處理系統(tǒng)的制作方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及向面板涂敷液膜體的處理系統(tǒng)。
【背景技術】
[0002]作為電視機、個人計算機、便攜終端等的顯示器，已知將液晶顯示面板等圖像顯示面板和罩面板粘接地粘合了的顯示器(例如，專利文獻I)。作為將這些面板粘合的粘接劑，已知使用光硬化樹脂(OCR)。在將光硬化樹脂涂敷在罩面板表面上后，將罩面板和圖像顯示面板粘合。此后，透過罩面板向光硬化樹脂照射紫外線，光硬化樹脂硬化。
[0003]在采用此粘接方式的情況下，需要向罩面板涂敷光硬化樹脂的裝置。作為此種裝置，例如，已知由在配置在工作臺上的面板上移動的涂敷裝置涂敷液體的裝置。
[0004]在先技術文獻
[0005]專利文獻
[0006]專利文獻1:日本特開2009-25833號公報

【發(fā)明內容】

[0007]發(fā)明所要解決的課題
[0008]但是，在面板上移動的涂敷裝置在涂敷動作中，工作臺被一個面板占有，連續(xù)地處理多個面板是困難的。因此，作業(yè)效率低下。特別是，因為光硬化樹脂粘度高，涂敷花費時間，所以作業(yè)效率低下。
[0009]本發(fā)明的目的是使涂敷作業(yè)的作業(yè)效率提高，可對應多尺寸的面板。
[0010]為了解決課題的手段
[0011]根據本發(fā)明，提供一種處理系統(tǒng)，其特征在于，具備:具備向面板的表面涂敷液體的開口部的涂敷裝置；將前述面板與前述涂敷裝置的前述開口部面臨地運送的運送裝置；和在前述面板的運送方向的從與前述涂敷裝置相比為上游側的面板運入區(qū)域遍及到與前述涂敷裝置相比為下游側的面板運出區(qū)域地延伸設置，以非接觸方式支承前述面板的多個上浮單元，前述涂敷裝置相對于前述運送方向固定地設置，前述多個上浮單元在與前述運送方向正交的方向離開地設置，前述運送裝置具備:被設置在前述多個上浮單元之間，吸附前述面板的下面的多個吸附單元；和與前述多個吸附單元連接地設置，使各吸附單元獨立地在前述運送方向往復移動的驅動單元。
[0012]另外，根據本發(fā)明，提供一種處理系統(tǒng)，所述處理系統(tǒng)具備:
[0013]可進行被供給的面板的交接，面板被運入的面板運入區(qū)域；向面板表面涂敷液體形成液膜的涂敷區(qū)域；和運出形成了液膜的面板，可進行面板的交接的面板運出區(qū)域，其特征在于，具備:被設置在前述涂敷區(qū)域的上方，具備向前述面板的表面涂敷液體的開口部的涂敷裝置；從前述面板運入區(qū)域遍及到前述面板運出區(qū)域地在面板運送方向延伸設置，以非接觸方式支承前述面板的多個上浮單元；和在前述多個上浮單元之間，從前述面板運入區(qū)域遍及到前述面板運出區(qū)域地延伸設置，可吸附前述面板，在從前述面板運入區(qū)域經前述涂敷區(qū)域到達前述面板運出區(qū)域的面板運送方向往復移動的運送裝置。
[0014]發(fā)明效果
[0015]根據本發(fā)明，能夠提高涂敷作業(yè)的作業(yè)效率。另外，能夠對應于多尺寸的面板。
【附圖說明】
[0016]圖1是有關本發(fā)明的一實施方式的處理系統(tǒng)的俯視圖。
[0017]圖2是圖1的處理系統(tǒng)的箭頭II方向向視圖。
[0018]圖3是沿著圖2的II1-1II線的剖視圖。
[0019]圖4是控制裝置的框圖。
[0020]圖5是圖1的處理系統(tǒng)的動作說明圖。
[0021]圖6是圖1的處理系統(tǒng)的動作說明圖。
[0022]圖7是圖1的處理系統(tǒng)的動作說明圖。
[0023]圖8是圖1的處理系統(tǒng)的動作說明圖。
[0024]圖9是圖1的處理系統(tǒng)的動作說明圖。
[0025]圖10是圖1的處理系統(tǒng)的動作說明圖。
[0026]圖11是圖1的處理系統(tǒng)的動作說明圖。
[0027]圖12的(A)及⑶是其它例的說明圖。
[0028]圖13是其它例的說明圖。
【具體實施方式】
[0029]為了實施發(fā)明的方式
[0030]下面，參照附圖，對本發(fā)明的實施方式進行說明。在各圖中，箭頭X及Y表示相互正交的水平方向，箭頭Z表示上下方向。
[0031]〈第一實施方式〉
[0032]<系統(tǒng)的概要>
[0033]圖1是有關本發(fā)明的一實施方式的處理系統(tǒng)A的俯視圖，圖2是處理系統(tǒng)A的箭頭II方向向視圖，圖3是沿著圖2的II1-1II線的剖視圖。
[0034]處理系統(tǒng)A是一面將面板(基板)在Y方向進行空氣上浮運送一面在面板表面上形成涂膜的系統(tǒng)。在系統(tǒng)的布局上，處理系統(tǒng)A具備面板運入區(qū)域R1、處理區(qū)域R2，即涂敷區(qū)域R21和面板運出區(qū)域R3。另外，處理系統(tǒng)A也可以與需要相應地具備使形成的涂膜半硬化的半硬化裝置8。在此情況下，在涂敷區(qū)域R21的下游側設置半硬化區(qū)域R22，由涂敷區(qū)域R21和半硬化區(qū)域R22構成處理區(qū)域R2。
[0035]向面板運入區(qū)域Rl供給成為處理對象的面板。這里，與供給源的裝置進行面板的交接，將面板運入。在涂敷區(qū)域R21中，向面板表面涂敷液體，形成液膜。在面板運出區(qū)域R3中，將形成完液膜的面板向供給目的地的裝置交接，將面板從處理系統(tǒng)A運出。
[0036]處理系統(tǒng)A具備多個上浮單元IA及IB (在統(tǒng)稱時，稱為上浮單元I)、運送裝置2、升降單元3、調整單元4及5、涂敷裝置6和升降裝置7。涂敷裝置6被設置在涂敷區(qū)域R21上，若在面板的運送方向(Y方向)看，則面板運入區(qū)域Rl與涂敷裝置6相比位于上游側，面板運出區(qū)域R3位于下游側。
[0037]<上浮單元>
[0038]上浮單元I以非接觸方式支承面板。在本實施方式的情況下，上浮單元I是空氣工作臺，具備水平的上面10。在上面10上形成了多個空氣孔12?？諝饪?2經上浮單元I內部的通路與未圖示的空氣裝置連通?？諝庋b置是以泵為代表的空氣供給裝置或空氣吸引
>j-U ρ?α裝直。
[0039]通過從空氣孔12噴出空氣，能夠以浮游狀態(tài)支承面板。另外，即使通過從一部分空氣孔12噴出空氣，從其它的一部分空氣孔吸引空氣，也能夠以浮游狀態(tài)支承面板。這些方式也可以根據區(qū)域分別使用。例如，在面板運入區(qū)域Rl及面板運出區(qū)域R3中，僅通過從空氣孔12噴出空氣來支承面板，做成通常的空氣上浮載物臺。另一方面，在涂敷區(qū)域R21中，通過從一部分空氣孔12噴出空氣，并且從其它的一部分空氣孔吸引空氣這樣的例如伯努利吸盤方式支承面板，做成精密空氣上浮載物臺。這里說的精密空氣上浮載物臺，是指可以以±5?30μπι的精度控制面板的上浮高度的載物臺。另外，在設置半硬化區(qū)域R22的情況下，該區(qū)域也可以是通常的空氣上浮載物臺。
[0040]面板運入區(qū)域Rl及面板運出區(qū)域R3中的噴出空氣的空氣孔12的孔徑，例如做成直徑1.0?5.0mm左右。另一方面，涂敷區(qū)域R21中的吸引空氣的空氣孔12的孔徑，例如做成直徑1.0?5.0mm左右。另外，涂敷區(qū)域R21中的噴出空氣的空氣孔12，例如做成被形成在由滲透性的多孔質體構成的上浮單元的內部的無數孔(平均直徑為1.0?5.0 μ m)。
[0041]上浮單元I在作為面板的運送方向的Y方向延伸設置。更詳細地說，從面板運入區(qū)域Rl遍及面板運出區(qū)域R3地延伸設置。因此，在處理系統(tǒng)A的全部區(qū)域中，可以以非接觸方式支承面板。
[0042]上浮單元IA和上浮單元IB相互平行地延伸設置，且在X方向離開地配置。上浮單元IA和上浮單元IB的X方向的間隙，形成用于后述的吸附單元20A、20B移動的移動空間S。另外，在本實施方式的情況下，上浮單元I的數量可以是2個，但也可以是3個以上。
[0043]在上浮單元I的上面10上形成了槽11。在本實施方式的情況下，對I個上浮單元1，形成2個槽11。槽11成為后述的升降單元3的銷30、調整單元5的抵接部50的退避空間。
[0044]<運送裝置>
[0045]運送裝置2，從面板運入區(qū)域Rl遍及面板運出區(qū)域R3地運送在上浮單元I上以浮游狀態(tài)被支承的面板。運送裝置2具備多個吸附單元20A及20B (在統(tǒng)稱時，稱為吸附單元20)。另外，運送裝置2具備多個驅動單元21A及21B (在統(tǒng)稱時，稱為驅動單元21)。
[0046]在本實施方式的情況下，吸附單元20及驅動單元21分別是2個，但也可以是3個以上。驅動單元21與吸附單元20對應地設置。在本實施方式的情況下，驅動單元21A與吸附單元20A對應，驅動單元21B與吸附單元20B對應。
[0047]<吸附單元>
[0048