也可以采用其他起到相同功能的結(jié)構(gòu)。
[0032]雖然圖3a和圖3b中示出了左主體310和右主體320的具體形狀，但是左主體310的形狀和右主體320的形狀不限于此。例如，在本發(fā)明的實施例中，除了多個第一螺紋孔322之外，右主體320的其他部分可與左主體310相同。此外，左主體310和右主體320可通過耐高壓耐酸性金屬材料形成，但也不限于此。
[0033]此外，根據(jù)本發(fā)明的實施例的涂布噴頭還包括至少一個分隔件350，分隔件350的第一接合面351上形成有多個第二螺紋孔352，第二螺紋孔352的尺寸與第一螺紋孔322的尺寸相對應(yīng)，雖然圖3中示出了多個第二螺紋孔352沿寬度方向貫穿分隔件350，但是本發(fā)明不限于此，只要能夠保證通過連接螺釘鎖緊，第二螺紋孔352可以是盲孔。分隔件350大體為長方形薄片，但也不限于此，并且分隔件350的寬度與狹縫式噴出口 360的寬度相同。
[0034]分隔件350的第一接合面351緊密貼合右主體320的對接面321并通過旋入到多個第一螺紋孔322和第二螺紋孔352中的連接螺釘(未示出)可拆卸地連接，同時分隔件350的第二接合面353緊密貼合左主體310的下對接面342，并且分隔件350的底部與左主體310的底緣313平齊，分隔件350的頂部低于涂布液蓄積槽330，以將涂布噴頭300分隔為兩個子涂布噴頭并確保涂布液蓄積槽330的連通。此外，沒有用于固定分隔件350的第一螺紋孔可通過螺釘鎖閉，以避免進入到涂布噴頭中的涂布液流出。
[0035]此外，分隔件350的外表面可附著有可防酸性腐蝕且彈性良好的橡膠貼膜(未示出)，以防止分隔件350鎖緊時磨損右主體320的對接面321和/或左主體310的對接面311。
[0036]圖3a中示出了右主體320中形成有沿寬度方向貫穿右主體320的多個第一螺紋孔322，但是不限于此。例如，左主體310中也可形成有沿寬度方向貫穿左主體320的多個第一螺紋孔322。此時，分隔件350中可形成有沿寬度方向貫穿分隔件350的多個第二螺紋孔352。此時，可通過旋入到對應(yīng)的第一螺紋孔322和第二螺紋孔352中的連接螺釘可拆卸地連接分隔件350。此時，分隔件350的第一接合面351緊密貼合右主體320的對接面321，同時分隔件350的第二接合面353緊密貼合左主體310的下對接面342，并且分隔件350的底部與左主體310的底緣313平齊，分隔件350的頂部低于涂布液蓄積槽330。
[0037]雖然圖3a和圖3b中僅示出了一個分隔件350，但是本發(fā)明不限于此。根據(jù)需要，可相應(yīng)地設(shè)置分隔件350的個數(shù)以及分隔件350的長度、高度和形狀。例如，當需要對同一玻璃基板進行三個相分離區(qū)域的涂布時，可設(shè)置兩個分隔件350。相應(yīng)地，當不需要多個分隔件350時，可根據(jù)需要拆下分隔件350。
[0038]下面，將對涂布噴頭300的操作進行詳細的描述。
[0039]當需要利用涂布噴頭300對同一玻璃基板進行相分離區(qū)域的涂布時，需要根據(jù)需要涂布的區(qū)域的個數(shù)和尺寸調(diào)節(jié)分隔件350的個數(shù)和安裝位置。以圖3a中示出的涂布噴頭300為例，具體地講，首先可將側(cè)板370和380拆下并將左主體310與右主體320分開；然后，拆下連接右主體320與分隔件350的連接螺釘，以將右主體320與分隔件350分開；然后，根據(jù)需要涂布的區(qū)域的個數(shù)和尺寸從右主體320的多個第一螺紋孔322中選擇所需要的第一螺紋孔；然后，將連接螺釘旋入到所選擇的第一螺紋孔322和第二螺紋孔352中，以將分隔件350與右主體320結(jié)合，并利用螺釘將未使用的第一螺紋孔322鎖閉；最后，將左主體310和右主體320接合并安裝側(cè)板370和380。
[0040]在下文中，將參照圖4詳細地描述具有圖3a中示出的涂布噴頭300的涂布裝置400。
[0041]圖4是具有圖3a中示出的涂布噴頭300的涂布裝置400的示意圖。
[0042]如圖4所示，涂布裝置400可包括:承載臺410，承載被處理物；涂布噴頭300，向被處理物噴涂涂布液；支撐架420，支撐涂布噴頭300，并且可通過自身的行走軸421沿X方向運動，進而帶動涂布噴頭300沿X方向運動；送液栗430，抽取涂布液并將涂布液注入到涂布噴頭300中；控制系統(tǒng)(未示出)，控制支撐架420的運動以及調(diào)節(jié)送液栗431的吐液速率。
[0043]圖5是使用圖3a中示出的涂布噴頭300涂布被處理物的示意圖。其中，為了更加清楚，圖5中省略了支撐架420。
[0044]如圖5所示，將待涂布的被處理物440置于承載臺410上，而后將涂布噴頭300的分隔件350與被處理物440上的涂布區(qū)域的分界帶443對齊，確定送液栗431向涂布噴頭400中吐出涂布液的吐液速率；使涂布噴頭300沿水平X方向運動，進而使得子涂布噴頭301和302分別對被處理物440的涂布區(qū)域441和442進行涂布，并在涂布區(qū)域441和442上分別形成均勻的薄膜。
[0045]當需要利用上述的涂布裝置對另一玻璃基板的具有與圖5中示出的涂布區(qū)域441和442的尺寸不同的尺寸的區(qū)域進行涂布時，對分隔件350進行調(diào)整即可。若分界帶443的尺寸無變化，則可以使用相同規(guī)格的分隔件。若分界帶443的尺寸會發(fā)生變化，則可以準備不同規(guī)格的分隔件。
[0046]本發(fā)明的涂布噴頭可用于對玻璃基板、半導體晶片或者其他被處理物的表面上涂布光阻或者其他適合的涂布液。
[0047]根據(jù)本發(fā)明的實施例的涂布噴頭，可通過調(diào)節(jié)分隔件的安裝位置來調(diào)節(jié)涂布噴頭的子涂布噴頭的噴涂面積，從而可使用同一涂布噴頭對不同涂布區(qū)域進行涂布而無需更換涂布噴頭。此外，根據(jù)本發(fā)明的實施例的涂布噴頭，可通過調(diào)節(jié)分隔件的個數(shù)來調(diào)節(jié)子涂布噴頭的個數(shù)，從而可使用同一涂布噴頭對不同個數(shù)的涂布區(qū)域進行涂布。而且，可通過安裝不同長度的分隔件以及調(diào)節(jié)安裝數(shù)量，可以調(diào)節(jié)涂布區(qū)域的數(shù)量以及噴涂面積。此外，根據(jù)本發(fā)明的實施例的涂布噴頭，由于涂布液蓄積槽未被分隔件隔開，因此只需要設(shè)置一個涂布液輸入孔即可，簡化了涂布噴頭的結(jié)構(gòu)。此外，由于分隔件通過連接螺釘可拆卸地安裝在左主體的對接面與右主體的對接面之間，因此無需在左主體和右主體上形成用于安裝分隔件的構(gòu)件，即使調(diào)節(jié)分隔件的位置，也不會對涂布液的流動產(chǎn)生不良影響。
[0048]盡管已參照實施例示出并描述了本發(fā)明，但是本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該理解，在不脫離權(quán)利要求所限定的本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可對其進行形式和細節(jié)上的各種改 O
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【主權(quán)項】
1.一種涂布噴頭，由左主體和右主體結(jié)合而成，在所述左主體和所述右主體中的至少一個主體的對接面上形成有決定狹縫狀噴出口的寬度尺寸的凹部， 其特征在于，所述涂布噴頭還包括可拆卸地安裝在所述左主體的對接面與所述右主體的對接面之間的至少一個分隔件，所述至少一個分隔件位于所述凹部以將所述涂布噴頭分隔成多個子涂布噴頭并通過調(diào)節(jié)所述至少一個分隔件的位置來調(diào)節(jié)所述多個子涂布噴頭的涂布面積。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂布噴頭，其特征在于，所述左主體和右主體中的一個主體中形成有沿寬度方向貫穿所述一個主體的多個第一螺紋孔，所述至少一個分隔件中形成有至少一個第二螺紋孔，以通過連接螺釘將所述至少一個分隔件固定連接到所述一個主體的對接面。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂布噴頭，其特征在于，所述左主體和所述右主體中分別形成有沿寬度方向貫穿所述左主體和所述右主體的多個第一螺紋孔，所述至少一個分隔件中形成有沿寬度方向貫穿所述至少一個分隔件的至少一個第二螺紋孔，以通過連接螺釘將所述至少一個分隔件固定連接到所述左主體和所述右主體之間。4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的涂布噴頭，其特征在于，所述多個第一螺紋孔沿長度方向排列，未使用的第一螺紋孔使用螺釘鎖閉。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的涂布噴頭，其特征在于，所述多個第一螺紋孔沿長度方向等距排列。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂布噴頭，其特征在于，在形成有所述凹部的對接面上，在所述凹部上方形成涂布液蓄積槽，所述至少一個分隔件的頂部位于該涂布液蓄積槽之下。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的涂布噴頭，其特征在于，形成有所述凹部的主體的頂部形成有與所述涂布液蓄積槽連通的涂布液輸入孔，用于注入涂布液。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂布噴頭，其特征在于，所述至少一個分隔件的與所述左主體的對接面和所述右主體的對接面中的至少一個對接面接合的接合面上附著有可防酸性腐蝕且彈性良好的橡膠貼膜。9.一種涂布裝置，所述涂布裝置包括: 承載臺，承載被處理物； 涂布噴頭，向被處理物噴涂涂布液； 支撐架，支撐所述涂布噴頭并帶動所述涂布噴頭水平運動； 送液栗，抽取涂布液并將涂布液注入到所述涂布噴頭中； 控制系統(tǒng)，控制所述支撐架的運動以及調(diào)節(jié)所述送液栗的吐液速率； 其中，所述涂布噴頭使用權(quán)利要求1至8中任意一項所述的涂布噴頭。10.一種使用權(quán)利要求9所述的涂布裝置對被處理物進行涂布的涂布方法，其特征在于，所述方法包括: 將至少一個分隔件螺釘連接到涂布噴頭的左主體和右主體之間； 將待涂布的被處理物置于承載臺上； 將涂布噴頭的分隔件與被處理物上的涂布區(qū)域的分界帶對齊； 確定送液栗的吐液速率； 控制支撐架運動，從而帶動所述涂布噴頭沿著水平方向運動，以實現(xiàn)對所述被處理物CO
【專利摘要】本發(fā)明提供一種涂布噴頭、具有該涂布噴頭的涂布裝置及其涂布方法。所述一種涂布噴頭，由左主體和右主體結(jié)合而成，在所述左主體和所述右主體中的至少一個主體的對接面上形成有決定狹縫狀噴出口的寬度尺寸的凹部，所述涂布噴頭還包括可拆卸地安裝在所述左主體的對接面與所述右主體的對接面之間的至少一個分隔件，所述至少一個分隔件位于所述凹部以將所述涂布噴頭分隔成多個子涂布噴頭并通過調(diào)節(jié)所述至少一個分隔件的位置來調(diào)節(jié)所述多個子涂布噴頭的涂布面積。根據(jù)本發(fā)明的實施例的涂布噴頭，可使用同一涂布噴頭對不同的涂布區(qū)域進行涂布而無需更換涂布噴頭，并且可使用同一涂布噴頭對不同個數(shù)的涂布區(qū)域進行涂布。
【IPC分類】B05B1/04, B05B13/02, B05D1/02, B05B13/04
【公開號】CN105080741
【申請?zhí)枴緾N201510317541
【發(fā)明人】趙玉亮
【申請人】深圳市華星光電技術(shù)有限公司
【公開日】2015年11月25日
【申請日】2015年6月10日