[0089]此外，閥構件50也可通過層疊的2片板狀構件所構成。在上述構成中，具有吐出口53的下側的板狀構件(噴嘴構件)，在第I及第2位置的切換時不水平移動，僅上側的板狀構件(閥構件)一邊與計量構件41及下側的板狀構件(噴嘴構件)的各個滑動一邊滑行移動。在上述構成中，由于吐出口 53不水平移動，因而有不容易產生液體自吐出口 53滴垂等問題的優(yōu)點。
[0090]<柱塞驅動部>
[0091]柱塞驅動部60具備驅動裝置A61、滑座62及升降體63而構成。
[0092]驅動裝置A61例如為馬達，且為使滑座62朝計量孔42的延伸方向往返移動的驅動源。在滑座62連接有升降體63?；?2可沿在鉛垂方向延伸的一對細長的開口 65移動。
[0093]在升降體63的左右側面設置有與柱塞保持器31的卡止爪34卡合的卡止件64。通過將升降體63的卡止件64與柱塞保持器31側面的卡止爪34卡合，可將柱塞保持器31裝卸自如地連結固定于升降體63。
[0094]<閥驅動部>
[0095]閥驅動部70具備臂71、連接件72及驅動裝置73而構成。
[0096]在臂71的一端部連結有連接件72，在另一端部連結有驅動裝置73。經由連接件72而裝卸自如地連結固定有閥構件50的背面凸部58與臂71。由此，由驅動裝置73驅動的臂71的動作，經由連接件72傳遞至閥構件50，閥構件50相對于計量構件41進行往返滑行移動。
[0097]驅動裝置73例如為氣動式致動器，使在水平方向延伸的臂71相對于閥單元進入移動或后退移動。驅動裝置73通過使臂71后退移動，使閥單元40取連通液體材料供給通道45與計量孔42的第I位置，且通過使臂71進入移動，使閥單元40取連通計量孔42與吐出口 53的第2位置。這樣，閥驅動部70進行閥單元40的閥切換動作。
[0098]< 動作 >
[0099]—邊參照圖11 一邊對使用本吐出裝置I的吐出動作進行說明。
[0100]圖11(a)顯示閥單元40取第I位置且柱塞21位于最下端的狀態(tài)。在第I位置上，計量孔42與液體材料供給通道45經由凹部55連通，且將計量孔42與吐出口 53截斷。再者，本圖中，吐出通道51由液體材料所充滿，但與計量孔42不連通。
[0101 ] 圖11 (b)顯示閥單元40取第I位置且柱塞21位于上方的狀態(tài)。即，顯示使柱塞21自圖11(a)的狀態(tài)上升移動，將液體材料供給至計量孔42的狀態(tài)。柱塞21的上方位置可變，通過控制驅動裝置A61而對柱塞21的上升量進行控制，可控制抽吸至計量孔42的液體材料的量。即，可將所期望量的液體材料吸入至計量孔42。
[0102]圖11(c)顯示閥單元40取第2位置且柱塞21位于上方的狀態(tài)。即，通過使閥構件50自圖11(b)的狀態(tài)進入移動，將計量孔42與液體材料供給通道45截斷，且連通計量孔42與吐出口 53。柱塞21保持圖11(b)所示的位置(高度)。
[0103]圖11 (d)顯示閥單元40取第2位置且柱塞21位于最下端的狀態(tài)。即，顯示使柱塞21自圖11(c)的狀態(tài)下降移動，將計量孔42內的液體材料吐出的狀態(tài)。圖11(d)中，使柱塞21移動至最下端，將計量孔42內的液體材料全部吐出，但也可一邊使柱塞21在計量孔42的最下端的跟前停止一次或數次，一邊反復地進行下降動作而進行吐出。即，也可以通過控制驅動裝置A而使柱塞21間歇式地下降，使計量孔42內的液體材料分成多個液滴而吐出。自一個吐出口 53—次吐出的液體材料，例如為ng?mg級。
[0104]若通過驅動裝置73使閥構件50自吐出作業(yè)結束的圖11(d)的狀態(tài)后退移動，則返回圖11(a)的狀態(tài)。
[0105]通過反復地進行圖11(a)至(d)的狀態(tài)，可反復地將液滴吐出。在此期間，液體材料供給通道45與未圖示的液體供給源始終連通，液體材料供給通道45及凹部55處于始終由液體材料充滿的狀態(tài)。
[0106]圖12(a)為說明閥構件50位于第2位置的狀態(tài)的水平剖視圖，(b)為說明閥構件50位于第I位置的狀態(tài)的水平剖視圖。如圖12(a)所示，由于吐出通道51與計量孔42在第2位置上連通，因而可吐出計量孔42內的液體材料。如圖12 (b)所示，由于計量孔42及液體材料供給通道45在第I位置上成為以虛線所圖示的位置關系，且經由凹部55而連通，因而可將液體材料抽吸至計量孔42內。
[0107]圖13為搭載吐出裝置I的涂布裝置90的前視圖。
[0108]涂布裝置90具備:X方向移動裝置91，其使吐出裝置I在X方向自如移動;Y方向移動裝置92，其使臺94在Y方向自如移動;Z方向移動裝置93，其保持裝置主體2;及臺座95，其搭載有臺94^YZ方向移動裝置(91、92、93)，例如具備電動馬達與滾珠螺桿的組合、使用線性馬達的機構、利用皮帶及鏈條等傳遞動力的機構而構成。
[0109]在臺94上載置有工件，且一邊使吐出裝置I及臺94在XYZ方向相對移動，一邊進行涂布作業(yè)。
[0110]< 分解 >
[0111]吐出裝置I可容易將其構成部件分解。
[0112]圖14為顯示將吐出裝置I分解的狀態(tài)的立體圖。如圖14所示，吐出裝置I可將柱塞單元20及閥單元40自裝置主體側拆下。再有，柱塞單元20可分解為柱塞保持器31及柱塞21，閥單元40可分解為計量構件41及閥構件50。再者，圖14中，柱塞保持器31圖示圖6所示的，閥構件50圖示圖1O所示的。
[0113]在將柱塞單元20拆下時，首先使升降體63上升而自計量孔42拔出柱塞21。在該狀態(tài)下，若將升降體63的卡止件64與柱塞保持器31側面的卡止爪34的卡合解除，則可自升降體63拆下柱塞單元20。圖15中顯示自升降體63的卡止件64拆下柱塞保持器31側面的卡止爪34的狀態(tài)的吐出裝置I的前視圖，圖16中顯示自升降體63拆下柱塞單元20的狀態(tài)的吐出裝置I的前視圖。例示的拉曳閂(34、64)不需要螺絲起子、扳手等的特別工具，即可進行連結、脫離，因而相當方便。
[0114]閥單元40的拆下，通過將閥單元罩80的爪82與卡止件81的卡合解除而進行。閥單元罩80是對閥單元40的位置進行固定的卡止件。閥單元罩80的與爪82相反側的端部，通過鉸鏈83固定且可轉動。閥單元40通過閥單元支撐機構而抽出自如地被支撐。即，閥單元支撐體84支撐保持構件48的側面凸部59，且通過將銷85插通于設在計量構件41的背面的孔，而抽出自由地支撐閥單元40。通過轉動閥單元罩80而開啟，將計量構件41及閥構件50抽出，從而可拆下閥單元40。圖17中顯示開啟閥單元罩80的狀態(tài)的吐出裝置I的前視圖，圖18中顯示自升降體63拆下閥單元40的狀態(tài)的吐出裝置I的前視圖。
[0115]這樣，吐出裝置I可容易分解構成部件，因而可容易進行清洗、液體材料交換、涂布條件變更、間距變更、拆換、拆除等的維護保養(yǎng)的作業(yè)。
[0116]根據以上說明的吐出裝置1，通過準備多個種類的柱塞單元20及閥單元40，且根據用途進行交換，可變更吐出口的間隔及數量。
[0117]《第2實施方式例》
[0118]第2實施方式例所涉及的吐出裝置I，在具備16個柱塞21的點與第I實施方式例不同，其它的構成相同。以下的說明中，以與第I實施例的不同點為重點進行說明，對與第I實施例相同的構成，省略說明。
[0119]圖19(a)為第2實施方式例所涉及的柱塞保持器31，(b)為第2實施方式例所涉及的閥單元40的分解立體圖。
[0120]如圖19(a)所示，在第2實施方式例中，在柱塞保持器31設置有16個(2行X8列)的大徑孔37。大徑孔37是與圖5及圖6同樣的構成，且柱塞尾部23的肩部25抵接于大徑孔37的底部。
[0121]與圖6同樣地，導入槽35的寬度是較柱塞桿22略寬的寬度。8個導入槽35以相同的間距設置。16個大徑孔37無論是行方向還是列方向均以相同間距設置。
[0122]如圖19(b)所示，在計量構件41設置有16個計量孔42，在閥構件50設置有16個吐出通道51。計量孔42、吐出通道51及大徑孔37的中心的間距均相同。
[0123]第2實施方式例中，閥單元40也具有上述的第I位置及第2位置。再有，當位于第I位置時，凹部55成為覆蓋供給孔出口47及所有的計量孔下部開口44的位置關系，將供給孔出口 47與所有的計量孔42連通，當位于第2位置時，所有的計量孔42經由吐出通道51而與吐出口 53連通。
[0124]如以上所說明的那樣，吐出裝置I可安裝nXm個(其中，η及m均為I以上的整數，且ηXm為3以上)的柱塞21。通過準備具有