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      一種用于同位素電磁分離器的離子源的聚焦電極的制作方法

      文檔序號:12213935閱讀:來源:國知局

      技術特征:

      1.一種用于同位素電磁分離器的離子源的聚焦電極,設置在所述離子源(6)的弧放電室(7)外側的引出電極中,所述引出電極包括引出縫電極(1)和接地電極(3),所述引出縫電極(1)靠近所述弧放電室(7);所述聚焦電極(2)設置在所述引出縫電極(1)、接地電極(3)之間,包括支撐板(8)和設置在所述支撐板(8)上的縫口面板(9),設置在所述縫口面板(9)上的用于引出離子束的引出縫(10),其特征是:所述縫口面板(9)采用高純石墨制作。

      2.如權利要求1所述的聚焦電極,其特征是:所述縫口面板(9)上的所述引出縫(10)向靠近所述引出縫電極(1)一側凹陷。

      3.如權利要求2所述的聚焦電極,其特征是:所述支撐板(8)與所述縫口面板(9)連接的部分為凹陷結構(15),所述凹陷結構(15)向靠近所述引出縫電極(1)一側凹陷。

      4.如權利要求3所述的聚焦電極,其特征是:所述支撐板(8)在所述縫口面板(9)周圍的部分為鏤空結構(11)。

      5.如權利要求1-4任一項所述的聚焦電極,其特征是:所述支撐板(8)采用不銹鋼制作。

      6.如權利要求5所述的聚焦電極,其特征是:所述支撐板(8)上設有若干透氣孔(12)。

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