本實用新型涉及一種噴涂勻膠機。

背景技術：

薄膜旋涂多采用噴涂勻膠機來進行，現(xiàn)有裝置采用頂部加熱，通過蓋子上的電爐絲渦流發(fā)熱來營造熱環(huán)境，將被旋涂基片置于熱環(huán)境中來滿足加熱旋涂要求，卡盤周圍設有溫感元件和自動對心感應元件，實時感應被旋涂物件溫度變化和確保處于中心位置。但該裝置無法解決被旋涂物件溫度精確控制和可噴涂、可動態(tài)旋涂多用的問題，且在加熱過程中薄膜容易受到空氣中氧氣和水汽的影響。

技術實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術中存在的缺陷，提供一種加熱旋涂過程中不受空氣影響，且旋涂和加熱單獨控制的裝置。

為了達到上述目的，本實用新型提供了一種噴涂勻膠機，包括下殼體、外罩、加熱臺、旋轉裝置；外罩設于下殼體上部，且與上殼體密封相連；加熱臺設于下殼體上端，且位于外罩內；加熱臺上端面設有加熱裝置；旋轉裝置設于下殼體內，且與加熱臺的中心處傳動相連。

其中，旋轉裝置位于加熱臺下端；加熱臺下端設有滾珠。

加熱裝置包括渦流加熱電阻絲、熔斷保護器、溫度調控器、信息處理單元、紅外溫感元件；渦流加熱電阻絲設于加熱臺上，緊貼加熱臺的上端面，并與熔斷保護器串聯(lián)；紅外感應元件設于下殼體上；信息處理單元分別與熔斷保護器、溫度調控器和紅外溫感元件相連。

渦流加熱電阻絲呈平面螺旋形。

加熱臺包括隔熱陶瓷筒、加熱片和彈簧固定裝置；隔熱陶瓷筒下端面密封、上端面開口，且上端面開口處設有環(huán)形凹槽，環(huán)形凹槽的大小與加熱片的大小相適配；環(huán)形凹槽處設有固定螺孔；加熱片設于隔熱陶瓷筒上端開口處，且位于環(huán)形凹槽內，并通過固定螺釘固定在隔熱陶瓷筒上；渦流加熱電阻絲設于隔熱陶瓷筒內，且緊貼加熱片下端面；彈簧固定裝置為兩個，分別設于隔熱陶瓷筒上端面的兩端。

加熱片采用航空鋁材；外罩采用硼化玻璃。

彈簧固定裝置包括限位筒、彈簧和卡片；限位筒一端密封，且通過該端固定在隔熱陶瓷筒上端面開口處；限位筒的另一端開口，開口方向朝內；彈簧一端固定在限位筒密封端內端面；卡片呈V字形，拐點處與彈簧的另一端相連。

旋轉裝置包括直流電機、小齒輪、大齒輪和鋼管；直流電機的輸出軸通過小齒輪與大齒輪相嚙合；鋼管一端穿過大齒輪中心軸，并與大齒輪固定相連；隔熱陶瓷筒下端面設有通孔，鋼管另一端穿過隔熱陶瓷筒下端面，并與隔熱陶瓷筒固定相連；鋼管內設有電線；熔斷保護器、溫度調控器和信息處理單元設于下殼體內，并位于加熱臺下端；渦流加熱電阻絲通過電線與熔斷保護器串聯(lián)。

下殼體內設有密封潤滑油腔室；小齒輪和大齒輪設于密封潤滑油腔室內；密封潤滑有腔室內充滿潤滑油。

下殼體上端面設有密封槽，密封槽的大小與外罩下端口的大小相適配；密封槽內設有密封圈；外罩上設有惰性氣體注入口、惰性氣體排出口和噴嘴固定口。

本實用新型相比現(xiàn)有技術具有以下優(yōu)點：通過外罩隔絕空氣中水汽和氧氣的影響，并減少噪音。利用兩套獨立的加熱裝置和旋轉裝置進行，加熱裝置采用卡盤底部非接觸式渦流加熱方式，通過溫控系統(tǒng)控制盤底溫度，并用紅外溫感器監(jiān)測卡盤溫度，利用熔斷保護器進行溫度控制。旋轉裝置的傳動齒輪設于密封潤滑油腔內，可以增加齒輪的使用壽命，且與之相連的加熱臺下端設有滾珠，在旋涂過程中能夠有效降低靜音。采用本實用新型噴涂勻膠機，能有效進行薄膜加熱旋涂，靜音、高效。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為圖1中下殼體內的結構示意圖；

圖3為圖2中加熱臺的結構示意圖；

圖4為圖2中加熱裝置的結構框圖。

圖中，1-下殼體，101-顯示屏，102-溫度旋鈕，103-轉速旋鈕，2-外罩，21-惰性氣體注入口，22-噴嘴固定口，23-惰性氣體排出口，3-加熱臺，31-加熱片，32-隔熱陶瓷筒，33-限位筒，34-彈簧，35-卡片，36-固定螺孔，4-渦流加熱電阻絲，5-滾珠，6-鋼管，7-密封潤滑油腔室，8-小齒輪，9-大齒輪，10-紅外感應器，11-直流電機，12-待旋涂樣品。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型進行詳細說明。

如圖1所示，本實用新型噴涂勻膠機包括下殼體1、外罩2；下殼體1上端設有密封槽，密封槽呈環(huán)狀，與外罩2下端口相適配，密封槽內設有密封圈，外罩2罩于所述下殼體1上時，通過密封圈進行密封，起到隔音和隔絕空氣的作用。外罩2采用硼化玻璃，其上設有惰性氣體注入口21、噴嘴固定口22和惰性氣體排出口23。采用氣體快接頭固定在惰性氣體注入口21和惰性氣體排出口23上；噴涂裝置固定在噴嘴固定口22上，采用0.2mm霧化噴頭，外接30ml儲液瓶，利用加壓泵將液體加壓送入橡膠軟管（0.4*0.6mm）進入霧化噴頭。下殼體1上端、外罩2內設有加熱臺3和紅外感應器10。

結合圖2所示，下殼體1內由上至下依次設有加熱臺3、滾柱層、密封潤滑油腔室7和旋轉裝置、加熱裝置。如圖4所示，加熱裝置包括渦流加熱電阻絲4、熔斷保護器、溫度調控器、信息處理單元、紅外溫感元件10。信息處理單元采用單片機。加熱臺3包括隔熱陶瓷筒32、加熱片31和彈簧固定裝置，結合圖3。加熱片31采用航天鋁材。隔熱陶瓷筒32下端面密封、上端面開口，且開口處設有環(huán)形凹槽，環(huán)形凹槽的大小與加熱片31的大小相適配；環(huán)形凹槽處設有固定螺孔；加熱片31設于隔熱陶瓷筒32上端開口處，且位于環(huán)形凹槽內。加熱片31的對應位置也設有固定螺孔36，并通過固定螺釘穿過固定螺孔36固定在隔熱陶瓷筒32上。渦流加熱電阻絲4呈平面螺旋狀，設于隔熱陶瓷筒32內，且緊貼加熱片31下端面；彈簧固定裝置為兩個，分別設于隔熱陶瓷筒上端面的兩端。

如圖3所示，彈簧固定裝置包括限位筒33、彈簧34和卡片35；限位筒33一端密封，且通過該端固定在隔熱陶瓷筒32上端面開口處；限位筒33的另一端開口，開口方向朝內；彈簧34一端固定在限位筒33密封端內端面；卡片35呈V字形，拐點處與彈簧34的另一端相連。通過兩端卡片35固定待旋涂樣品12。加熱臺3下端設有若干滾珠5，形成滾柱層，減少加熱臺旋轉形成的噪聲。旋轉裝置包括直流電機11、小齒輪8、大齒輪9和鋼管6；直流電機11的輸出軸通過小齒輪8與大齒輪9相嚙合；鋼管6一端穿過大齒輪9的中心軸，并與大齒輪9固定相連；鋼管6的另一端穿過隔熱陶瓷筒32下端面，并與隔熱陶瓷筒32固定相連；鋼管6內設有電線，渦流加熱電阻絲4通過電線與熔斷保護器串聯(lián)。如圖4所示，信息處理單元分別與熔斷保護器、溫度調控器和紅外溫感元件相連。結合圖1，下殼體1外表面設有溫度旋鈕102、轉速旋鈕103和顯示屏101。溫度旋鈕102與溫度調控器相連，控制溫度；轉速旋鈕103與直流電機11相連，控制轉速。顯示屏101與信息處理單元相連，進行溫度和轉速的實時、直觀顯示。