本實用新型涉及尾氣處理設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種外延工藝的尾氣處理器。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體硅片制造的外延工藝外延爐EPI中會使用到大量TCS(化學(xué)式為SiHCl₃)、HCl、H₂和ppm濃度級別的PH₃或B₂H₆等氣體，工藝實際反應(yīng)率<20％，大量的TCS氣體會被作為工藝尾氣排出外延爐反應(yīng)腔，這些有毒有害氣體必須經(jīng)過合適的尾氣處理器處理達(dá)標(biāo)后才能排入大氣。由于TCS與水反應(yīng)生成SiO₂顆粒結(jié)晶物和HCl氣體等，而HCl能溶于水被有效吸收處理；加上H₂可以不做任何處理直接放空，而極微量的PH₃或B₂H₆等經(jīng)過尾氣處理器內(nèi)H₂稀釋后低于TLV值，可以直接放空，而無需專門處理。

現(xiàn)有技術(shù)中，采用普通的水洗式尾氣洗滌塔，廢氣通過被水淋洗的鮑爾環(huán)等填料時被水反應(yīng)吸收。

但是，在此過程中產(chǎn)生大量SiO₂白色結(jié)晶物，需要1-3天停機(jī)清理一次，把SiO₂白色結(jié)晶物去除干凈，否則就會使填料粘結(jié)堵塞，造成尾氣處理器無法工作；進(jìn)氣口容易被堵塞，由于水汽原因，使得在尾氣進(jìn)氣口因為TCS與水汽反應(yīng)生成的SiO₂沒有被水沖洗，直接粘附在進(jìn)氣口內(nèi)壁；耗水量大，為了把設(shè)備水箱內(nèi)水面漂浮的白色結(jié)晶物去除，需要使用大量的補(bǔ)水和排水，把白色結(jié)晶物隨排水排至排出設(shè)備；負(fù)壓調(diào)節(jié)不穩(wěn)定且不能隨著氣流變化而快速響應(yīng)，常壓型EPI外延爐，需要使用尾氣處理系統(tǒng)來精確控制負(fù)壓，同時滿足當(dāng)尾氣量變化時，需要快速調(diào)節(jié)至設(shè)定負(fù)壓值；目前常規(guī)的是尾氣處理器后端安裝一個離心風(fēng)機(jī)抽負(fù)壓方式，離心風(fēng)機(jī)由于抽風(fēng)量大，隨進(jìn)氣量的變化而調(diào)節(jié)穩(wěn)定負(fù)壓的能力弱；

綜上所述，如何有效地解決普通水洗式尾氣洗滌塔不能較好地處理尾氣的問題，是目前本領(lǐng)域技術(shù)人員急需解決的問題。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的是提供一種外延工藝的尾氣處理器，該外延工藝的尾氣處理器有效地解決普通水洗式尾氣洗滌塔不能較好地處理尾氣的問題。

為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供如下技術(shù)方案：

一種外延工藝的尾氣處理器，包括儲水箱、與所述儲水箱連通用于吸收廢氣的射流噴淋塔，以及與所述射流噴淋塔的排氣口連接的負(fù)壓發(fā)生器，所述負(fù)壓發(fā)生器之前相通的區(qū)域形成負(fù)壓腔，所述負(fù)壓發(fā)生器之后相通的區(qū)域形成常壓腔，所述儲水箱上設(shè)置有通入持續(xù)水流的進(jìn)水口，所述負(fù)壓腔與所述常壓腔的液體連通；還包括處于常壓狀態(tài)且補(bǔ)液口與所述負(fù)壓腔的液體連通的溢流箱，所述溢流箱內(nèi)的渾濁液體從溢流口排出。

優(yōu)選地，所述負(fù)壓發(fā)生器內(nèi)包括用于噴出液體并使所述噴出液體與所述排氣口的尾氣匯合后噴入所述常壓腔的射流器，所述常壓腔開設(shè)有將氣液分離后的凈化氣體排出的凈化氣體排出口。

優(yōu)選地，還包括底端與所述儲水箱連通用于對廢氣進(jìn)行第一次水洗溶解的進(jìn)氣塔；

還包括連通于所述進(jìn)氣塔和所述射流噴淋塔之間用于通過分散水對酸氣吸收的中間噴淋塔，所述中間噴淋塔的底端與所述儲水箱連通；

所述射流噴淋塔的筒體浸入所述儲水箱內(nèi)水面下。

優(yōu)選地，所述中間噴淋塔和所述射流噴淋塔內(nèi)具有至少兩層噴嘴噴淋裝置，每層所述噴嘴噴淋裝置下方設(shè)置有填料層；

所述中間噴淋塔與所述中間噴淋塔之間的連通管和所述中間噴淋塔與所述射流噴淋塔之間的連通管上均設(shè)置有水流噴嘴；

所述中間噴淋塔和所述射流噴淋塔的側(cè)壁安裝有觀察檢修口。

優(yōu)選地，所述進(jìn)氣塔的頂端設(shè)置有進(jìn)氣筒，所述進(jìn)氣筒開設(shè)有尾氣進(jìn)氣口和保護(hù)氣體進(jìn)氣口；

所述進(jìn)氣筒的頂端安裝有與其軸向相同的轉(zhuǎn)動軸，所述轉(zhuǎn)動軸上固定有能夠去除所述進(jìn)氣筒內(nèi)壁粘附結(jié)晶物的刮板，所述刮板與所述進(jìn)氣筒的內(nèi)壁之間具有縫隙。

優(yōu)選地，所述進(jìn)氣筒的下部連接有法蘭盤，所述法蘭盤的邊緣與所述進(jìn)氣塔的內(nèi)壁之間具有環(huán)狀間隙，所述進(jìn)氣塔的進(jìn)液口設(shè)置于所述法蘭盤的上方。

優(yōu)選地，所述進(jìn)氣塔的進(jìn)液口、所述噴嘴噴淋裝置、所述水流噴嘴均與噴淋泵連通，所述噴淋泵的進(jìn)口與所述負(fù)壓腔的液體連通。

優(yōu)選地，所述負(fù)壓腔水面位置安裝有用于將水面上形成的結(jié)晶漂浮物打散與水充分混合均勻的文丘里混流噴嘴。

優(yōu)選地，所述進(jìn)水口設(shè)置于所述常壓腔處的所述儲水箱上，所述溢流箱內(nèi)設(shè)置有溢流管，所述溢流箱內(nèi)的渾濁液體從所述溢流管的溢流口排出；

所述溢流箱的頂部設(shè)置有沖洗噴淋頭，所述沖洗噴淋頭與所述常壓腔的液體連通；

所述溢流箱的上部設(shè)置有與大氣連通的常壓口。

優(yōu)選地，所述負(fù)壓腔內(nèi)安裝有壓力傳感器，所述壓力傳感器與變頻控制箱連接，所述變頻控制箱與變頻泵連接，所述變頻泵與所述射流器連接；

所述變頻控制箱還與液位開關(guān)連接，所述液位開關(guān)位于所述負(fù)壓腔內(nèi)且能夠測量所述負(fù)壓腔內(nèi)液體高度。

本實用新型所提供的外延工藝的尾氣處理器，包括儲水箱、射流噴淋塔、負(fù)壓發(fā)生器以及溢流箱，儲水箱內(nèi)具有水，射流噴淋塔筒體浸入儲水箱內(nèi)水面下，用于通過高速旋轉(zhuǎn)水流吸收廢氣，大量分散水對廢氣充分吸收。負(fù)壓發(fā)生器與射流噴淋塔的排氣口連接，用于產(chǎn)生負(fù)壓，外延工藝的尾氣處理器有兩個腔體，負(fù)壓腔和常壓腔，負(fù)壓發(fā)生器之前相通的區(qū)域形成負(fù)壓腔，負(fù)壓發(fā)生器之后相通的區(qū)域形成常壓腔。儲水箱上設(shè)置有進(jìn)水口，進(jìn)水口通入持續(xù)水流，負(fù)壓腔與常壓腔的液體連通。溢流箱處于常壓狀態(tài)，且其補(bǔ)液口與負(fù)壓腔的液體連通，溢流箱內(nèi)的渾濁液體從溢流口排出，渾濁液體主要為SiO₂白色結(jié)晶物。

本實用新型所提供的外延工藝的尾氣處理器為穩(wěn)定負(fù)壓裝置，有利于穩(wěn)定生產(chǎn)，以城市自來水為水溶劑，尾氣通過氣液兩相的接觸，實現(xiàn)氣液兩相間的混合、溶解等過程，以滿足氣體凈化吸收要求。產(chǎn)生的SiO₂白色結(jié)晶物與水有效混合均勻，隨溢流箱的溢流口排出，停機(jī)清理頻率降低，不易使填料粘結(jié)堵塞，延長至60天以上停機(jī)清理一次，把SiO₂白色結(jié)晶物去除干凈，尾氣處理器的工作效率提高；SiO₂白色結(jié)晶物與水有效混合均勻，去除水面漂浮的白色結(jié)晶物時不需要大量的補(bǔ)水和排水，耗水量小，節(jié)水性好；結(jié)構(gòu)簡單，易于維護(hù)保養(yǎng)，造價低。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型中一種具體實施方式所提供的外延工藝的尾氣處理器的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為圖1的工作原理示意圖。

附圖中標(biāo)記如下：

1-射流噴淋塔、2-進(jìn)氣塔、3-刮板、4-尾氣進(jìn)氣口、5-中間噴淋塔、6-噴嘴噴淋裝置、7-壓力傳感器、8-溢流箱、9-溢流口、10-儲水箱、11-過濾器、12-排水口、13-排水閥、14-變頻泵、15-噴淋泵、16-文丘里混流噴嘴、17-液位開關(guān)、18-變頻泵流量計、19-進(jìn)水口、20-進(jìn)水閥、21-凈化氣體排出口、22-進(jìn)水流量計、23-負(fù)壓發(fā)生器、24-保護(hù)氣體進(jìn)氣口、25-負(fù)壓腔、26-常壓腔、27-控制箱、28-沖洗噴淋頭。

具體實施方式

本實用新型的核心是提供一種外延工藝的尾氣處理器，該外延工藝的尾氣處理器有效地解決普通水洗式尾氣洗滌塔不能較好地處理尾氣的問題。

下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護(hù)的范圍。

請參考圖1和圖2，圖1為本實用新型中一種具體實施方式所提供的外延工藝的尾氣處理器的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1的工作原理示意圖。

在一種具體實施方式中，本實用新型所提供的外延工藝的尾氣處理器，包括儲水箱10、射流噴淋塔1、負(fù)壓發(fā)生器23以及溢流箱8，儲水箱10內(nèi)具有水，射流噴淋塔1與儲水箱10連通，用于通過高速旋轉(zhuǎn)水流吸收廢氣，大量分散水對廢氣充分吸收。負(fù)壓發(fā)生器23與射流噴淋塔1的排氣口連接，用于產(chǎn)生負(fù)壓，外延工藝的尾氣處理器有兩個腔體，負(fù)壓腔25和常壓腔26，負(fù)壓發(fā)生器23之前相通的區(qū)域形成負(fù)壓腔25，負(fù)壓發(fā)生器23之后相通的區(qū)域形成常壓腔26。儲水箱10上設(shè)置有進(jìn)水口19，進(jìn)水口19處設(shè)置有進(jìn)水閥20，控制進(jìn)水口19的通斷，還設(shè)置有進(jìn)水流量計22，獲取進(jìn)水量。進(jìn)水口19通入持續(xù)水流，負(fù)壓腔25與常壓腔26的液體連通。溢流箱8處于常壓狀態(tài)，且其補(bǔ)液口與負(fù)壓腔25的液體連通，溢流箱8內(nèi)的渾濁液體從溢流口9排出，渾濁液體主要為SiO₂白色結(jié)晶物。

本實用新型所提供的外延工藝的尾氣處理器為穩(wěn)定負(fù)壓裝置，有利于穩(wěn)定生產(chǎn)，以城市自來水為水溶劑，尾氣通過氣液兩相的接觸，實現(xiàn)氣液兩相間的混合、溶解等過程，以滿足氣體凈化吸收要求。通過持續(xù)穩(wěn)定的補(bǔ)水，不僅滿足一定的水溶解和吸收能力，保證設(shè)備一直處于穩(wěn)定處理狀態(tài)，同時通過水流持續(xù)排出溶解SiO₂顆粒的渾濁液體，產(chǎn)生的SiO₂白色結(jié)晶物與水有效混合均勻，隨溢流箱8的溢流口9排出，停機(jī)清理頻率降低，不易使填料粘結(jié)堵塞，延長至60天以上停機(jī)清理一次，把SiO₂白色結(jié)晶物去除干凈，尾氣處理器的工作效率提高；SiO₂白色結(jié)晶物與水有效混合均勻，去除水面漂浮的白色結(jié)晶物時不需要大量的補(bǔ)水和排水，耗水量小，節(jié)水性好；結(jié)構(gòu)簡單，易于維護(hù)保養(yǎng)，造價低。

在上述具體實施方式的基礎(chǔ)上，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)具體場合的不同，對外延工藝的尾氣處理器進(jìn)行若干改變，負(fù)壓發(fā)生器23內(nèi)包括射流器，射流器用于噴出液體并使噴出液體與排氣口的尾氣匯合后噴入常壓腔26，射流器的進(jìn)水管路處也設(shè)置有進(jìn)水流量計22，獲取進(jìn)水量。常壓腔26開設(shè)有凈化氣體排出口21，通過凈化氣體排出口21將氣液分離后的凈化氣體排出。具體地說，在泵葉輪高速旋轉(zhuǎn)下，液體以高的速度從噴嘴噴出，高速流動的液體通過混氣室時，會在混氣室形成真空，由導(dǎo)氣管吸入大量氣體，氣體進(jìn)入混氣室后，在喉管處與液體劇烈混合，形成氣液混合體，由擴(kuò)散管排出，在整個過程中形成高效的物質(zhì)傳遞，也可以對氣體進(jìn)行凈化。外延工藝的尾氣處理器實現(xiàn)負(fù)壓控制，利用射流器負(fù)壓原理形成穩(wěn)定負(fù)壓，有利于穩(wěn)定生產(chǎn)。

上述外延工藝的尾氣處理器僅是一種優(yōu)選方案，具體并不局限于此，在此基礎(chǔ)上可根據(jù)實際需要做出具有針對性的調(diào)整，從而得到不同的實施方式，還包括進(jìn)氣塔2，進(jìn)氣塔2底端與儲水箱10連通用于對廢氣進(jìn)行第一次水洗溶解，含酸性廢氣進(jìn)入進(jìn)氣塔2，進(jìn)氣塔2為第一級噴淋塔，對廢氣進(jìn)行第一次水洗溶解。還包括中間噴淋塔5，中間噴淋塔5為第二級噴淋塔，中間噴淋塔5連通于進(jìn)氣塔2和射流噴淋塔1之間，中間噴淋塔5的底端與儲水箱10連通，通過大量分散水對酸氣充分吸收。射流噴淋塔1為第三級噴淋塔，通過高速旋轉(zhuǎn)水流吸收殘余酸氣。經(jīng)過三級處理的酸氣可使酸濃度從10％降到0.5％以下，使其排放濃度低于國家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的大氣污染物最高允許排放濃度值。

具體地說，酸性廢氣由尾氣進(jìn)氣口4進(jìn)入進(jìn)氣塔2，優(yōu)選地，在上半部進(jìn)水，水流下，從上而下進(jìn)入下部儲水箱10，尾氣中TCS在儲水箱10上部空間穿過水簾時與水反應(yīng)，生成的SiO₂顆粒被水簾沖入儲水箱10。廢氣從底部進(jìn)入中間噴淋塔5，中間噴淋塔5具有噴嘴，中間噴淋塔5可以去除廢氣中95％以上的TCS，噴嘴噴出的大量傘形分散水，不是水霧狀，對酸廢氣充分吸收反應(yīng)，下落覆蓋沖刷整個鮑爾環(huán)填料區(qū)域，使反應(yīng)生成的SiO₂無法粘附在填料表面，防止填料空間被結(jié)晶物粘附板結(jié)堵塞。廢氣經(jīng)過連通管進(jìn)入射流噴淋塔1，內(nèi)部同中間噴淋塔5結(jié)構(gòu)相同，具有噴嘴，使流經(jīng)的工藝尾氣和水充分接觸溶解，有效去除尾氣中溶于水的有害氣體。射流噴淋塔1筒體要浸入儲水箱10內(nèi)的液面下，形成水封，防止氣體從進(jìn)氣塔2直接進(jìn)入射流噴淋塔1。被洗滌凈化的尾氣從射流噴淋塔1頂部出氣口，被射流器形成的負(fù)壓發(fā)生裝置抽吸，形成氣液混合進(jìn)入常壓腔26，凈化的氣體從常壓腔26排出，接入車間總管排出室外。

在上述具體實施方式的基礎(chǔ)上，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)具體場合的不同，對外延工藝的尾氣處理器進(jìn)行若干改變，中間噴淋塔5和射流噴淋塔1內(nèi)具有至少兩層噴嘴噴淋裝置6，噴嘴噴淋裝置6噴出的大量傘形分散水，不是水霧狀，對酸廢氣充分吸收反應(yīng)，下落覆蓋沖刷整個鮑爾環(huán)填料區(qū)域，使反應(yīng)生成的SiO₂無法粘附在填料表面，防止填料空間被結(jié)晶物粘附板結(jié)堵塞。每層噴嘴噴淋裝置6下方設(shè)置有填料層，填料層可以增大廢氣與水的接觸面積，充分潤濕，使廢氣與水充分反應(yīng)，溶解在水中，比如兩層填料層和兩層大流量噴嘴噴淋裝置6，具體層數(shù)不受限制，可以根據(jù)具體使用情況而定。

中間噴淋塔5與中間噴淋塔5之間的連通管和中間噴淋塔5與射流噴淋塔1之間的連通管上均設(shè)置有水流噴嘴，此水流噴嘴要求有分散水噴入管道，對中間噴淋塔5和射流噴淋塔1的連通管沖刷，但水柱不能封住管口，否則會造成氣流不暢和負(fù)壓不穩(wěn)。

中間噴淋塔5和射流噴淋塔1的側(cè)壁安裝有觀察檢修口，觀察檢修口為透明的，可以作為觀察窗，同時也是用于取出清理填料時的維修口。

需要特別指出的是，本實用新型所提供的外延工藝的尾氣處理器不應(yīng)被限制于此種情形，進(jìn)氣塔2的頂端設(shè)置有進(jìn)氣筒，方便清理。進(jìn)氣筒開設(shè)有尾氣進(jìn)氣口4和保護(hù)氣體進(jìn)氣口24，開設(shè)于頂部，保護(hù)氣體可以為氮氣，通入適量氮氣起到惰性保護(hù)的作用，同時稀釋尾氣濃度，還可以防止水汽上升，將進(jìn)氣塔2的空氣置換出來，防止空氣與廢氣發(fā)生氧化反應(yīng)。

進(jìn)氣筒的頂端安裝有與其軸向相同的轉(zhuǎn)動軸，轉(zhuǎn)動軸上固定有能夠去除進(jìn)氣筒內(nèi)壁粘附結(jié)晶物的刮板3，刮板3與進(jìn)氣筒的內(nèi)壁之間具有縫隙，每周在通保護(hù)氣體狀態(tài)時，旋轉(zhuǎn)進(jìn)氣口刮板3一次去除進(jìn)氣口可能粘附的結(jié)晶物，清理進(jìn)氣筒，防止堵塞廢氣進(jìn)氣口。

顯然，在這種思想的指導(dǎo)下，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以根據(jù)具體場合的不同對上述具體實施方式進(jìn)行若干改變，進(jìn)氣筒的下部連接有法蘭盤，法蘭盤的邊緣與進(jìn)氣塔2的內(nèi)壁之間具有環(huán)狀間隙，比如環(huán)狀間隙3mm，進(jìn)氣塔2的進(jìn)液口設(shè)置于法蘭盤的上方，酸性廢氣由廢氣進(jìn)氣口進(jìn)入進(jìn)氣塔2，從上而下進(jìn)入下部儲水箱10，在上半部進(jìn)水，水經(jīng)過筒體內(nèi)壁3mm環(huán)狀間隙自流下，沖刷內(nèi)筒壁上的SiO₂附著物，防止粘附結(jié)晶，尾氣中TCS在儲水箱10上部空間穿過環(huán)狀水簾時與水反應(yīng)，生成的SiO₂顆粒被水簾沖入儲水箱10，在尾氣進(jìn)氣口4一直有水沖洗，TCS與水汽反應(yīng)生成的SiO₂不會直接粘附在進(jìn)氣口內(nèi)壁，廢氣進(jìn)氣口無堵塞。進(jìn)氣塔2不設(shè)置噴嘴，防止因噴淋產(chǎn)生的水汽水霧上升進(jìn)入進(jìn)氣口造成堵塞。

本實用新型所提供的外延工藝的尾氣處理器，在其它部件不改變的情況下，進(jìn)氣塔2的進(jìn)液口、噴嘴噴淋裝置6、水流噴嘴均與噴淋泵15連通，連接管路上串聯(lián)有過濾器11，噴淋泵15的進(jìn)口與負(fù)壓腔25的液體連通。噴淋用水全部由大流量的噴淋泵15循環(huán)供應(yīng)，噴淋泵15進(jìn)水來自于負(fù)壓腔25。尾氣經(jīng)過循環(huán)連續(xù)的水洗處理，在整個水洗處理過程中，通過各腔室內(nèi)潤濕的鮑爾環(huán)被有效混合溶解于水里，且能減少循環(huán)水的使用量。

對于上述各個實施例中的外延工藝的尾氣處理器，負(fù)壓腔25水面位置安裝有文丘里混流噴嘴16，文丘里混流噴嘴16用于將水面上形成的SiO₂結(jié)晶漂浮物打散與水充分混合均勻。

為了進(jìn)一步優(yōu)化上述技術(shù)方案，進(jìn)水口19設(shè)置于常壓腔26處的儲水箱10上，溢流箱8內(nèi)設(shè)置有溢流管，溢流管與排水口12連通，排水口12處設(shè)置有排水閥13，控制排水口12的通斷。溢流箱8內(nèi)的渾濁液體從溢流管的溢流口9排出，結(jié)構(gòu)簡單，正常運行時，水全部只從溢流口9排出，且溢流管不設(shè)置任何閥門，從常壓腔26補(bǔ)水，使水流全部流向溢流箱8溢流。通過持續(xù)穩(wěn)定的補(bǔ)水，不僅滿足一定的水溶解和吸收能力，保證設(shè)備一直處于穩(wěn)定處理狀態(tài)，同時通過水流持續(xù)排出溶解SiO₂顆粒的渾濁液體。溢流箱8的頂部設(shè)置有沖洗噴淋頭28，沖洗噴淋頭28與常壓腔26的液體連通，沖洗溢流箱8中沉積的SiO₂附著物，防止粘附結(jié)晶。溢流箱8的上部設(shè)置有與大氣連通的常壓口，保持溢流箱8的常壓狀態(tài)。

本實用新型所提供的另一創(chuàng)造性思想在于，負(fù)壓腔25內(nèi)安裝有壓力傳感器7，壓力傳感器7與變頻控制箱27連接，變頻控制箱27與變頻泵14連接，變頻泵14與射流器連接，變頻泵14與射流器之間的連接管路上串聯(lián)有變頻泵流量計18，檢測進(jìn)入射流器的流量大小。利用射流器負(fù)壓原理形成穩(wěn)定負(fù)壓，同時通過安裝在負(fù)壓腔25的壓力傳感器7來調(diào)節(jié)變頻器控制泵電機(jī)轉(zhuǎn)速，通過調(diào)節(jié)泵的輸出壓力來調(diào)節(jié)射流器射流速度實現(xiàn)對負(fù)壓的調(diào)節(jié)和穩(wěn)定控制，負(fù)壓調(diào)節(jié)穩(wěn)定且能隨著氣流變化而快速響應(yīng)，在尾氣流量變化管道部分受到影響的情況下，自動調(diào)節(jié)負(fù)壓真空抽速，保證生產(chǎn)設(shè)備穩(wěn)定負(fù)壓穩(wěn)定。

變頻控制箱27還與液位開關(guān)17連接，液位開關(guān)17位于負(fù)壓腔25內(nèi)且能夠測量負(fù)壓腔25內(nèi)液體高度，設(shè)置有兩個預(yù)設(shè)高度，一個低值，一個高值，當(dāng)?shù)陀诘椭禃r，停泵；當(dāng)高于高值時，發(fā)出報警，保證設(shè)備正常工作。

在本實用新型的描述中，需要說明的是，術(shù)語頂、底等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。

本說明書中各個實施例采用遞進(jìn)的方式描述，每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似部分互相參見即可。

對所公開的實施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實用新型。對這些實施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實用新型的精神或范圍的情況下，在其它實施例中實現(xiàn)。因此，本實用新型將不會被限制于本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的范圍。