(jiān)測裝置設置在所述主管道上；
[0008]用于在所述監(jiān)測裝置監(jiān)測到當前傳輸廢液的支管道出現異常后，控制所述主管道將廢液傳輸到另一支管道中的所述控制裝置與所述監(jiān)測裝置連接；
[0009]用于接收廢液的每個所述廢液接收裝置分別對應一個所述支管道。
[0010]本發(fā)明提供的廢液回收系統(tǒng)，包括廢液傳輸裝置、控制裝置、監(jiān)測裝置和至少2個廢液接收裝置；其中，所述廢液傳輸裝置包括：與廢液輸出裝置連接的主管道、與所述主管道連通的至少2條支管道；用于監(jiān)測所述廢液傳輸裝置是否出現異常的所述監(jiān)測裝置設置在所述主管道上；用于在所述監(jiān)測裝置監(jiān)測到當前傳輸廢液的支管道出現異常后，控制所述主管道將廢液傳輸到另一支管道中的所述控制裝置與所述監(jiān)測裝置連接；用于接收廢液的每個所述廢液接收裝置分別對應一個所述支管道。本發(fā)明不僅實現了對廢液的回收，而且通過監(jiān)測裝置對傳輸廢液的支管道進行檢測，當該支管道出現異常后利用備用的支管道傳輸廢液，降低廢液對環(huán)境的不良影響。
【附圖說明】
[0011]圖I為本發(fā)明實施例提供的一種廢液回收系統(tǒng)的結構示意圖；
[0012]圖2為本發(fā)明實施例提供的一種監(jiān)測裝置的結構示意圖；
[0013]圖3為本發(fā)明實施例提供的另一種廢液回收系統(tǒng)的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0014]為使本發(fā)明實施例的目的、技術方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例。
[0015]實施例一
[0016]圖I為本發(fā)明實施例一提供的廢液回收系統(tǒng)的結構示意圖，如圖I所示，該廢液回收系統(tǒng)包括：廢液傳輸裝置，該廢液傳輸裝置包括：與廢液輸出裝置連接的主管道11、與所述主管道11連通的至少2條支管道。本實施例中為主管道11設置2條連通的支管道，分別為支管道12和支管道13。
[0017]另外，該廢液回收系統(tǒng)還包括：控制裝置2、監(jiān)測裝置3和至少2個廢液接收裝置4和5。
[0018]用于監(jiān)測廢液傳輸裝置是否出現異常的監(jiān)測裝置3設置在主管道11上；用于在監(jiān)測裝置3監(jiān)測到當前傳輸廢液的支管道12出現異常后，控制將主管道11中的廢液切換到由另一支管道13進行傳輸的控制裝置2與監(jiān)測裝置3連接；用于接收廢液的廢液接收裝置4和廢液接收裝置5分別對應支管道12和支管道13。
[0019]具體的，廢液回收系統(tǒng)用于接收廢液輸出裝置排放的廢液，如半導體生產設備排放的廢液。其中，廢液傳輸裝置通過主管道11與廢液輸出裝置連接，從廢液輸出裝置中接收排放的廢液。主管道11從與自身連通的支管道中選取一個用于向廢液接收裝置中輸送廢液。本實施例中，主管道11與支管道12和支管道13連通，將廢液輸入到其他中一條支管道12中，通過支管道12將廢液輸送到與支管道12對應的廢液接收裝置4中。
[0020]本實施例中在支管道12向廢液接收裝置4傳輸廢液的過程中，另一條支管道13處于關閉狀態(tài)。而當支管道12出現異常時，由控制裝置2控制主管道11將廢液傳輸到支管道13中，由支管道13將廢液輸送到廢液接收裝置5中。相應地，由控制裝置2關閉支管道12。這樣當正在傳輸廢液的支管道12出現異常后，利用備用的支管道13來傳輸廢液，保證了廢液的正?；厥?，降低廢液對環(huán)境的不良影響。
[0021]為了在監(jiān)測裝置3監(jiān)測到當前傳輸廢液的支管道12出現異常后，由控制裝置2控制主管道將廢液傳輸到支管道13中，本實施例需要在主管道11與支管道12和支管道13的連通處，設置一個支管道切換裝置6。當支管道12出現異常后，由控制裝置2控制支管道切換裝置6打開支管道13，關閉支管道12，這樣主管道11中廢液將傳輸到支管道13中。該支管道切換裝置6可以為一個電氣的雙向開關。
[0022]為了實現當正在傳輸廢液的支管道12出現異常，利用備用的支管道13來傳輸廢液，本實施例中在主管道11上設置一個監(jiān)測裝置3，由該監(jiān)測裝置3監(jiān)測當前傳輸廢液的支管道12是否出現異常。
[0023]圖2為本發(fā)明實施例提到的一種監(jiān)控裝置的結構示意圖。該監(jiān)測裝置3包括：輔助管道31和液體探測頭32。
[0024]輔助管道31用于在當前傳輸廢液的支管道12出現異常后，接收主管道11回流的廢液。液體探測頭32監(jiān)測回流到輔助管道31的廢液是否超出預設的液位線。
[0025]具體地，輔助管道31的至少一端與主管道11連通。優(yōu)選地，輔助管道31與主管道11平行設置，而輔助管道31的兩端與主管道11連通，形成一個環(huán)形回路。優(yōu)選地，為了使回流到輔助管道31中的流動，可以將與主管道11連通的輔助管道31的兩端設計為弧形彎曲端。在支管道12出現異常后，由于廢液無法輸出到廢液接收裝置4中，這樣就會由下往上不斷聚集在主管道11中，逐漸進入到輔助管道31中。
[0026]本實施例中，輔助管道31內設置一個液體探測頭32，通過該液體探測器32來探測輔助管道31中的進入的液體的液位。本實施例中，為輔助管道31設置一個預設的液位線，該液體探測頭32設置在該預設的液位線附近。輔助管道31中的廢液不斷上升，當廢液的液位上升到預設的液位線后，液體探測頭32可以監(jiān)測到廢液，此時該液體探測頭32可以判斷出當前傳輸廢液的支管道12出現異常，不能正常向廢液接收裝置輸送廢液。
[0027]可選地，監(jiān)測裝置3為一個流速監(jiān)控傳感器，在預設時間內監(jiān)控到主管道11中廢液的流速低于預設的門限值，或者監(jiān)控到流速為零，監(jiān)測裝置3可以判斷出支管道12出現異常，不能正常向廢液接收裝置輸送廢液。
[0028]可選地，輔助管道31中接近支管道的下端與主管道11連通，而輔助管道32遠離支管道的上端開口，與空氣接觸。輔助管道31沿著主管道11方向，向遠離支管道的方向延伸。為了保證廢液不溢出輔助管道31，輔助管道31的長度根據控制裝置2接通支管道13的時間以及廢液流速來設置。
[0029]控制裝置2為可編程邏輯控制器(Programmable Logic Controller,簡稱PLC),該控制裝置2與監(jiān)測裝置3連接，當監(jiān)測裝置3監(jiān)測到支管道出現異常時，向控制裝置2發(fā)送指示消息，由控制裝置2將主管道11中傳輸的廢液從正在輸送廢液的支管道12中切換到另一支管道13中。
[0030]廢液接收裝置4和廢液接收裝置5可以為盛裝廢液的槽罐，或者盛裝過相應化學品的空桶或其他相應的槽。本實施例以盛裝過化學品的空桶，廢液接收裝置4放置在支管道12輸出端的下方，廢液接收裝置5放置在支管道13輸出端的下方。
[0031]此處需要說明，用于在當前傳輸廢液的支管道出現異常后，接收主管道回流的廢液的輔助管道的設置方法以及輔助管道的形態(tài)，此處僅為示例，并不能成為限制本發(fā)明的條件。
[0032]本實施例中為主管道設置有2條支管道，但是本領域技術人員應該知道，可以通過十字交叉的方式實現4條支管道與主管道連通的技術方案，所以支管道的條數不能成為限制本發(fā)明的條件。
[0033]本實施例中，廢液回收系統(tǒng)包括廢液傳輸裝置、控制裝置、監(jiān)測裝置和至少2個廢液接收裝置；其中，所述廢液傳輸裝置包括:與廢液輸出裝置連接的主管道、與所述主管道連通的至少2條支管道；用于監(jiān)測所述廢液傳輸裝置是否出現異常的所述監(jiān)測裝置設置在所述主管道上；用于在所述監(jiān)測裝置監(jiān)測到當前傳輸廢液的支管道出現異常后，控制所述主管道將廢液傳輸到另一支管道中的所述控制裝置與所述監(jiān)測裝置連接；用于接收廢液的每個所述廢液接收裝置分別對應一個所述支管道。本發(fā)明不僅實現了對廢液的回收，而且通過監(jiān)測裝置對傳輸廢液的支管道進行檢測，當該支管道出現異常后利用備用的支管道傳輸廢液，降低廢液對環(huán)境的不良影響。
[0034]實施例二
[0035]圖3為本發(fā)明實施例二提供的廢液回收系統(tǒng)的結構示意圖，如圖3所示，該廢液回收系統(tǒng)包括:廢液傳輸裝置，該廢液傳輸裝置包括與廢液輸出裝置連接的主管道11、與主管道11連通的2條支管道，分別