一種標(biāo)準(zhǔn)混合氣體配氣裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種標(biāo)準(zhǔn)混合氣體配氣裝置，尤其是涉及一種雙路真空抽氣系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)混合氣體配氣裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]氣體成分分析廣泛存在與工業(yè)和大氣環(huán)境監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域。為保證測(cè)量結(jié)果的可靠性，通常需要濃度已知的標(biāo)準(zhǔn)混合氣體對(duì)分析儀器的示值進(jìn)行校準(zhǔn)。標(biāo)準(zhǔn)混合氣體的配制主要有動(dòng)態(tài)發(fā)生法和稱(chēng)量法兩種。稱(chēng)量法制備標(biāo)準(zhǔn)混合氣體的一般做法是通過(guò)一個(gè)配氣裝置將確定質(zhì)量的不同種類(lèi)的原料氣體充入到氣瓶中，不同種類(lèi)的氣體在氣瓶?jī)?nèi)混合，得到目標(biāo)濃度的標(biāo)準(zhǔn)混合氣體。配氣裝置是該方法制備標(biāo)準(zhǔn)混合氣體所使用的核心裝置之一。
[0003]現(xiàn)有的配氣裝置只使用單路真空抽氣系統(tǒng)，一般配備一臺(tái)真空泵，如果使用真空機(jī)械泵，極限真空度僅能達(dá)到I X KT1到I XlO _2Pa (絕對(duì)真空度)，如想達(dá)到更高的極限真空度，則需要在真空抽氣系統(tǒng)中配備分子渦輪真空泵。分子渦輪真空泵的極限真空可達(dá)IX KT6Pa(絕對(duì)真空度)，可以大大提高配氣裝置管道內(nèi)的清潔度，提高配制標(biāo)準(zhǔn)混合氣的準(zhǔn)確度。
[0004]但是，分子渦輪泵一旦達(dá)到高真空狀態(tài)時(shí)，其內(nèi)部的旋轉(zhuǎn)葉片會(huì)達(dá)到很高的轉(zhuǎn)速，此時(shí)如果打開(kāi)真空抽氣口截止閥，讓配氣裝置管道內(nèi)的常壓氣體進(jìn)入分子渦輪泵內(nèi)，會(huì)因?yàn)闅鈮簺_擊過(guò)大，而使分子渦輪泵的旋轉(zhuǎn)葉片受到影響，造成分子渦輪泵故障，甚至有打碎旋轉(zhuǎn)葉片、毀壞分子渦輪泵的風(fēng)險(xiǎn)。分子渦輪泵一般價(jià)格昂貴，如果損毀將是巨大的經(jīng)濟(jì)損失。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種保證其在正常工作狀態(tài)下，分子渦輪泵內(nèi)的旋轉(zhuǎn)葉片避免常壓氣體的壓力沖擊的標(biāo)準(zhǔn)混合氣體配氣裝置。
[0006]本發(fā)明解決上述技術(shù)問(wèn)題的技術(shù)方案如下:一種標(biāo)準(zhǔn)混合氣體配氣裝置，包括殼體、高真空抽氣組件、輔助真空抽氣組件、原料氣氣瓶及標(biāo)準(zhǔn)混合氣產(chǎn)品氣瓶；
[0007]所述高真空抽氣組件及所述輔助真空抽氣組件均安裝在所述殼體內(nèi)，且所述高真空抽氣組件通過(guò)第一管道與所述輔助真空抽氣組件相連接，所述第一管道的頂端處設(shè)有廢氣排放口，所述廢氣排放口位于所述殼體的頂部；
[0008]所述原料氣氣瓶及標(biāo)準(zhǔn)混合氣產(chǎn)品氣瓶設(shè)置在所述殼體的外部，所述原料氣氣瓶通過(guò)第二管道與所述標(biāo)準(zhǔn)混合氣產(chǎn)品氣瓶相連通，所述第二管道部分位于所述殼體內(nèi)，且與所述第一管道交叉連通。
[0009]本發(fā)明的有益效果是:
[0010]本發(fā)明增加了一路輔助真空抽氣組件，與高真空抽氣組件共同組成了雙路真空抽氣系統(tǒng)，解決了在單真空抽氣系統(tǒng)中使用分子渦輪泵時(shí)，配氣裝置管道內(nèi)的常壓氣體沖擊分子渦輪泵旋轉(zhuǎn)葉片的問(wèn)題，提高了分子渦輪泵的安全使用性，降低了分子渦輪泵出故障的幾率，增強(qiáng)了標(biāo)準(zhǔn)混合氣體配氣裝置安全運(yùn)行的可靠性，減少經(jīng)濟(jì)損失。
[0011]在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本發(fā)明還可以做如下改進(jìn)。
[0012]進(jìn)一步，所述高真空抽氣組件包括分子渦輪泵、高真空抽氣口截止閥及第一真空度表，所述分子渦輪泵靠近所述殼體的底部，且與所述第一管道的底端相連接，所述高真空抽氣口截止閥安裝在所述第一管道上，且靠近所述分子渦輪泵，所述第一真空度表與所述第一管道相連接，且位于所述分子渦輪泵及所述高真空抽氣口截止閥之間。
[0013]進(jìn)一步，所述輔助真空抽氣組件包括膜片真空泵、輔助真空抽氣口截止閥及第二真空度表，所述膜片真空泵通過(guò)第三管道與所述第一管道相連接，所述輔助真空抽氣口截止閥安裝在所述第三管道上，所述第二真空度表與所述第三管道相連接，且位于所述膜片真空泵及所述輔助真空抽氣口截止閥之間。
[0014]采用上述進(jìn)一步方案的有益效果是，在輔助真空抽氣組件中不需要使用價(jià)格昂貴的分子渦輪泵，只需要使用價(jià)格相對(duì)便宜的膜片真空泵，極限真空度達(dá)到200Pa (絕對(duì)真空度)即可。除了膜片真空泵，該組件中還有真空度表和抽氣口截止閥。提高了分子渦輪泵的安全使用性，降低了分子渦輪泵出故障的幾率，增強(qiáng)了標(biāo)準(zhǔn)混合氣體配氣裝置安全運(yùn)行的可靠性，減少經(jīng)濟(jì)損失。
[0015]進(jìn)一步，所述第二管道上設(shè)有原料氣入口截止閥，所述原料氣入口截止閥位于所述殼體內(nèi)，且靠近所述原料氣氣瓶。
[0016]進(jìn)一步，所述第二管道上設(shè)有原料氣出口截止閥，所述原料氣出口截止閥位于所述殼體內(nèi)，且靠近所述標(biāo)準(zhǔn)混合氣產(chǎn)品氣瓶。
[0017]進(jìn)一步，所述標(biāo)準(zhǔn)混合氣體配氣裝置還包括氣體高壓表，所述氣體高壓表位于所述殼體內(nèi)，與所述第二管道相連接，且靠近所述原料氣出口截止閥。
[0018]進(jìn)一步，所述第一管道上設(shè)有廢氣排放口截止閥，所述廢氣排放口截止閥位于所述殼體內(nèi)，且靠近所述廢氣排放口。
[0019]本發(fā)明標(biāo)準(zhǔn)混合氣體配氣裝置的工作原理如下:
[0020]工作時(shí)，為了保護(hù)高真空抽氣組件中的分子渦輪泵，在打開(kāi)高真空抽氣口截止閥之前，先啟動(dòng)輔助真空抽氣組件內(nèi)的膜片真空泵，使其達(dá)到極限真空狀態(tài)，然后開(kāi)啟輔助真空抽氣口截止閥，將第一管道及第二管道抽真空，去除常壓氣體，使管道內(nèi)的氣體壓力低于大氣壓。然后關(guān)閉輔助真空抽氣口截止閥，打開(kāi)高真空抽氣口截止閥，讓分子渦輪泵抽除管道內(nèi)殘余的氣體。此時(shí)管道內(nèi)殘余氣體的壓力遠(yuǎn)低于大氣壓，形成的氣壓沖擊很小，不會(huì)對(duì)分子渦輪泵的葉片造成損壞，從而保護(hù)了分子渦輪泵。確保配氣裝置的長(zhǎng)期安全運(yùn)行。
【附圖說(shuō)明】
[0021]圖1為本發(fā)明標(biāo)準(zhǔn)混合氣體配氣裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]附圖中，各標(biāo)號(hào)所代表的部件列表如下:
[0023]1、殼體，2、氣體高壓表，3、第一真空度表，4、分子渦輪泵，5、廢氣排放口，6、原料氣氣瓶，7、標(biāo)準(zhǔn)混合氣產(chǎn)品氣瓶，8、原料氣入口截止閥，9、原料氣出口截止閥，10、高真空抽氣口截止閥，11、廢氣排放口截止閥，12、第二真空度表，13、膜片真空泵，14、輔助真空抽氣口截止閥，15、第一管道，16、第二管道，17、第三管道。
【具體實(shí)施方式】
[0024]以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的原理和特征進(jìn)行描述，所舉實(shí)例只用于解釋本發(fā)明，并非用于限定本發(fā)明的范圍。
[0025]一種標(biāo)準(zhǔn)混合氣體配氣裝置，如圖1所示，包括殼體1、高真空抽