技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種廢氣處理裝置用預(yù)處理裝置。本發(fā)明的一個實施例的廢氣處理裝置用預(yù)處理裝置為設(shè)置在廢氣處理裝置的前端，以處理在半導(dǎo)體工藝過程中排出的廢氣的單一體的預(yù)處理裝置，包括：主體，形成有能夠使所述廢氣流入的流入口和能夠排出流入的氣體的排出口；隔板，設(shè)置在所述主體內(nèi)，以劃分所述流入口和排出口；防粘著部，設(shè)置在所述流入口，向主體內(nèi)供給熱氮和水分以防止粉末粘著在流入口，并蒸發(fā)廢氣中所含有的水分；過濾部，設(shè)置在所述主體內(nèi)，能夠去除廢氣中所包含的粉末、灰塵、雜質(zhì)及水溶性氣體等；以及第二清洗裝置，設(shè)置在被所述隔板劃分的主體的第一區(qū)域，能夠向粘著于墻面的粉末噴水并清洗。

技術(shù)研發(fā)人員：李根洙;丁勛;金真旭;車龍善
受保護的技術(shù)使用者：尤內(nèi)森株式會社
文檔號碼：201610811658
技術(shù)研發(fā)日：2016.09.08
技術(shù)公布日：2017.06.20