一種切割水二次利用裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于廢水處理領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種切割水二次利用裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體器件行業(yè)是目前及將來電子信息產(chǎn)業(yè)的重要組成部分，隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的興起，國際市場對半導(dǎo)體的產(chǎn)品需要越來越大，在半導(dǎo)體制作過程中，每臺切割機的純水用量約為2.4L/min，每臺研磨機的純水用量約為8L/min，因此硅片研磨/切割產(chǎn)生了大量的廢水。經(jīng)過調(diào)查，目前很多半導(dǎo)體生產(chǎn)廠家都采用簡單處理方式直接排放，不做任何回收再利用處理，造成水源的極度浪費；部分公司在處理工藝上采用超濾膜件進行過濾處理，但膜的反洗頻率高、水的回收率小及超濾膜的更換成本昂貴等等各種因素的影響，從而提高了公司的運行成本；在社會經(jīng)濟日益發(fā)展的情況下，與目前所倡導(dǎo)的節(jié)能節(jié)源法律法規(guī)大相徑庭，為了進一步的節(jié)能降耗措施，急需對砷化鎵襯底芯片的切割所產(chǎn)生的廢水進行真正意義上的回收處理。因切割水中含有大量的砷，對人體和環(huán)境危害較大，同時芯片切割廢水中還含有切割過程中產(chǎn)生的切割肩等大顆粒雜質(zhì)和極細微的粉末顆粒，所以切割廢水處理步驟繁多，而且處理費用較高，但如果經(jīng)過簡單的處理后就能二次使用，不僅可以減少公司產(chǎn)生的廢水，同時還能節(jié)約純水的使用量，這樣可以達到降低生產(chǎn)成本的目的。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中對切割水的處理工藝比較單一，處理成本高，如中國專利公開號CN102070227 A，申請日為2009年11月19日的專利申請文件公開了一種切割研磨廢水之UF回收處理系統(tǒng)，包括廢水回收儲存槽、進水泵、CDA緩沖槽、UF過濾器和UF產(chǎn)水儲桶，系切割研磨廢水回收于儲存槽后，經(jīng)進水泵進入UF過濾器，產(chǎn)水后再儲入UF產(chǎn)水儲桶，UF過濾器采用全流式(Dead-end)過濾系統(tǒng)，利用立式之中空纖維模，配合定期水洗、氣洗和藥洗機制，該發(fā)明的處理方法使用的設(shè)備成本高、UF膜壽命短，易堵塞，需經(jīng)常更換，整體回收系統(tǒng)的使用壽命也會相對較短，不符合經(jīng)濟效益。中國專利公開號CN 103496831 A，申請日為2013年9月18日的專利申請文件公開了一種晶硅片切割刃料廢水處理污泥的回收利用方法，該發(fā)明旨在解決對晶硅片切割刃料碳化硅粉體在生產(chǎn)過程中因廢水處理形成的絮凝沉淀污泥進行資源化回收利用的技術(shù)問題，包括下列步驟:將晶硅片切割刃料廢水處理污泥與水混合攪拌后引入旋液分離器進行浮選分離，從旋液分離器溢流口分出的輕相懸浮液經(jīng)過壓濾濃縮，得到回收產(chǎn)品硅酸鈣；從旋液分離器底流口分出的重相漿料經(jīng)過除雜后再進行脫水干燥，得到晶硅片切割刃料碳化硅粉體產(chǎn)品，該發(fā)明適合于處理絮凝沉淀污泥，對切割水的回收利用沒有借鑒指導(dǎo)意義。因此需要研宄一種經(jīng)濟、環(huán)保、高效的切割水回收利用方法。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]1.要解決的問題
[0005]針對現(xiàn)有技術(shù)中對切割水的處理方法和處理裝置存在處理成本高、處理效果差等問題，本發(fā)明提供一種切割水二次利用裝置，利用沉降、預(yù)處理和過濾等處理方法將切割水中的雜質(zhì)除掉，處理后的切割水可用于研磨機，這樣不僅減少了純水的使用量，同時減少了廢水處理量，大大降低了生產(chǎn)成本。
[0006]2.技術(shù)方案
[0007]為了解決上述問題，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案如下:
[0008]一種切割水二次利用裝置，包括沉淀池、預(yù)處理裝置和顆粒過濾裝置，所述的預(yù)處理裝置包括第一供水泵和預(yù)處理罐；所述的顆粒過濾裝置包括水箱、濾芯和第二水泵；所述的淀池通過第一供水泵向預(yù)處理裝置供水；所述的濾芯位于顆粒過濾裝置的出水口，所述的出水口與第二水泵連接，所述的第二水泵的出水口與儲水池連通。
[0009]優(yōu)選地，所述的沉淀池的進水口在上部，沉淀池的底部為斜坡狀，斜坡的底端設(shè)有排泥口。
[0010]優(yōu)選地，所述的沉淀池的底部坡角為30-45°。
[0011]優(yōu)選地，所述的預(yù)處理裝置和顆粒過濾裝置中分別設(shè)有第一水位感應(yīng)器和第二水位感應(yīng)器。
[0012]優(yōu)選地，所述的預(yù)處理裝置中設(shè)有水處理試劑添加裝置。
[0013]優(yōu)選地，所述的濾芯為帶骨架熔噴濾芯，其長度為300-450mm，外徑為45_55mm，內(nèi)徑為25-30mm，所述濾芯的濾芯精度為0.5-2 Um0
[0014]3.有益效果
[0015]相比于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明的有益效果為:
[0016](I)本發(fā)明中提供了一種切割水二次利用裝置，針對切割水中的雜質(zhì)特性，合理的設(shè)計了沉淀池、預(yù)處理裝置和顆粒過濾裝置，使切割水的處理成本大大降低，沉淀池的底部設(shè)計成斜坡狀，方便將沉淀下來的大顆粒狀切割肩排出，預(yù)處理裝置和顆粒過濾裝置中設(shè)置的水位感應(yīng)器能方便控制預(yù)處理罐和水箱中的水位，且能準(zhǔn)確提供水位信息，為控制水處理試劑和活性碳的添加量帶來便利；
[0017](2)本發(fā)明中提供了一種切割水二次利用裝置，顆粒過濾裝置中的濾芯是疏水性的，能過濾掉水中雜質(zhì)的同時不易被堵塞，使用壽命長，且更換方便；
[0018](3)本發(fā)明提供了一種切割水二次利用裝置，將切割產(chǎn)生的廢水經(jīng)過沉淀、預(yù)處理和過濾后，用于研磨機用水，使切割水得到二次利用，減少了芯片生產(chǎn)企業(yè)的總用水量，按照每臺研磨機研磨水使用量10L/min計算，每臺研磨機每月可以節(jié)約用水432噸，約節(jié)省費用3500元人民幣；
[0019](4)本發(fā)明提供了一種切割水二次利用裝置，在預(yù)處理罐中設(shè)有水處理試劑添加裝置，可向預(yù)處理罐中添加環(huán)糊精水處理試劑，能吸附切割水中不易沉淀的粉末狀雜質(zhì)并團聚成絮凝狀，易分離，且環(huán)糊精上吸附位點多，吸附效率高；
[0020](5)本發(fā)明提供的一種切割水二次利用裝置，能在顆粒過濾裝置中合理添加活性炭，吸附預(yù)處理過程中未能完全絮凝的環(huán)糊精，減少濾芯的過濾壓力，提高濾芯的使用壽命;
[0021](6)本發(fā)明中的顆粒過濾裝置中的濾芯是疏水性的，能有效防止水處理試劑及雜質(zhì)在濾芯表面的吸附，延長了濾芯的使用壽命；
[0022](7)本發(fā)明的切割水二次利用裝置結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)計合理，易于制造。
【附圖說明】
[0023]圖1為本發(fā)明的切割水二次利用裝置結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖2為本發(fā)明的切割水二次利用的流程示意圖。
[0025]圖中:1、沉淀池；11、排泥口 ；2、預(yù)處理裝置；3、顆粒過濾裝置；4、儲水池；21、第一供水泵；22、預(yù)處理罐；23、第一水位感應(yīng)器；24、水處理試劑添加裝置；31、水箱；32、第二水位感應(yīng)器；33、濾芯；34、第二水泵。
【具體實施方式】
[0026]下面結(jié)合具體實施例對本發(fā)明進一步進行描述。
[0027]實施例1
[0028]一種切割水二次利用裝置，包括沉淀池1、預(yù)處理裝置2和顆粒過濾裝置3，沉淀池I的進水口在上部，沉淀池I的底部為斜坡狀，坡角為30°，斜坡的底端設(shè)有排泥口 11，預(yù)處理裝置2包括第一供水泵21、預(yù)處理罐22、第一水位感應(yīng)器23和水處理試劑添加裝置24 ;顆粒過濾裝置3包括水箱31、濾芯33、第二水泵34和第二水位感應(yīng)器32 ;淀池I通過第一供水泵21向預(yù)處理裝置2供水；濾芯33位于顆粒過濾裝置3的出水口，濾芯33為帶骨架恪噴濾芯，濾芯精度為2 μ m，其長度為450mm，外徑為55mm，內(nèi)徑為25mm，出水口與第二水泵34連接，第二水泵34的出水口與儲水池4連通。
[0029]本實施例中的濾芯33在使用前經(jīng)500W紫外燈照射活化3min，然后將濾芯放置于質(zhì)量分?jǐn)?shù)為I %的辛基三甲氧基硅烷中浸泡30min，然后用純水沖洗濾芯，得到疏水性濾芯，能有效防止水處理試劑及雜質(zhì)在濾芯表面的吸附，濾芯的使用壽命延長了 20%，節(jié)約了成本。
[0030]使用上述的一種切割水二次利用裝置對切割廢水進行處理，其步驟為:
[0031](a)關(guān)閉沉淀池I的排泥口，將切割水從上部進水口輸入沉淀池I中靜置Ih ；
[0032](b)用第一供水泵21將沉淀池I中靜置后的水泵入預(yù)處理罐22中，在泵水的過程中啟動水處理試劑添加裝置24向預(yù)處理罐22中添加水處理試劑，第一水位感應(yīng)器23控制預(yù)處理罐22中的水體積為預(yù)處理罐22體積的0.4，其中水處理試劑為環(huán)糊精，添加的環(huán)糊精與水的質(zhì)量比為0.5:100 ；
[0033](c)步驟(b)中泵水結(jié)束后，關(guān)閉水處理試劑添加裝置24，靜置Ih后得到預(yù)處理水；
[0034](d)將步驟(C)中得到的預(yù)處理水引入水箱31中，然后往水箱31中加入活性碳靜置0.5h，添加的活性碳與水的質(zhì)量比為1:100，隨后啟動第二水泵34，使預(yù)處理水經(jīng)過濾芯33過濾后進入儲水池4中儲存，第二水位感應(yīng)器32控制水箱31中水位，使水箱31中水體積為水箱31體積的0.3。
[0035]本實施例中的活性碳能重復(fù)使用，將吸附了水處理試劑和雜質(zhì)的活性碳用5 %鹽酸浸泡lh，然后在90°條件下烘干后可以繼續(xù)用于水處理過程中。<