本實(shí)用新型涉及單晶棒加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種冷凝式除塵筒。

背景技術(shù)：

現(xiàn)有單晶爐的除塵筒裝置參見附圖1所示，是在筒本體10的內(nèi)部放置了過(guò)濾器20，過(guò)濾器20為紙質(zhì)，通過(guò)紙質(zhì)濾芯將雜質(zhì)過(guò)濾掉，雜質(zhì)附著在濾芯上。這樣使用的弊端如下：

1、紙質(zhì)濾芯雜質(zhì)不便于清理，增加人工成本。

2、如果清理不徹底會(huì)影響單晶爐運(yùn)行時(shí)的氬氣流速，不利于雜質(zhì)排除。

3、濾芯使用更換頻繁，增加運(yùn)行成本。

4、由于直接接觸高溫氣體，除塵筒表面溫度過(guò)高，工作環(huán)境質(zhì)量差。

所以，如何提供一種新型除塵筒，解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題，是目前本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的技術(shù)問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

有鑒于此，本實(shí)用新型提供了一種冷凝式除塵筒，解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷，具體方案如下：

一種冷凝式除塵筒，包括筒本體，筒蓋，所述筒本體為圓柱體形狀，所述筒本體的上部設(shè)有氣體入口，所述筒本體的下部設(shè)有氣體出口，所述筒本體內(nèi)還設(shè)有冷凝管，所述冷凝管的頂部設(shè)有圓形頂蓋，所述氣體入口設(shè)于所述圓形頂蓋的下部。

具體的，所述冷凝管的冷卻水出口與所述氣體入口位于所述筒本體的同側(cè)，所述冷凝管的冷卻水入口與所述冷卻水出口對(duì)向設(shè)置，所述冷卻水出口和所述冷卻水入口設(shè)于所述筒本體的底部。

具體的，所述圓形頂蓋與所述筒本體內(nèi)壁活動(dòng)連接，所述圓形頂蓋上部設(shè)有提手。

具體的，所述圓形頂蓋設(shè)于所述筒本體自上而下1/5高度處。

具體的，所述圓形頂蓋以及所述筒本體內(nèi)壁均設(shè)有保溫層。

具體的，所述氣體入口通入的為氬氣。

具體的，所述冷凝在所述筒本體內(nèi)的排列為若干個(gè)相連接的“弓”字形。

具體的，所述冷凝管在所述筒本體內(nèi)的排列為螺旋狀。

本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有的優(yōu)點(diǎn)是：1、改善氬氣流通路徑，將原來(lái)的除塵筒過(guò)濾器紙濾芯去除掉，并在除塵筒內(nèi)增加圓形蓋板、冷凝系統(tǒng)，改善氬氣流筒路徑，確保雜質(zhì)有效的沉積。2、冷卻除塵集于一體，不影響外界環(huán)境溫度。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中除塵筒結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2本實(shí)用新型提供的冷凝式除塵筒結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中： 10、筒本體 11、氣體入口 12、氣體出口 13、筒蓋 20、過(guò)濾器 30、冷凝管 31、冷卻水入口 32、冷卻水出口 40、圓形頂蓋 41、提手 。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

相關(guān)術(shù)語(yǔ)解釋

除塵筒：?jiǎn)尉t附屬設(shè)備，作用為過(guò)濾硅料揮發(fā)產(chǎn)生的雜質(zhì)。

除塵筒濾芯：除塵筒內(nèi)過(guò)濾裝置。

工藝氬氣：?jiǎn)尉t運(yùn)行時(shí)充入氬氣，然后通過(guò)真空泵抽出，作用為降溫并帶走揮發(fā)雜質(zhì)。

參見附圖2所示，為本實(shí)用新型提供的冷凝式除塵筒結(jié)構(gòu)示意圖，本實(shí)用新型請(qǐng)求保護(hù)一種冷凝式除塵筒，包括筒本體10，筒蓋13，所述筒本體10為圓柱體形狀，所述筒本體10的上部設(shè)有氣體入口11，所述筒本體10的下部設(shè)有氣體出口12，所述筒本體10內(nèi)還設(shè)有冷凝管30，所述冷凝管30的頂部設(shè)有圓形頂蓋40，所述氣體入口設(shè)于所述圓形頂蓋40的下部。

當(dāng)高溫氬氣通過(guò)氣體入口11進(jìn)入筒本體10后，由于圓形頂蓋40的壓制，使氬氣自然下沉至筒本體底部，這樣高溫氬氣會(huì)先通過(guò)向筒本體10的底部流動(dòng)，將雜質(zhì)帶入除塵筒底部，雜質(zhì)由于自身重量會(huì)產(chǎn)生自然沉積，然后由于氣體出口12連接著主真空泵（未圖示），氬氣會(huì)通過(guò)氣體出氣口12被真空泵排出，在除塵筒內(nèi)形成氬氣流通的回路。由于冷卻水溫度較低，冷凝裝置在氬氣的流通回路上，這樣高溫雜質(zhì)會(huì)大量的凝結(jié)在冷凝器上，起到良好的除塵的效果。冷卻水可以直接使用單晶爐的冷卻水，減少成本，便于安裝使用。

具體的，所述冷凝管30的冷卻水出口32與所述氣體入口11位于所述筒本體10的同側(cè)，所述冷凝管30的冷卻水入口31與所述冷卻水出口32對(duì)向設(shè)置，所述冷卻水出口32和所述冷卻水入口31設(shè)于所述筒本體10的底部。

具體的，所述圓形頂蓋40與所述筒本體10內(nèi)壁活動(dòng)連接，所述圓形頂蓋40上部設(shè)有提手41。

具體的，所述圓形頂蓋40設(shè)于所述筒本體10自上而下1/5高度處。

具體的，所述圓形頂蓋40以及所述筒本體10內(nèi)壁均設(shè)有保溫層，改善設(shè)備運(yùn)行的外界環(huán)境。

具體的，所述冷凝30在所述筒本體10內(nèi)的排列為若干個(gè)相連接的“弓”字形。

具體的，所述冷凝管30在所述筒本體10內(nèi)的排列為螺旋狀，即自底部盤旋至頂部，采用此種方式的冷凝管，對(duì)氬氣降溫除塵效果更佳。

上面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施例進(jìn)行了描述，但是本實(shí)用新型并不局限于上述的具體實(shí)施方式，上述的具體實(shí)施方式僅僅是示意性的，而不是限制性的，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在本實(shí)用新型的啟示下，在不脫離本實(shí)用新型宗旨和權(quán)利要求所保護(hù)的范圍情況下，還可做出很多形式，這些均屬于本實(shí)用新型的保護(hù)之內(nèi)。