本實(shí)用新型涉及鍺烷生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，特別是鍺烷反應(yīng)系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

鍺烷是一種在半導(dǎo)體工業(yè)上有重要用途的分解爆炸危險(xiǎn)性，同時(shí)毒性很高的無色氣體，一直以來，我國的鍺烷基本都是從外面進(jìn)口的，在此之前在國內(nèi)基本沒有鍺烷的生產(chǎn)基地，有也只是比較簡陋，沒有一個(gè)很好的反應(yīng)系統(tǒng)，無法確保安全和穩(wěn)定性，而鍺烷的生產(chǎn)設(shè)施設(shè)備更是一片空白，在我國鍺烷的生產(chǎn)一直都是技術(shù)的一個(gè)難題，同時(shí)對(duì)整個(gè)的鍺烷反應(yīng)系統(tǒng)的要求較高，對(duì)反應(yīng)釜內(nèi)部的清潔度要求很高。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于提供一種鍺烷反應(yīng)系統(tǒng)，以滿足國內(nèi)鍺烷生產(chǎn)的空白，同時(shí)提高反應(yīng)的安全性和穩(wěn)定性。

為實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)目的，達(dá)到上述技術(shù)效果，本實(shí)用新型公開了一種鍺烷反應(yīng)系統(tǒng)，鍺烷反應(yīng)系統(tǒng)包括了清洗組件、進(jìn)料組件、反應(yīng)釜、冷卻夾套、攪拌器、壓力表、液位計(jì)、PLC控制組件和隔膜泵，清洗組件和進(jìn)料組件通過輸配管路與反應(yīng)釜相連，冷卻夾套安裝于反應(yīng)釜的外側(cè)，攪拌器和液位計(jì)安裝于反應(yīng)釜內(nèi)，壓力表安裝于反應(yīng)釜的頂部，反應(yīng)釜底部通過隔膜泵與廢水罐相連。

其中，清洗組件包括了氮?dú)夤艿?、氦氣管道和尾氣處理管道，氮?dú)夤艿?、氦氣管道和尾氣處理管道與反應(yīng)釜相連，氮?dú)夤艿?、氦氣管道和尾氣處理管道上分別設(shè)置有隔離閥和單向閥。

其中，進(jìn)料組件包括了堿液管道、酸液管道、真空管道、超純水管道和純化系統(tǒng)輸送管道，堿液管道、酸液管道、真空管道和超純水管道上分別安裝有隔離閥。

其中，PLC控制組件包括了清洗PLC控制器和進(jìn)料PLC控制器，清洗PLC控制器通過信號(hào)線路與清洗組件相連，進(jìn)料PLC控制器通過信號(hào)線路與進(jìn)料組件相連。

其中，緊急排放組件包括了爆破片和緊急排放罐，緊急排放罐通過輸配管路與反應(yīng)釜相連，爆破片設(shè)置于輸配管路上。

優(yōu)選的，反應(yīng)釜為不銹鋼材質(zhì)制成，內(nèi)襯聚四氟乙烯。

本實(shí)用新型具有以下有益效果：

1.根據(jù)系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)對(duì)反應(yīng)釜采用新型的方法對(duì)內(nèi)部進(jìn)行清洗，并且利用PLC控制器控制清洗組件和進(jìn)料組件的輸送工作，從而使鍺烷反應(yīng)更加的安全、高效純度更高和穩(wěn)定。

2.經(jīng)過合理設(shè)計(jì)，同時(shí)可在反應(yīng)罐增設(shè)冷卻夾套，攪拌器，方便在反應(yīng)的過程中溫度的控制和反應(yīng)的均勻性。整體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)彌補(bǔ)了鍺烷反應(yīng)安全性、穩(wěn)定性、高效性的空缺，填補(bǔ)了國內(nèi)鍺烷生產(chǎn)中不成熟的技術(shù)難題。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

1：氮?dú)夤艿溃?：氦氣管道，3：尾氣處理管道，4：堿液管道，5：酸液管道，6：真空管道，7：超純水管道，8：純化系統(tǒng)輸送管道，9：反應(yīng)釜，10：冷卻夾套，11：攪拌器，12：壓力表，13：液位計(jì)，14：清洗PLC控制器，15：進(jìn)料PLC控制器，16：爆破片，17：緊急排放罐，18：隔膜泵，19：廢水罐。

具體實(shí)施方式

為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。

如圖1所示，本實(shí)用新型公開了一種鍺烷反應(yīng)系統(tǒng)，鍺烷反應(yīng)系統(tǒng)包括了清洗組件、進(jìn)料組件、反應(yīng)釜9、冷卻夾套10、攪拌器11、壓力表12、液位計(jì)13、PLC控制組件、爆破片16、緊急排放罐17、隔膜泵18，清洗組件和進(jìn)料組件通過輸配管路與反應(yīng)釜9相連，冷卻夾套10安裝于反應(yīng)釜9的外側(cè)，攪拌器11和液位計(jì)13安裝于反應(yīng)釜9內(nèi)，壓力表12安裝于反應(yīng)釜9的頂部，緊急排放罐17通過輸配管路與反應(yīng)釜9相連，爆破片16設(shè)置于輸配管路上，反應(yīng)釜9底部通過隔膜泵18與廢水罐19相連。

清洗組件包括了氮?dú)夤艿?、氦氣管道2和尾氣處理管道3，氮?dú)夤艿?、氦氣管道2和尾氣處理管道3與反應(yīng)釜9相連，氮?dú)夤艿?、氦氣管道2和尾氣處理管道3上分別設(shè)置有隔離閥和單向閥。

進(jìn)料組件包括了堿液管道4、酸液管道5、真空管道6、超純水管道7和純化系統(tǒng)輸送管道8，堿液管道4、酸液管道5、真空管道6和超純水管道7上分別安裝有隔離閥。

PLC控制組件包括了清洗PLC控制器14和進(jìn)料PLC控制器15，清洗PLC控制器14通過信號(hào)線路與清洗組件相連，進(jìn)料PLC控制器15通過信號(hào)線路與進(jìn)料組件相連。

工作原理：

在鍺烷反應(yīng)之前，先對(duì)反應(yīng)釜9內(nèi)部進(jìn)行氮?dú)?、氦氣清洗抽真空，重?fù)若干次至滿足反應(yīng)要求，同時(shí)對(duì)冷卻夾套10進(jìn)行冷卻，反應(yīng)釜9內(nèi)進(jìn)料液位通過液位計(jì)13進(jìn)行觀察，反應(yīng)的過程中通過進(jìn)料PLC控制器15來控制反應(yīng)的速度，產(chǎn)品鍺烷氣體從純化系統(tǒng)輸送管道8輸送進(jìn)入純化系統(tǒng)。最后重復(fù)鍺烷反應(yīng)前步驟對(duì)反應(yīng)反應(yīng)釜9內(nèi)部進(jìn)行清洗，清洗干凈之后，通過氮?dú)夤艿?往里面加入一定數(shù)值的氮?dú)猓缓蟠蜷_隔膜泵18把反應(yīng)完的廢液排放到廢水罐19。

以上所述，僅為本實(shí)用新型較佳的具體實(shí)施方式，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。