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      基于增強(qiáng)型二次流的慣性聚焦芯片的制作方法

      文檔序號:11241244閱讀:1361來源:國知局
      基于增強(qiáng)型二次流的慣性聚焦芯片的制造方法與工藝

      本發(fā)明屬于微流控技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及的是一種慣性聚焦微流控芯片。



      背景技術(shù):

      文獻(xiàn)“threedimensional,sheathless,andhigh‐throughputmicroparticleinertialfocusingthroughgeometry‐inducedsecondaryflows[j].small,2013,9(5):685-690.”公開了一種基于幾何結(jié)構(gòu)引起二次流的慣性聚焦芯片。該芯片采用了一種帶有單側(cè)臺階的微通道結(jié)構(gòu),通道截面在臺階邊緣發(fā)生突變,通道內(nèi)的流體會在突變處發(fā)生彎曲,形成彎曲流,從而產(chǎn)生了幾何結(jié)構(gòu)引起的二次流。同時,由于慣性效應(yīng),微通道中的微粒受到流體流動的影響,在經(jīng)過一定長度的運(yùn)動之后,會逐漸遷移到某幾個固定位置處。通過幾何結(jié)構(gòu)引起二次流的引導(dǎo)作用和流體的慣性效應(yīng),微粒會逐漸運(yùn)動到單一的穩(wěn)定位置,實(shí)現(xiàn)良好的聚焦效果和聚焦效率。文獻(xiàn)中公開的基于單一二次流的慣性聚焦方法,其二次流強(qiáng)度通常較弱,引導(dǎo)作用不明顯?;谠摲椒ㄋO(shè)計(jì)的微通道結(jié)構(gòu),其截面尺寸較小(84μm×41.5μm),通道長度較長(50mm),微粒的懸浮液在微通道中流動時會受到很高的流動阻力,因此在驅(qū)動液體時需要較高的驅(qū)動壓力;同時,較小的截面尺寸和較長通道長度也會增加微粒堵塞微通道的概率,實(shí)驗(yàn)成功率較低。



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      為解決現(xiàn)有慣性聚焦方法中存在的單一二次流引導(dǎo)效率低的問題,本發(fā)明提供了一種能夠增加二次流強(qiáng)度的慣性聚焦方法。該方法同時利用兩種已知的二次流:彎曲通道產(chǎn)生的迪恩流和突變通道產(chǎn)生的幾何結(jié)構(gòu)引起的二次流,并使這兩種二次流相互疊加,從而增加二次流的強(qiáng)度,提高其引導(dǎo)效率,可以保證在二次流強(qiáng)度增加的同時擴(kuò)大微通道的截面積和縮小微通道的長度,從而降低了流體的驅(qū)動壓力和微通道堵塞的概率,進(jìn)一步提高慣性聚焦的效率。

      本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:

      一種基于增強(qiáng)型二次流的慣性聚焦芯片,由兩個芯片層鍵合而成,其中之一的芯片層鍵合面上有微通道,微通道兩端分別連接入口和出口;其特征在于,所述微通道為一帶曲率通道,其形狀不限,可為弧形、蛇形等任意形狀,所述曲率通道產(chǎn)生第一二次流(迪恩流);通道壁面上分布有若干個凸臺結(jié)構(gòu),其形狀不限,可為圓柱形、立方體形等任意形狀,使得所述通道為變截面通道,產(chǎn)生第二二次流(幾何結(jié)構(gòu)引起的二次流);所述凸臺結(jié)構(gòu)位于通道壁曲面為凸的一側(cè),使得第一二次流與第二二次流同向;所述微流控聚焦芯片材料為聚二甲基硅氧烷(pdms)、聚甲基丙烯酸甲酯(pmma)、聚碳酸酯(pc)或玻璃等其中的一種或多種;所述微流控芯片可用于微?;蚣?xì)胞的分選、分離、計(jì)數(shù)、檢測等方面,同樣適用于流體混合、樣品預(yù)處理等場合。

      所述凸臺結(jié)構(gòu)其徑向尺寸越大,則微通道截面變化率越大,第二二次流的強(qiáng)度就越大;所述微通道結(jié)構(gòu)可以將第一二次流和第二二次流的效果疊加,增加二次流的強(qiáng)度。

      本發(fā)明的有益效果:通過同時采用兩種二次流的慣性聚焦芯片,具體如下:

      一、選取可以產(chǎn)生第一二次流(迪恩流)的微通道結(jié)構(gòu)作為主通道。流體在簡單彎曲通道內(nèi)流動時,由于受到離心力的作用,導(dǎo)致中心區(qū)域流速較快的流體向離心力的方向運(yùn)動,根據(jù)質(zhì)量守恒定律,四周流速較慢的流體就會沿著通道上下表面向相反的方向回流,從而在通道橫截面方向上形成兩個上下對稱的旋轉(zhuǎn)方向相反的迪恩流。迪恩流通常在具有曲率的微通道中產(chǎn)生,微通道類型包括:任意彎曲形微通道、環(huán)形微通道、蛇形微通道等。

      二、選取可以產(chǎn)生第二二次流(幾何結(jié)構(gòu)引起的二次流)的微通道結(jié)構(gòu)作為輔助結(jié)構(gòu)。在突變通道中,在凸臺等障礙結(jié)構(gòu)的影響下,在通道內(nèi)突變的位置處會形成小型的彎曲流,由于該彎曲流的作用,該截面處同樣會形成和上述相同的幾何結(jié)構(gòu)引起的二次流。幾何結(jié)構(gòu)引起的二次流通常在具有突變結(jié)構(gòu)的微通道中產(chǎn)生,微通道類型包括:具有任意形狀凸臺結(jié)構(gòu)的微通道和具有任意形狀微柱結(jié)構(gòu)的微通道等。

      三、將上述兩種能產(chǎn)生不同二次流的微通道結(jié)構(gòu)按照合適的方式組合在一起,輔助結(jié)構(gòu)位于主通道壁曲面為凸的一側(cè),在保證其能同時產(chǎn)生兩種二次流的條件下,使二次流的流動方向相同,產(chǎn)生相互疊加的效果,得到增強(qiáng)型的二次流,提高慣性聚焦的效率。

      由于同時采用了兩種不同類型的復(fù)合式微通道結(jié)構(gòu),流體在流動時會產(chǎn)生兩種二次流,同時保證了兩種二次流的方向相同,使其相互疊加,提高了二次流的強(qiáng)度,增強(qiáng)了二次流的引導(dǎo)作用。與此同時,可以適當(dāng)增加微通道的截面尺寸和縮短微通道的長度,保證慣性聚焦實(shí)驗(yàn)的成功率。

      附圖說明

      圖1是一種圓環(huán)形微通道的結(jié)構(gòu)示意圖。

      圖2是圓環(huán)形微通道截面內(nèi)產(chǎn)生的二次流矢量分布圖。

      圖3是具有單側(cè)凸臺的微通道結(jié)構(gòu)示意圖。

      圖4是微通道截面內(nèi)產(chǎn)生的二次流矢量分布圖。

      圖5是本發(fā)明方法的一種微通道結(jié)構(gòu)示意圖。

      圖6是本發(fā)明方法中微通道截面內(nèi)產(chǎn)生的二次流矢量分布圖。

      圖7是實(shí)施例1中的聚焦芯片微通道結(jié)構(gòu)圖。

      圖8是實(shí)施例1中熒光微球聚焦的條紋圖。

      圖9是實(shí)施例1中熒光條紋的亮度分布圖,縱軸表示熒光強(qiáng)度,橫軸表示微通道寬度。

      圖10是實(shí)施例2中的聚焦芯片微通道結(jié)構(gòu)圖。

      其中:1-入口,2-圓環(huán)形微通道,3-凸臺結(jié)構(gòu),4-微通道截面,5-出口,6-微通道壁,7-熒光微球的聚焦條紋。

      具體實(shí)施方式

      下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作詳細(xì)說明。

      實(shí)施例1:

      本實(shí)施例中基于增強(qiáng)型二次流的慣性聚焦芯片,由兩個芯片層鍵合而成,參照圖5,其中之一的芯片層鍵合面上有微通道,微通道兩端分別連接入口1和出口5,所述主通道為圓環(huán)形微通道2,它產(chǎn)生第一二次流(迪恩流);通道壁面上分布有若干個凸臺結(jié)構(gòu),其形狀為方形,使得所述通道為變截面通道,產(chǎn)生第二二次流(幾何結(jié)構(gòu)引起的二次流);所述凸臺結(jié)構(gòu)位于通道壁曲面為凸的一側(cè),使得第一二次流與第二二次流同向;所述微流控聚焦芯片材料為聚二甲基硅氧烷(pdms)、聚甲基丙烯酸甲酯(pmma)、聚碳酸酯(pc)或玻璃等其中的一種或多種;所述微流控芯片可用于微?;蚣?xì)胞的分選、分離、計(jì)數(shù)、檢測等方面,同樣適用于流體混合、樣品預(yù)處理等場合。

      為了考察本實(shí)施例中基于增強(qiáng)型二次流的慣性聚焦芯片的效果,參照圖1和2,當(dāng)慣性聚焦芯片僅有圓環(huán)形微通道2,利用仿真軟件對該微通道內(nèi)的流體流動進(jìn)行仿真計(jì)算,得到微通道截面4處的二次流流動矢量圖,其中心方向向左,流速為0.02m/s。

      參照圖3和4,當(dāng)僅在通道壁面上分布有若干個方形凸臺結(jié)構(gòu)使得所述通道為變截面通道時,在相同仿真條件下,橫截面4內(nèi)的二次流流動方向向左,流速為0.26m/s。

      參照圖5和6,當(dāng)同時具備本實(shí)施例中的圓環(huán)形微通道2及若干個方形凸臺結(jié)構(gòu)形成的變截面通道時,在相同仿真條件下,橫截面4內(nèi)的二次流流動方向向左,流速為0.31m/s。

      按照上述仿真結(jié)果和聚焦芯片的結(jié)構(gòu)示意圖,設(shè)計(jì)最終的微流控聚焦芯片,參照圖7,在圓環(huán)形微通道的內(nèi)側(cè)等間距的分布有15個凸臺結(jié)構(gòu),凸臺長度(弧長)為210μm,對應(yīng)圓心角為4°,凸臺的寬度為150μm,高度為50μm,相鄰兩個凸臺之間的距離(弧長)為610μm,對應(yīng)圓心角為12°。

      所述微流控芯片使用聚二甲基硅氧烷(pdms)軟光刻工藝制作,一種優(yōu)選的具體制備方法為:

      (1)光刻。使用su-8厚膠光刻工藝在單拋硅片上制作su-8模具。

      (2)表面處理。使用100μl六甲基二硅雜氮烷試劑(hmds)在真空干燥箱中對su-8模具進(jìn)行表面處理,在常溫下保持1小時。

      (3)澆鑄和固化。將單體和固化劑配比為10:1的pdms混勻,利用真空箱抽真空去除混合液中的氣泡,之后將pdms澆鑄于su-8模具上,并置于60℃恒溫箱中烘烤5小時,使其固化。

      (4)脫模和打孔。將固化后的pdms脫模,并使用外徑為0.7mm打孔器在入口和出口處打孔作為管路接口。

      (5)鍵合。使用電暈放電儀處理pdms,并與玻璃載玻片貼合,然后置于100℃恒溫箱中烘烤1小時,完成鍵合,得到完整的微流控芯片。

      參照圖8和9,使用熒光微球?qū)υ撔酒M(jìn)行聚焦實(shí)驗(yàn),驗(yàn)證其聚焦效果。選用10.7μm的熒光微球,使用去離子水(diwater)配制微球濃度為105個/ml的懸浮液。使用恒壓泵驅(qū)動混合液,驅(qū)動壓力為60kpa,此時混合液的流量約為220μl/min,雷諾數(shù)為29.3。使用倒置式熒光顯微鏡觀察實(shí)驗(yàn)結(jié)果,得到微球的熒光條紋圖,可以看出,出口處微球完全聚焦成一條直線,芯片實(shí)現(xiàn)了良好的聚焦性能。利用處理軟件對所得的熒光條紋圖進(jìn)行處理,可以得到熒光強(qiáng)度分布圖。通過計(jì)算熒光強(qiáng)度曲線,可以得到其半最大值全寬度(fwhm),即熒光微球的聚焦寬度,以及熒光條紋的位置,即微球的聚焦位置。在上述實(shí)驗(yàn)條件下,計(jì)算所得的微球聚焦寬度為11.3μm,聚焦位置位于通道內(nèi)壁66μm處,相比于微球的直徑,該聚焦寬度已經(jīng)足夠窄小。

      由于使用了復(fù)合式微通道結(jié)構(gòu),二次流的強(qiáng)度增加了20%,其引導(dǎo)作用明顯加強(qiáng),通道的截面尺寸(200μm×50μm)擴(kuò)大了2.8倍,長度縮短到一半,有效地降低了微通道堵塞的概率,提高了芯片的聚焦效果。

      實(shí)施例2:

      本實(shí)施例中基于增強(qiáng)型二次流的慣性聚焦芯片,由兩個芯片層鍵合而成,參照圖10,其中之一的芯片層鍵合面上有微通道,微通道兩端分別連接入口1和出口5,所述主通道為彎曲形微通道,它產(chǎn)生第一二次流(迪恩流);通道壁面上分布有若干個凸臺結(jié)構(gòu),其形狀為圓柱形,使得所述通道為變截面通道,產(chǎn)生第二二次流(幾何結(jié)構(gòu)引起的二次流);所述凸臺結(jié)構(gòu)位于通道壁曲面為凸的一側(cè),使得第一二次流與第二二次流同向;所述微流控聚焦芯片材料為聚二甲基硅氧烷(pdms)、聚甲基丙烯酸甲酯(pmma)、聚碳酸酯(pc)或玻璃等其中的一種或多種;所述微流控芯片可用于微?;蚣?xì)胞的分選、分離、計(jì)數(shù)、檢測等方面,同樣適用于流體混合、樣品預(yù)處理等場合。

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