本發(fā)明屬于環(huán)保除塵技術領域，具體涉及一種用于單晶生長爐的真空除塵設備，其適用于對單晶生長爐在生產過程中產生的單晶爐粉塵的除塵。

背景技術：

在光伏技術飛速發(fā)展的今天，利用硅單晶所生產的太陽能電池可以直接把太陽能轉化為光能，實現(xiàn)了邁向綠色能源革命的開始。單晶生長爐是單晶體生長設備，隨著光伏技術的飛速發(fā)展，該產業(yè)也得到了飛速的發(fā)展，單晶體生長要求在真空和惰性氣體中進行。真空裝置應能保證爐體內熱真空度達5×1024mm汞柱以上。如果使用惰性氣體作保護氣氛，爐體上、下都設有進出氣的氣口。生長單晶體時，抽真空及真空裝置注入惰性氣體后都需配備除塵裝置。該除塵器綜合運用離心力、慣性碰撞、接觸阻留、布朗擴散這幾種除塵機理，將單晶粉塵收集到除塵設備的盛灰室內。

目前單晶硅生長爐的生產工藝中沒有除塵器，僅僅有油泵抽真空設備，每次真空油泵都會造成10％左右的油損耗，同時還需經常更換油封油確保生產質量。如采用干泵抽真空設備，真空粉塵就會進入泵內齒輪中磨損齒輪，嚴重降低干泵的使用壽命。這就導致了生產效率的下降與維護成本的提高。人們想采用一種單晶爐除塵設備，首先單晶粉塵中存在SiO₂、AL₂O₃、單質P、MgO、Fe₂O₃等易燃性粉塵，當設備停機檢修時，容易引起粉塵遇空氣迅速氧化燃燒，其次，單晶粉塵平均粒度在5μm左右，粉塵顆粒較粘，容易粘在布袋上，因此普通布袋除塵設備很難達到單晶生長爐的除塵要求。

行業(yè)內對單晶生長爐除塵器要求：除塵器在標準大氣壓下的粉塵流通量不低于200L/S，布袋濾芯除塵過濾效率≥99.99％，具備在線自動清灰功能，清灰過程中單爐有效運行時間約≥400H單晶爐真空系統(tǒng)無壓力波動13Torr±1，節(jié)流閥開度異?！?5％；因此發(fā)明一種適合單晶生產爐的除塵設備，是目前國內單晶硅生產爐除塵的疑難問題。

技術實現(xiàn)要素：

為了解決上述問題，本發(fā)明人經過多次設計和研究，提出了一種用于單晶生長爐的真空除塵設備，其屬于國內首創(chuàng)，解決了單晶生長爐在生產過程中產生的單晶爐粉塵對后續(xù)真空泵等生產設備的破壞,節(jié)省了大量設備維護成本。

依據本發(fā)明的技術內容，提供一種用于單晶生長爐的真空除塵設備，其安裝在單晶爐真空管道與真空泵之間，能有效過濾拉晶過程中產生的揮發(fā)物，實現(xiàn)在線清灰，降低真空油的污染，極大的延長了真空泵的連續(xù)工作時間從而延長了單晶爐連續(xù)運行時間。

所述的用于單晶生長爐的真空除塵設備包括除塵器罐體、自動清灰裝置、除塵器過濾袋、防燃燒冷卻器、維護側開門及控制系統(tǒng)；除塵器罐體內部安裝除塵器過濾布袋和自動清灰裝置，并能夠在內部2帕負壓條件長時間正常工作；除塵器罐體罐體底部安裝進氣口，頂部安裝出氣口，通過除塵器過濾布袋過濾單晶爐排出的粉塵，除塵器過濾布袋與自動清灰裝置和連接，通過控制柜控制依次抖動除塵器過濾布袋，避免同時運行對爐壓造成影響，保證了單晶硅的正常生長。

進一步地，在用于單晶生長爐的真空除塵設備中，1、自動清灰裝置：用于清理除塵器過濾袋吸附的粉塵顆粒，電磁線圈通電時，電磁線圈產生電磁力把除塵器過濾布袋壓縮，使除塵器過濾布袋內粉塵產生振動；2、斷電時，電磁力消失，彈簧把線圈鐵芯拉回原位，振動除塵器過濾布袋抻直，使除塵器過濾布袋內粉塵產生再次振動；3、除塵器過濾袋：用于過濾單晶爐排出的粉塵，PTFE覆膜除塵器過濾布袋，過濾效率≥99.99％；4、防燃燒冷卻器：能夠收集管道內易燃性粉塵，防止易燃性粉塵進入除塵罐內，防止濾袋燃燒，防燃燒冷卻器采用迷宮式粉塵冷卻，吸附易燃燒粉塵，防止易燃燒粉塵進入除塵罐內，易燃燒粉塵過濾效率達到95％以上；5、側開門結構：用于現(xiàn)場更換除塵器過濾布袋及除塵器過濾布袋檢查清灰維護，方便維護檢修門；6、控制系統(tǒng)：用于控制除塵系統(tǒng)的正常運轉，對主機電磁線圈和自動泄壓閥進行控制。

優(yōu)選地，用于單晶生長爐的真空除塵設備中的除塵器罐體1-1為圓筒型結構，在罐體1-1的底面1-7安裝有四個方形地腳1-6，底面1-7上方是盛灰室3-1，盛灰室3-1將除塵器內所有粉塵收集到里邊；盛灰室3-1側壁設有進氣口1-2，進氣口1-2接口尺寸與單晶真空爐管路出口相配合，并用螺栓1-8連接，在盛灰室3-1的另一個側壁設部清灰口1-3，清灰口1-3一側用折頁1-9進行連接，使設備清灰更方便,清灰口1-3四周用蝶形螺母1-10把緊，清灰口1-3左側焊接1個把手1-11，方便清灰，清灰口1-3與進氣口1-2與清灰口1-3成90度夾角設計，在罐體1-1的下部與盛灰室3-1之間有一個花板3-2，花板3-2是用于安裝除塵器過濾布袋的連接口，該花板3-2將罐體1-1分割為上部過濾室3-3及下部盛灰室3-1，花板3-2上端與除塵器過濾袋3-4下端相連，在殼體的上部設有出氣口1-4、出氣口1-4位置在進氣口1-2的斜上方，使進氣與出氣更通暢，出氣口1-4尺寸與真空泵管路接口尺寸相配合，并用螺栓1-8連接，罐體1-1側面焊接J型吊耳1-15方便設備運輸和拆裝，罐體1-1上方設有法蘭1-14和上蓋1-12，法蘭1-14和上蓋1-12之間用螺栓1-13連接，上蓋1-12上面設有壓力表3-5，用于實時監(jiān)測罐體內部壓力，壓力表3-5旁邊設有自動泄壓閥3-6等保證設備運行平穩(wěn),設備整體運行由控制系統(tǒng)1-5進行控制，上蓋1-12上方有拉筋2-2和吊環(huán)螺釘2-3。

優(yōu)選地，用于單晶生長爐的真空除塵設備中的自動清灰裝置內腔設有多組電磁振動器，電磁振動器內部原理采用電磁線圈4-1結構，通過通斷線圈產生吸力原理，使線圈鐵芯4-4可以在線圈內部活動，鐵芯4-4上方是一個可以活動的彈簧4-3，鐵芯4-4底部連接一根推桿4-5，推桿4-5下方用螺栓4-6固定，電磁線圈4-1上方用端蓋4-7密封，端蓋4-7四周用螺栓4-8把緊，電磁線圈4-1采用真空環(huán)氧灌注技術，使線圈絕緣達到H級，耐壓2000V以上，使線圈在工作溫度100℃工作環(huán)境達到同樣的振動清灰效果；電磁線圈4-1沒有通電時，套在鐵芯4-4上的彈簧4-3會將鐵芯移出線圈中心位置，當電磁線圈4-1將通電時，電磁線圈產生電磁力彈簧4-3壓縮，使鐵芯歸位，這樣連接在鐵芯4-4底部的推桿就會向下移動，把底部除塵器過濾布袋3-4壓縮，斷電時，電磁力消失，彈簧4-3把線圈鐵芯拉回原位，振動除塵器過濾布袋抻直，使除塵器過濾布袋內粉塵產生振動，這樣使電磁線圈反復通電和斷電，來回運動，使電磁推桿反復動作，實現(xiàn)除塵器過濾布袋的自動清灰功能。

優(yōu)選地，用于單晶生長爐的真空除塵設備中的除塵器過濾布袋用于過濾單晶爐排出的粉塵，除塵器過濾袋5-2采用PTFE覆膜材料，PTFE即聚四氟乙烯；除塵器過濾布袋除塵器的工作機理是含塵煙氣通過過濾材料，塵粒被過濾下來，過濾材料捕集粗粒粉塵主要靠慣性碰撞作用，捕集細粒粉塵主要靠擴散和篩分作用，除塵器過濾布袋的上部設有安裝環(huán)5-1，與設備自動清灰裝置2-1相連，下端設有環(huán)顧與設備花板3-2密封，使除塵器過濾布袋內部與外部形成兩個腔體。

優(yōu)選地，用于單晶生長爐的真空除塵設備中的冷卻器外部采用水套6-1循環(huán)將腔內粉塵降溫，冷卻器整體采用圓柱形罐體結構；冷卻器罐體一端與單晶爐出塵口管道相配合，接口處用螺栓6-6連接，另一端安裝一個清灰門6-3；冷卻器罐體內部采用迷宮式濾芯6-2，迷宮式濾芯6-2外尺寸與圓柱形罐體相配合，清灰時，將清灰門打開，濾芯從清灰門6-3口取出，將濾芯吸附的易燃燒粉塵清理干凈，防止易燃燒粉塵進入除塵罐內，清灰門6-3采用O型圈進行密封，罐體底部支撐架6-4結構為2個立起的槽鋼結構，將冷卻器固定在地面上，出灰口6-5與除塵器罐體的進灰口1-3對接。

優(yōu)選地，用于單晶生長爐的真空除塵設備采用兩組側開門7-1結構，側開門7-1為圓形結構，與設備罐體1-1相貫焊接，在筒體7-3兩側對稱焊接，側面有折頁支撐架7-2，門板上有兩個把手7-4，側開門7-1四周用螺栓7-5與罐體連接。

優(yōu)選地，用于單晶生長爐的真空除塵設備中的控制系統(tǒng)包括主回路和控制回路，主回路由現(xiàn)場三相交流電源電壓經過斷路器QF1的主觸點、隔離變壓器TC1之后通過交流接觸器KM1、KM2、KM3的常開觸點連接到整流模塊VC1、VC2、VC3輸入端，整流模塊VC1、VC2、VC3輸出直流電壓給勵磁線圈YA1、YA2、YA3供電；控制回路由變壓器TC1次級輸出端經過熔斷器FU1后分成三路，經繼電器KA2的常開觸點及KA1的常開觸點并聯(lián)后接電磁開關Y1；經轉換開關SA1后分為二路，一路經按鈕SB1、按鈕SB2與繼電器KA1常開觸點并聯(lián)后連接繼電器KA1的線圈；另一路經繼電器KA1常開觸點與集控信號S1的常閉點與常開點之后接繼電器KA2線圈。最后一路通過電源指示等HL1、1#勵磁指示KM1的線圈、1#勵磁運行指示燈HL2、2#勵磁運行KM2的線圈、2#勵磁運行指示燈HL3、3#勵磁運行KM3的線圈以及3#勵磁運行指示燈HL4并聯(lián)后與PLC相連接。

現(xiàn)比較現(xiàn)有技術，本發(fā)明用于單晶生長爐的真空除塵設備具有如下優(yōu)點：

1、結構緊湊、占地面積小、安裝方便。除塵效率高，能適應不同抽氣階段真空度的要求，容塵量大。

2、由于采用多組電磁振動器，并通過控制柜控制依次抖動，避免同時運行對爐壓造成影響，保證了單晶硅的正常生長。

3、由于依靠機械抖動實現(xiàn)濾袋清塵，無需外界氣體介入，密封性能較好，能在真空負壓條件下使用。

4、電磁線圈采用真空環(huán)氧灌注技術，使線圈絕緣達到H級，耐壓2000V以上，正常線圈使用壽命8年以上。

5、除塵布袋采用PTFE覆膜材料，耐溫240度以上，覆膜不易粘灰，使用壽命2年以上。

6、泄壓閥與中控系統(tǒng)連鎖，自動泄壓，緩慢氧化，有效防止布袋燃燒。

7、防燃燒冷卻器采用迷宮式粉塵冷卻，濾芯能夠吸附易燃燒粉塵，防止易燃燒粉塵進入除塵罐內，易燃燒粉塵過濾效率達到95％以上，更有效提前預防布袋燃燒，提高布袋使用壽命。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的結構示意圖；

圖2為圖1的側視圖；

圖3為圖1的A-A剖視圖；

圖4為清灰裝置的結構示意圖；

圖5為過濾布袋的結構示意圖；

圖6為防燃燒冷卻器的結構示意圖；

圖7為維護側開門的結構示意圖；

圖8為除塵器控制系統(tǒng)圖；

圖9為除塵器控制柜結構圖。

具體實施方式

下面將結合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明的一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發(fā)明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。另外地，不應當將本發(fā)明的保護范圍僅僅限制至下述具體結構或部件或具體參數。

本發(fā)明專利的目的是提供一種結構簡單、設計合理的單晶生長爐除塵設備，安裝在單晶爐真空管道與真空泵之間，能有效過濾拉晶過程中產生的揮發(fā)物，實現(xiàn)在線清灰，降低真空油的污染，極大的延長了真空泵的連續(xù)工作時間從而延長了單晶爐連續(xù)運行時間，由此降低頻繁更換真空泵油、干泵齒輪等導致的設備、時間、人工成本。本發(fā)明采用的技術方案為：除塵器主要包括除塵器罐體、自動清灰裝置、除塵器過濾袋、防燃燒冷卻器、維護側開門、控制系統(tǒng)六部分組成。除塵器罐體內部安裝除塵器過濾布袋、自動清灰裝置等部件，并能在內部2Pa長時間負壓條件正常工作；罐體底部安裝進氣口，頂部安裝出氣口，通過除塵器過濾布袋過濾單晶爐排出的粉塵，除塵器過濾布袋與自動清灰裝置和連接，通過控制柜控制依次抖動，避免同時運行對爐壓造成影響，保證了單晶硅的正常生長，控制系統(tǒng)用于控制除塵系統(tǒng)的正常運轉。

本發(fā)明結構簡單、設計合理，能夠有效清除單晶硅氣體中SiO₂、AL₂O₃、單質P、MgO、Fe₂O₃等粉塵，從而提高單晶硅純度，減少油封油消耗，使真空系統(tǒng)不受粉塵和固體顆粒污染和損壞，從而降低了生產成本。

本發(fā)明的用于單晶生長爐的真空除塵設備，包括能承受真空負壓的罐體，在罐體的下部設有盛灰室，盛灰室側壁設有進氣口，在進氣口下部設部清灰口，在罐體內部的進氣口上方裝有花板，該花板將罐體分割為上部過濾室及下部盛灰室，該花板上端與過濾布袋下端相連，布袋上端與間歇式清灰裝置相連，在殼體的上部設有出氣口、壓力表、自動泄壓閥等保證設備運行平穩(wěn)；其特點是：多組電磁振動器，并通過控制柜控制依次抖動，避免同時運行對爐壓造成影響，保證了單晶硅的正常生長。PTFE覆膜除塵布袋能夠保證通氣量的同時，很好的過濾單晶粉塵，過濾效率≥99.99％；防燃燒冷卻器將單晶粉塵進行初級過濾，能夠將易燃燒粉塵過濾效率達到95％以上，方便維護檢修門，能夠節(jié)省現(xiàn)場的維護成本。應。本發(fā)明能夠有效清除單晶硅氣體中磷、硫、炭、坤等雜質，從而提高單晶硅純度，減少油封油消耗，使真空系統(tǒng)不受粉塵和固體顆粒污染和損壞。

具體地，一種用于單晶生長爐的真空除塵設備主要包括除塵器罐體、自動清灰裝置、除塵器過濾袋、防燃燒冷卻器、維護側開門、控制系統(tǒng)六部分組成。除塵器罐體內部安裝除塵器過濾布袋、自動清灰裝置等部件，并能在內部2Pa長時間負壓條件正常工作；罐體底部安裝進氣口，頂部安裝出氣口，通過除塵器過濾布袋過濾單晶爐排出的粉塵，除塵器過濾布袋與自動清灰裝置和連接，通過控制柜控制依次抖動，避免同時運行對爐壓造成影響，保證了單晶硅的正常生長，控制系統(tǒng)用于控制除塵系統(tǒng)的正常運轉。

進一步地，用于單晶生長爐的真空除塵設備包括：

1)除塵器罐體：能夠用于安裝除塵器過濾布袋、自動清灰裝置等部件，并能在內部2Pa長時間負壓條件正常工作；

2)自動清灰裝置：用于清理過濾布袋吸附的粉塵顆粒，電磁線圈通電時，電磁線圈產生電磁力把除塵布袋壓縮，使布袋內粉塵產生振動；斷電時，電磁力消失，彈簧把線圈鐵芯拉回原位，振動布袋抻直，使布袋內粉塵產生再次振動。特點：在真空、負壓、零壓時能正常工作。

3)過濾布袋：用于過濾單晶爐排出的粉塵，PTFE覆膜除塵布袋能夠保證通氣量的同時，很好的過濾單晶粉塵，過濾效率≥99.99％。

4)防燃燒冷卻器：能夠收集管道內易燃性粉塵，防止易燃性粉塵進入除塵罐內，防止濾袋燃燒，防燃燒冷卻器采用迷宮式粉塵冷卻，吸附易燃燒粉塵，防止易燃燒粉塵進入除塵罐內，易燃燒粉塵過濾效率達到95％以上，更有效提前預防布袋燃燒，提高布袋使用壽命。

5)側開門結構：用于現(xiàn)場更換布袋及布袋檢查清灰維護，方便維護檢修門，能夠節(jié)省現(xiàn)場的維護成本。

6)控制系統(tǒng)：用于控制除塵系統(tǒng)的正常運轉，對主機電磁線圈和自動泄壓閥進行控制。

本發(fā)明的用于單晶生長爐的真空除塵設備結構緊湊、占地面積小、安裝方便。除塵效率高，能適應不同抽氣階段真空度的要求，容塵量大；采用多組電磁振動器，并通過控制柜控制依次抖動，避免同時運行對爐壓造成影響，保證了單晶硅的正常生長；由于依靠機械抖動實現(xiàn)濾袋清塵，無需外界氣體介入，密封性能較好，能在真空負壓條件下使用；電磁線圈采用真空環(huán)氧灌注技術，使線圈絕緣達到H級，耐壓2000V以上，正常線圈使用壽命8年以上；除塵布袋采用PTFE覆膜材料，耐溫240度以上，覆膜不易粘灰，使用壽命2年以上；泄壓閥與中控系統(tǒng)連鎖，自動泄壓，緩慢氧化，有效防止布袋燃燒；防燃燒冷卻器采用迷宮式粉塵冷卻，濾芯能夠吸附易燃燒粉塵，防止易燃燒粉塵進入除塵罐內，易燃燒粉塵過濾效率達到95％以上，更有效提前預防布袋燃燒，提高布袋使用壽命。

現(xiàn)依據附圖，對本發(fā)明的用于單晶生長爐的真空除塵設備進一步闡述說明。

如圖1至圖8所示，本發(fā)明除塵器結構：包括除塵器罐體、自動清灰裝置、除塵器過濾袋、防燃燒冷卻器、維護側開門、控制系統(tǒng)六部分組成。

參見圖1、圖2、圖3所示，除塵器罐體罐體能夠用于安裝除塵器過濾布袋、自動清灰裝置等部件，并能在內部2Pa長時間負壓條件正常工作，罐體1-1為圓筒型結構，在罐體1-1的底面1-7安裝有四個方形地腳1-6，底面1-7上方是盛灰室3-1，盛灰室3-1將除塵器內所有粉塵收集到里邊，等到單晶停爐后一同清理，盛灰室3-1側壁設有進氣口1-2，進氣口1-2接口尺寸與單晶真空爐管路出口相配合，并用螺栓1-8連接，在盛灰室3-1的另一個側壁設部清灰口1-3，清灰口1-3一側用折頁1-9進行連接，使設備清灰更方便,清灰口1-3四周用蝶形螺母1-10把緊，清灰口1-3左側焊接1個把手1-11，方便清灰，清灰口1-3與進氣口1-2與清灰口1-3成90度夾角設計，在罐體1-1的下部與盛灰室3-1之間有一個花板3-2，花板3-2是用于安裝除塵布袋的連接口，該花板3-2將罐體1-1分割為上部過濾室3-3及下部盛灰室3-1，花板3-2上端與過濾布袋3-4下端相連，在殼體的上部設有出氣口1-4、出氣口1-4位置在進氣口1-2的斜上方，使進氣與出氣更通暢，出氣口1-4尺寸與真空泵管路接口尺寸相配合，并用螺栓1-8連接，罐體1-1側面焊接J型吊耳1-15方便設備運輸和拆裝，罐體1-1上方設有法蘭1-14和上蓋1-12，法蘭1-14和上蓋1-12之間用螺栓1-13連接，上蓋1-12上面設有壓力表3-5，用于實時監(jiān)測罐體內部壓力，壓力表3-5旁邊設有自動泄壓閥3-6等保證設備運行平穩(wěn),設備整體運行由控制系統(tǒng)1-5進行控制，上蓋1-12上方有拉筋2-2和吊環(huán)螺釘2-3，用于設備維護時吊裝自動清灰裝置的維護。

如圖4所示，自動清灰裝置用于清理過濾布袋吸附的粉塵顆粒，自動清灰裝置內腔設有多組電磁振動器，電磁振動器內部原理采用電磁線圈4-1結構，通過通斷線圈產生吸力原理，使線圈鐵芯4-4可以在線圈內部活動，鐵芯4-4上方是一個可以活動的彈簧4-3，鐵芯4-4底部連接一根推桿4-5，推桿4-5下方用螺栓4-6固定，電磁線圈4-1上方用端蓋4-7密封，端蓋4-7四周用螺栓4-8把緊，電磁線圈4-1采用真空環(huán)氧灌注技術，使線圈絕緣達到H級，耐壓2000V以上，使線圈在工作溫度100℃工作環(huán)境達到同樣的振動清灰效果；電磁線圈4-1沒有通電時，套在鐵芯4-4上的彈簧4-3會將鐵芯移出線圈中心位置，當電磁線圈4-1將通電時，電磁線圈產生電磁力彈簧4-3壓縮，使鐵芯歸位，這樣連接在鐵芯4-4底部的推桿就會向下移動，把底部除塵布袋3-4壓縮，斷電時，電磁力消失，彈簧4-3把線圈鐵芯拉回原位，振動布袋抻直，使布袋內粉塵產生振動，這樣使電磁線圈反復通電和斷電，來回運動，使電磁推桿反復動作，實現(xiàn)布袋的自動清灰功能。自動清灰裝置的特點是：無需人工，設備在真空、負壓、零壓時能正常工作。

如圖5所示，除塵器過濾布袋用于過濾單晶爐排出的粉塵，過濾布袋5-2采用PTFE覆膜材料，PTFE即聚四氟乙烯，又稱Teflon特氟龍，是袋式過濾材料里最高端的品種之一。聚四氟乙烯合成纖維濾袋是一種獨特的材料制成的濾袋，在240℃的連續(xù)運行溫度，瞬間260℃的溫度條件下，能耐全部PH值范圍內的酸堿侵蝕。聚四氟乙烯合成纖維濾袋自潤性極佳、不吸潮、能承受紫外線輻射。濾袋5-2上覆膜相應的材料，可以起到耐高溫、防爆、防火、防水、防油等多種目的，覆膜不易粘灰；需經過耐溫，防靜電等強化處理措施，以確保其的耐溫，耐拉伸振動性能；布袋除塵器的工作機理是含塵煙氣通過過濾材料，塵粒被過濾下來，過濾材料捕集粗粒粉塵主要靠慣性碰撞作用，捕集細粒粉塵主要靠擴散和篩分作用，布袋的上部設有安裝環(huán)5-1，與設備自動清灰裝置2-1相連，下端設有環(huán)顧與設備花板3-2密封，使布袋內部與外部形成兩個腔體。

如圖6所示，防燃燒冷卻器能夠收集管道內易燃性粉塵，防止易燃性粉塵進入除塵罐內，防止濾袋燃燒，冷卻器外部采用水套6-1循環(huán)將腔內粉塵降溫，冷卻器整體采用圓柱形罐體結構，這樣易于粉塵在罐體內流通，罐體一端與單晶爐出塵口管道相配合，接口處用螺栓6-6連接，另一端安裝一個清灰門6-3，內部采用迷宮式濾芯6-2，迷宮式濾芯6-2外尺寸與圓柱形罐體相配合，清灰時，將清灰門打開，濾芯從清灰門6-3口取出，將濾芯吸附的易燃燒粉塵清理干凈，防止易燃燒粉塵進入除塵罐內，清灰門6-3采用O型圈進行密封，罐體底部支撐架6-4結構為2個立起的槽鋼結構，將冷卻器固定在地面上，出灰口6-5與除塵器罐體的進灰口1-3對接，將易燃燒粉塵過濾效率達到95％以上。

如圖7所示，維護側開門的結構示意圖用于現(xiàn)場更換布袋及布袋檢查清灰維護，采用兩組側開門7-1結構，側開門7-1為圓形結構，與設備罐體1-1相貫焊接，在筒體7-3兩側對稱焊接，側面有折頁支撐架7-2，門板上有兩個把手7-4，側開門7-1四周用螺栓7-5與罐體連接，當現(xiàn)場需要進行布袋維護時，能夠使罐體兩側的布袋更容易拆卸，將側開門7-1打開，只需1個維護工人現(xiàn)場就地更換除塵布袋進行維護，節(jié)省設備時間及人員60％以上。

如圖8所示，除塵器的控制系統(tǒng)用于控制除塵系統(tǒng)的正常運轉，包括主回路和控制回路，其特征是：主回路由現(xiàn)場三相交流電源電壓經過斷路器QF1的主觸點、隔離變壓器TC1之后通過交流接觸器KM1、KM2、KM3的常開觸點連接到整流模塊VC1、VC2、VC3輸入端，整流模塊VC1、VC2、VC3輸出直流電壓給勵磁線圈YA1、YA2、YA3供電；控制回路由變壓器TC1次級輸出端經過熔斷器FU1后分成三路，經繼電器KA2的常開觸點及KA1的常開觸點并聯(lián)后接電磁開關Y1；經轉換開關SA1后分為二路，一路經按鈕SB1、按鈕SB2與繼電器KA1常開觸點并聯(lián)后連接繼電器KA1的線圈；另一路經繼電器KA1常開觸點與集控信號S1的常閉點與常開點之后接繼電器KA2線圈。最后一路通過電源指示等HL1、1#勵磁指示KM1的線圈、1#勵磁運行指示燈HL2、2#勵磁運行KM2的線圈、2#勵磁運行指示燈HL3、3#勵磁運行KM3的線圈以及3#勵磁運行指示燈HL4并聯(lián)后與PLC相連接。

如圖9所示，控制柜操作流程如下：第一步：控制柜面板9-1上的電源指示燈9-2亮，同時1#勵磁9-3開始運行，也就是第一組電磁線圈開始工作，線圈鐵芯抖動，使第一組除塵布袋產生振動清灰，1#吸鐵指示燈9-4亮，連續(xù)運行5次后，1#勵磁9-3吸鐵指示燈9-4滅，第二步：過一定時間2#勵磁9-5開始運行，也就是第二組電磁線圈開始工作，線圈鐵芯抖動，使第二組除塵布袋產生振動清灰，2#吸鐵指示燈9-6亮，連續(xù)運行5次后，2#勵磁吸鐵指示燈9-6滅；第三步：過一定時間3#勵磁9-7開始運行，也就是第三組電磁線圈開始工作，線圈鐵芯抖動，使第三組除塵布袋產生振動清灰，3#吸鐵指示燈9-8亮，連續(xù)運行5次后，3#勵磁吸鐵指示燈9-8滅.在過一定時間后，循環(huán)上述工作過程。第三步：當除塵器停止工作后，自動泄壓閥開關9-9與中控系統(tǒng)連鎖，自動泄壓使除塵器內粉塵緩慢氧化，有效防止布袋燃燒。

上述所有零件均采用耐腐蝕、耐高溫、強力高的材質制成，整體設備使用壽命長。

與普通除塵器對比，首先普通除塵器振動頻次及清灰方式容易引起除塵布袋堵塞，引起整個單晶生長爐真空系統(tǒng)節(jié)流閥開大，降低拉晶質量，其次普通除塵器針對單晶粉塵沒有防燃燒功能，容易引起除塵器內部燃燒，降低布袋使用壽命。

以上，僅為本發(fā)明較佳的具體實施方式，但本發(fā)明的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本發(fā)明揭露的技術范圍內，可輕易想到的變化或替換，都應涵蓋在本發(fā)明的保護范圍之內。本領域普通的技術人員可以理解，在不背離所附權利要求定義的本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可以在形式和細節(jié)中做出各種各樣的修改。