、噴嘴1、第I控制部7、輸送部6、背面電極5、電源部8、和控制電極10。箱4儲存溶液2。噴嘴I噴吐溶液2。第I控制部7向噴嘴I的前端供給溶液2。輸送部6與噴嘴I對置地輸送作為被涂敷體的基材3。背面電極5相對于基材3被配置在噴嘴I的相反側(cè)。電源部8對箱4、噴嘴I的至少一方與背面電極5之間施加電壓。S卩，電源部8通過對供給至噴嘴I前端的溶液2施加電壓來使其帶電?？刂齐姌O10被配置在噴嘴I與基材3之間，形成有從噴嘴I拉伸出的溶液2通過的開口 9。對控制電極10施加規(guī)定的電壓。該靜電涂敷裝置在以上的構(gòu)成中，使噴嘴I的溶液2拉伸的同時，通過開口 9來將溶液2涂敷到基材3上。
[0039]以下，詳細說明靜電涂敷裝置的構(gòu)成。
[0040]隔著基材3，在基材3的上表面?zhèn)扰渲糜邢?，在基材3的背面?zhèn)扰渲糜斜趁骐姌O5?；?相對于箱4和背面電極5的組而言能夠相對移動。例如,箱4和背面電極5被固定，基材3在箱4與背面電極5之間通過輸送部6在箭頭X方向和與箭頭X方向正交的Y方向所形成的平面內(nèi)被輸送。
[0041]箱4具有與基材3的上表面對置的底面，在該底面形成有噴嘴I。箱4內(nèi)的液面通過第I控制部7被加壓，使得將溶液向噴嘴I的前端送出。另外，噴嘴I也可以與箱4分別設置，并通過配管來連接。
[0042]在噴嘴I與背面電極5之間，通過電源部8施加有規(guī)定的電壓。在此，噴嘴I與箱4 一體地形成，因此電源部8對箱4與背面電極5之間施加電壓。在噴嘴I與基材3之間，配置有具有開口 9的控制電極10。
[0043]在像這樣構(gòu)成的靜電涂敷裝置中，若通過第I控制部7對箱4內(nèi)的溶液2的液面施加規(guī)定的壓力，則向噴嘴I的前端供給溶液2。然后，在噴嘴I的前端產(chǎn)生積液13。積液13的溶液2由于從電源部8施加的電位差而帶電。像這樣帶電的積液13的溶液2，向背面電極5的方向被拉伸。S卩，從噴嘴I的前端拉伸出的積液13，通過與噴嘴I的距離被設定在規(guī)定位置的控制電極10的開口 9而被涂敷到基材3上。此時，電源部8對控制電極10施加電壓，使得與積液13的溶液2所帶電的電荷相排斥。
[0044]—邊參照圖2A?圖2C —邊對涂敷中的噴嘴I的前端和控制電極10附近的樣態(tài)進行說明。圖2A表示正在進行涂敷的穩(wěn)定狀態(tài)的噴嘴I的周邊的樣態(tài)。噴嘴I前端的積液13所包含的溶液2被背面電極5吸引而被涂敷于基材3。例如，在積液13帶負電的情況下，電源部8施加電壓使得控制電極10帶負電。換言之，積液13與控制電極10相同極性地帶電。若像這樣使積液13與控制電極10相同極性地帶電,則起到控制電極10的電荷與積液13的電荷相排斥的作用，能夠通過靜電力將積液13拉伸為更細長的形狀。此外還有維持積液13的形狀不走樣的作用，能夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)定的涂敷。
[0045]即，在該靜電涂敷裝置中，通過對供給至噴嘴I前端的溶液施加電壓而使其帶電。然后，一邊使噴嘴I與基材3相對移動，一邊利用靜電力從噴嘴I向基材3拉伸溶液2。然后，使被拉伸的溶液2通過形成于控制電極10的開口 9來涂敷于基材3。控制電極10被配置在噴嘴I與基材3之間且被施加電壓。
[0046]接著，如圖1所示，說明設置了對控制電極10的電位進行控制的第2控制部11的情況的效果。在向控制電極10施加的電壓高、即控制電極10的電荷強的情況下，如圖2B所示，將積液13更向噴嘴I內(nèi)推入的力發(fā)揮作用，難以穩(wěn)定地噴吐溶液2。此外反之，在向控制電極10施加的電壓低、即控制電極10的電荷弱的情況下，如圖2C所示，維持積液13的形狀的力未充分發(fā)揮作用。因此，由于直線性的偏差等而無法穩(wěn)定地涂敷溶液2。
[0047]因此，優(yōu)選控制電極10與向噴嘴I施加的電壓單獨地由第2控制部11來控制。通過由第2控制部11對控制電極10的電壓進行控制，能夠使噴嘴I前端的積液13的形狀穩(wěn)定化，能夠穩(wěn)定地涂敷溶液2。
[0048]接著，參照圖3A?圖3H和圖4來說明涂敷圖案的始端、末端的第2控制部11所進行的控制電極10的電壓控制。圖3A?圖3H示出了涂敷的始端、末端的噴嘴I處的積液13的變化。圖4示出了圖3A?圖3H的各個定時的噴嘴I的電位和控制電極10的電位。在此噴嘴I的中心與控制電極10的中心在所有的定時都相互一致，噴嘴I與控制電極10的距離也在所有的定時都固定。
[0049]首先，在涂敷開始前如圖3A所示，溶液2被保持在噴嘴I內(nèi)而處于不從噴嘴I落下溶液2的狀態(tài)，在該定時，如圖4的定時a那樣未對噴嘴I以及控制電極10施加電壓。
[0050]接著如圖4的定時b那樣，向噴嘴I以及控制電極10以同樣的變化傾斜度施加電壓到規(guī)定值。此時，噴嘴I內(nèi)的溶液2不發(fā)生大的變化。對此，若噴嘴I與控制電極10為同電位，則如圖3B所示直到某一定的電壓為止都不易從噴嘴I噴吐溶液2。
[0051]接著如圖4的定時c那樣，使向噴嘴I的施加電壓進一步增加且使其上升到規(guī)定的電壓。此時使向控制電極10的施加電壓保持固定而不增加。隨著向噴嘴I的施加電壓與向控制電極10的施加電壓的差變大，如圖3C所示噴嘴I內(nèi)的溶液2通過靜電力而被拉出，在噴嘴I的前端形成積液13。
[0052]接著如圖4的定時d那樣，噴嘴I的施加電壓上升到規(guī)定的電壓之后，維持該狀態(tài)，向控制電極10的施加電壓在圖4的定時d也維持與定時C相同的狀態(tài)。由此如圖3D所示，在噴嘴I的前端形成穩(wěn)定的積液13。
[0053]然后，如圖4的定時e那樣僅將控制電極10的電壓降低到規(guī)定的值，進而如定時f那樣維持噴嘴I的電位和控制電極10的電位。通過這種電壓控制，如圖3E、圖3F所示，溶液2從噴嘴I通過控制電極10的開口 9而被拉伸得較細并被涂敷到基材3上。在此對輸送部6進行控制來調(diào)整基材3與噴嘴的相對速度，由此當向基材3涂敷溶液2時能夠以規(guī)定的相對速度進行移動的同時進行涂敷。因此，能夠穩(wěn)定地開始溶液2的涂敷。
[0054]通過像這樣操縱電源部8和第2控制部11，能夠防止現(xiàn)有的方法中在噴嘴I的電壓上升到規(guī)定電壓的期間(圖4中的定時a?c)，從噴嘴I不穩(wěn)定地噴吐溶液2的問題。即通過如圖4的定時e、f那樣變更控制電極10的電壓來控制涂敷的開/關(guān)(0N/0FF)，能夠以良好的響應性來涂敷溶液2。
[0055]具體來說，例如，噴嘴I與控制電極10的距離為10?300 μ m、噴嘴I與背面電極5的距離為200?500 μ m、基材3與背面電極5的距離為O?1mm、控制電極10的開口 9的直徑為200?500 μ m、對背面電極5施加-0.5kV?-lkV。在此情況下，通過第2控制部11在各定時a?f例如如下這樣來對控制電極10的電壓進行控制。或者，通過第2控制部11來控制電源部8，例如如下這樣來控制各定時a?f的噴嘴I的電壓。
[0056]在圖4的定時a開始時使噴嘴I為零伏。在定時c對控制電極10施加+lkV。在定時d對噴嘴I施加+2kV。在定時f對控制電極10施加+0.3?+0.5kV。此外，將圖4的基材3相對于噴嘴I的相對速度設定為50mm/sec。
[0057]另外在涂敷圖案的末端，只要相反地實施圖4中描述的定時f?a的控制即可。即，如圖4的定時g那樣僅將控制電極10的電壓提高到規(guī)定的值，進而如定時h那樣一邊維持控制電極10的電壓，一邊使向噴嘴I的施加電壓下降到規(guī)定的電壓。通過這種電壓控制能夠穩(wěn)定地結(jié)束溶液2的涂敷。
[0058]如上，優(yōu)選通過設置第2控制部11，來使施加于控制電極10的電壓發(fā)生變化，對溶液2向基材3的涂敷的動作進行控制。而且，優(yōu)選在涂敷圖案的始端、末端的至少任意一方，對噴嘴I與基材3之間的電壓進行變更來對涂敷開始、涂敷結(jié)束的至少任意一方的響應性進行控制。進而，優(yōu)選在涂敷圖案的始端，逐漸增大噴嘴I與控制電極10之間的電壓，在涂敷圖案的末端，逐漸減小噴嘴I與控制電極10之間的電壓。
[0059](實施方式2)
[0060]接著，如圖1所示，說明設置了對控制電極10相對于噴嘴I的相對位置進行控制的第3控制部12的情況。具體來說，第3控制部12能夠?qū)刂齐姌O10在相對于噴嘴I的距離方向(Z方向)上進行變更。即，第3控制部12能夠使控制電極10相對于噴嘴I而移動，使噴嘴I與控制電極10的距離發(fā)生變化。
[0061]圖5A?圖5H示出了涂敷的始端和末端的噴嘴I處的積液13的變化。圖6示出了圖5A?圖5H的各個定時的噴嘴I的電位和控制電極10的電位、以及噴嘴I與控制電極10的距離。
[0062]在參照圖3A?圖3H和圖4進行了說明的實施方式I中，在所有的定時，噴嘴I的中心與控制電極10的中心