通過濃鹽酸腐蝕得到ΙΤ0電;
[0078]本【具體實施方式】步驟一②中正光刻膠AZ4620啟保護(hù)ΙΤ0層不被腐蝕作用;
[0079]本【具體實施方式】步驟二②中使通道模子表面沉積一層硅烷,有助于PDMS與通道模子不粘連,容易將PDMS通道從模子上脫離;
[0080]本【具體實施方式】步驟三中鍵合是十分關(guān)鍵的一步,鍵合的好壞直接影響到最后的芯片中通道的密封效果,進(jìn)而影響到實驗結(jié)果的可靠性和準(zhǔn)確性,鍵合前,注意保證先將PDMS通道打好孔,一旦鍵合后,將無法再進(jìn)行打孔;在對準(zhǔn)的過程中需要微調(diào)整時,不要用力按壓,盡量輕拿輕放,以免鍵合住無法移動。
[0081]【具體實施方式】五:本實施方式與【具體實施方式】四不同點是:步驟一⑥中所述的ΙΤ0玻璃基底3的中心位置設(shè)有一個正方形懸浮電極1,在正方形懸浮電極1的后面設(shè)置激發(fā)電極a2,在正方形懸浮電極1的左面設(shè)置激發(fā)電極b7,在正方形懸浮電極1的前面設(shè)置激發(fā)電極c8,在正方形懸浮電極1的右面設(shè)置激發(fā)電極d4 ;
[0082]所述的正方形懸浮電極1、激發(fā)電極a2、激發(fā)電極b7、激發(fā)電極c8及激發(fā)電極d4由ΙΤ0玻璃基底3表面的ΙΤ0導(dǎo)電膜腐蝕后留存得到;所述的正方形懸浮電極1、激發(fā)電極a2、激發(fā)電極b7、激發(fā)電極c8及激發(fā)電極d4的厚度均為200nm ;
[0083]所述的正方形懸浮電極1的邊長為200 μ m?300 μ m ;所述的激發(fā)電極a2與激發(fā)電極c8之間的間距大于正方形懸浮電極1邊長的兩倍;所述的激發(fā)電極b7與激發(fā)電極d4之間的間距大于正方形懸浮電極1邊長的兩倍。其它與【具體實施方式】四相同。
[0084]【具體實施方式】六:本實施方式與【具體實施方式】四或五之一不同點是:步驟二③中所述的PDMS蓋片10的下表面設(shè)有粒子流道11,粒子流道11的中心位置設(shè)有圓形反應(yīng)腔9,粒子流道11的一端設(shè)有貫穿PDMS蓋片10的圓形入口通孔6,粒子流道11的另一端設(shè)有貫穿PDMS蓋片10的圓形出口通孔5 ;所述的PDMS蓋片10的厚度為5mm?7mm ;
[0085]所述的圓形反應(yīng)腔9深0.8mm?1mm ;所述的粒子流道11深0.8mm?1mm。其它與【具體實施方式】四或五相同。
[0086]【具體實施方式】七:本實施方式與【具體實施方式】四至六之一不同點是:步驟二①中所述的PDMS為美國道康寧DC184A組分;步驟二①中所述的固化劑為美國道康寧DC184B組分;步驟二②中所述的PDMS為美國道康寧DC184A組分。其它與【具體實施方式】四至六相同。
[0087]【具體實施方式】八:本實施方式所述的一種用于捕捉和旋轉(zhuǎn)微尺度顆粒的微流控芯片的應(yīng)用,芯片用于捕捉和旋轉(zhuǎn)微尺度顆粒,具體是按以下步驟進(jìn)行的:
[0088]一、顆粒準(zhǔn)備:
[0089]①、緩沖液的配制:向去離子水中加入氯化鉀,得到電導(dǎo)率為lmS/m的緩沖液I,通過離心機(jī)對微米棒清洗三次,然后將電導(dǎo)率為lmS/m的緩沖液I與清洗后的微米棒混合,得到溶液II ;
[0090]所述的電導(dǎo)率為lmS/m的緩沖液I的體積與清洗后的微米棒的個數(shù)比為lmL: (5 X105?5 Χ106)個;
[0091]所述的微米棒直徑為11微米,長度為47微米;
[0092]②、將無水乙醇與吐溫溶液混合,得到溶液III,再將溶液II與溶液III混合,得到溶液IV ;
[0093]所述的無水乙醇與吐溫的體積比為(7?9): 1 ;所述的溶液II與溶液III的體積比為 1: (95 ?99);
[0094]二、旋轉(zhuǎn)微米棒:
[0095]①、打開與顯微鏡相連接的計算機(jī)、信號發(fā)生器、信號放大器、示波器、顯微鏡、(XD以及熒光燈開關(guān),觀察設(shè)備運轉(zhuǎn)是否正常,然后打開Q-Capture Pro圖像采集軟件,實時觀察顯微鏡載物臺;
[0096]②、將用于捕捉和旋轉(zhuǎn)微尺度顆粒的微流控芯片置于等離子機(jī)的腔室內(nèi),在腔室壓力為700毫托及等離子發(fā)生器功率為20W的條件下,曝光時間32s,得到等離子化的芯片,將等離子化的芯片固定在載物臺上,調(diào)好芯片位置和焦距;
[0097]③、連接好用于捕捉和旋轉(zhuǎn)微尺度顆粒的微流控芯片的電極和信號放大器之間的導(dǎo)線,激發(fā)電極a2施加電信號為Acos (ω t)的行波電場、激發(fā)電極b7施加電信號為Acos (ω t+ 31 /2)的行波電場,激發(fā)電極c8施加電信號為Acos (ω t+ π )的行波電場,激發(fā)電極(14施加電信號為4(:08(0^+3 31/2)的行波電場,施加的電信號頻率范圍為100Hz?600Hz,施加的電壓范圍為lOVpp?20Vpp。
[0098]④、用移液器將溶液IV注射到圓形入口通孔6中,當(dāng)只有單個微米棒停留在正方形懸浮電極1上時,按下信號發(fā)生器上的施加信號按鈕;
[0099]⑤、再次調(diào)整好焦距和用于捕捉和旋轉(zhuǎn)微尺度顆粒的微流控芯片的位置,直至微米棒清晰,穩(wěn)定高度進(jìn)行視頻的檢測和錄制;
[0100]⑥、重步驟二③?⑤步,不斷調(diào)整電壓和頻率,觀察現(xiàn)象并記錄;
[0101]⑦、數(shù)據(jù)的處理和分析。
[0102]本【具體實施方式】步驟一②中溶液III作用主要是可以減少粒子在通道或者基底表面粘結(jié)。
[0103]【具體實施方式】九:本實施方式與【具體實施方式】八不同點是:步驟一①所述的微米棒為SU-8微米棒。其它與【具體實施方式】八相同。
[0104]【具體實施方式】十:本實施方式與【具體實施方式】八或九之一不同點是:步驟一②所述的無水乙醇與吐溫的體積比為9:1 ;步驟一②所述的溶液II與溶液III的體積比為1:99。其它與【具體實施方式】八或九相同。
[0105]采用下述試驗驗證本發(fā)明效果:
[0106]實施例一:
[0107]用于捕捉和旋轉(zhuǎn)微尺度顆粒的微流控芯片由PDMS蓋片10和ΙΤ0玻璃基底3組成;
[0108]所述的ΙΤ0玻璃基底3的中心位置設(shè)有一個正方形懸浮電極1,在正方形懸浮電極1的后面設(shè)置激發(fā)電極a2,在正方形懸浮電極1的左面設(shè)置激發(fā)電極b7,在正方形懸浮電極1的前面設(shè)置激發(fā)電極c8,在正方形懸浮電極1的右面設(shè)置激發(fā)電極d4 ;
[0109]所述的正方形懸浮電極1、激發(fā)電極a2、激發(fā)電極b7、激發(fā)電極c8及激發(fā)電極d4由ΙΤ0玻璃基底3表面的ΙΤ0導(dǎo)電膜腐蝕后留存得到;所述的正方形懸浮電極1、激發(fā)電極a2、激發(fā)電極b7、激發(fā)電極c8及激發(fā)電極d4的厚度均為200nm ;
[0110]所述的PDMS蓋片10的下表面設(shè)有粒子流道11,粒子流道11的中心位置設(shè)有圓形反應(yīng)腔9,粒子流道11的一端設(shè)有貫穿PDMS蓋片10的圓形入口通孔6,粒子流道11的另一端設(shè)有貫穿PDMS蓋片10的圓形出口通孔5 ;所述的PDMS蓋片10的厚度為6mm ;
[0111]所述的圓形反應(yīng)腔9深1mm ;所述的粒子流道11深1mm ;
[0112]ΙΤ0玻璃基底3設(shè)有電極的一側(cè)和PDMS蓋片10下表面相對密封,且正方形懸浮電極1置于圓形反應(yīng)腔9的中心位置,圓形反應(yīng)腔9直徑范圍把激發(fā)電極a2、激發(fā)電極b7、激發(fā)電極c8及激發(fā)電極d4的內(nèi)端部包容在內(nèi);
[0113]所述的正方形懸浮電極1的邊長為300 μπι ;所述的激發(fā)電極a2與激發(fā)電極c8之間的間距為2mm ;所述的激發(fā)電極b7與激發(fā)電極d4之間的間距為2mm ;
[0114]所述的圓形入口通孔6的直徑為5mm ;所述的圓形出口通孔5的直徑為5mm ;所述的圓形反應(yīng)腔9的直徑為10mm ;
[0115]上述一種用于捕捉和旋轉(zhuǎn)微尺度顆粒的微流控芯片的制備方法,是按以下步驟進(jìn)行的:
[0116]—、電極的加工:
[0117]①、清洗ΙΤ0玻璃:首先將ΙΤ0玻璃依次置于丙酮和異丙醇中超聲清洗lOmin,再用等離子水沖洗,氮氣吹干,然后將氮氣吹干后的IT0玻璃置于溫度為80°C下加熱15min,得到預(yù)處理后的IT0玻璃;
[0118]②、甩膠:在轉(zhuǎn)速為500r/min的條件下,利用甩膠機(jī)及正光刻膠AZ4620對預(yù)處理后的IT0玻璃進(jìn)行甩膠18s,然后在轉(zhuǎn)速為2500r/min的條件下,利用甩膠機(jī)及正光刻膠AZ4620對預(yù)處理后的IT0玻璃進(jìn)行甩膠60s,得到甩膠后的IT0玻璃;
[0119]③、曝光:在溫度為100°C下,將甩膠后的IT0玻璃加熱6min,然后利用曝光箱進(jìn)行曝光210s,得到曝光后的IT0玻璃;
[0120]④、顯影:利用光刻膠AZ4620專用顯影液