一種光刻膠噴膠裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種噴膠系統(tǒng)裝置，特別涉及一種光刻膠噴膠裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體制作中，光刻工藝是最為重要的工藝步驟之一，其主要作用是將掩膜版上的圖形復(fù)制到硅片上，為下一步刻蝕或者離子注入做好工藝準(zhǔn)備。光刻工藝涉及到的主要機臺包括兩個部分:軌道機(Tracker)，用于涂膠顯影的工藝；掃描曝光機(Scanning)或者步進機(Stepper)。光刻膠的涂膠是光刻工藝中尤為重要的工藝步驟之一，光刻膠涂布質(zhì)量的好壞直接會影響到半導(dǎo)體器件的質(zhì)量，因此光刻膠的涂布裝置有著重要的作用。目前的主流的軌道機設(shè)備能滿足光刻工藝所限定于涂膠及顯影的工藝指標(biāo)，完成涂膠及顯影流程的效率也在不斷的優(yōu)化和提高。但從節(jié)省光刻膠使用成本的角度考慮目前也就是RRC(Reduced Resist Consumpt1n，減少光阻浪費)技術(shù)的應(yīng)用，即在光刻涂覆裝置進行娃片噴涂光刻膠前，RRC噴嘴先向硅片表面噴涂一層溶劑進行潤濕，然后光刻膠噴嘴向硅片進行光刻膠噴涂。光刻膠噴嘴在完成噴涂后會進行回抽動作，主要目的是減小殘余光刻膠滴落于硅片表面的風(fēng)險及一定程度減小光刻膠與空氣接觸形成結(jié)晶，但是還是仍然能形成結(jié)晶，因此光刻膠噴嘴在下一次噴膠之前或者間隔一定的時間(例如1800S間隔)，需要先進行一次空噴(dummy)，將光刻膠與空氣接觸形成的結(jié)晶部分光刻膠噴到廢液里扔掉，然后再向硅片噴涂光刻膠。每次涂膠前或者定時的將結(jié)晶的光刻膠噴到廢液里，浪費了資源，并且提高了成本。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型提出了一種光刻膠噴膠裝置，通過在光刻膠噴頭與光刻膠瓶之間設(shè)置用于接收、處理及存儲光刻膠噴頭空噴出的光刻膠的裝置，克服了光刻膠噴頭在不作業(yè)時空噴光刻膠造成資源浪費的問題，同時減少了光刻膠噴頭口殘留的光刻膠與空氣接觸產(chǎn)生結(jié)晶的可能性，將回收的光刻膠進行循環(huán)利用，降低了生產(chǎn)成本。
[0004]為達到上述目的，本實用新型提供一種光刻膠噴膠裝置，包括:接收裝置、過濾裝置、排泡裝置、光刻膠儲存裝置、光刻膠瓶及傳輸管道，所述接收裝置通過所述傳輸管道依次連接所述過濾裝置、所述排泡裝置、所述光刻膠儲存裝置以及所述光刻膠瓶，所述光刻膠瓶通過所述傳輸管道連接有光刻膠噴頭，該光刻膠噴頭插入連接到所述接收裝置里，并以若干時間間隔進行若干次空噴膠動作，噴出的光刻膠被輸送到所述光刻膠瓶后供所述光刻膠噴頭利用；噴膠作業(yè)時所述光刻膠噴頭從所述接收裝置拔出。
[0005]作為優(yōu)選，還包括第一控制閥、第二控制閥、第三控制閥、第四控制閥和第五控制閥，所述第一控制閥位于所述接收裝置與所述過濾裝置之間，所述第二控制閥位于所述過濾裝置與所述排泡裝置之間，所述第三控制閥位于所述排泡裝置與所述光刻膠儲存裝置之間，所述第四控制閥位于所述光刻膠儲存裝置與所述光刻膠瓶之間，所述第五控制閥位于所述光刻膠瓶與所述光刻膠噴頭之間。
[0006]作為優(yōu)選，所述第一控制閥、第二控制閥、第三控制閥、第四控制閥和第五控制閥均與氣源連接，所述氣源為潔凈的惰性氣體。
[0007]作為優(yōu)選，所述接收裝置設(shè)有可開合的開口，所述光刻膠噴頭插入所述接收裝置時，所述開口開啟，所述開口內(nèi)徑小于或者等于所述光刻膠噴頭最大外徑，所述接收裝置與所述光刻膠噴頭形成密閉結(jié)構(gòu)。
[0008]作為優(yōu)選，所述接收裝置內(nèi)設(shè)有快速接頭和壓力控制閥，所述快速接頭一端與所述傳輸管道連通，所述快速接頭另一端在與所述光刻膠噴頭對接時開啟，所述快速接頭內(nèi)徑小于等于所述光刻膠噴頭最大外徑，當(dāng)所述壓力控制閥開啟時，所述快速接頭與所述光刻膠噴頭形成密閉結(jié)構(gòu)。
[0009]作為優(yōu)選，所述接收裝置設(shè)置有漏氣檢測裝置。
[0010]作為優(yōu)選，所述排泡裝置上設(shè)有與外界相通的排氣口。
[0011]作為優(yōu)選，所述傳輸管道由同軸連接的外層塑料管和內(nèi)層塑料管組成，所述內(nèi)層塑料管內(nèi)部傳輸光刻膠，所述外層塑料管與所述內(nèi)層塑料管之間注滿溫控水。
[0012]作為優(yōu)選，所述光刻膠噴頭設(shè)有快速定位裝置，該快速定位裝置引導(dǎo)所述光刻膠噴頭對準(zhǔn)所述接收裝置。
[0013]作為優(yōu)選，所述接收裝置、所述過濾裝置、所述排泡裝置以及所述光刻膠儲存裝置各自設(shè)置壓力栗，用于將各裝置內(nèi)的光刻膠排入下一相鄰裝置內(nèi)。
[0014]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是:本實用新型在光刻膠噴頭與光刻膠瓶之間設(shè)置接收裝置、過濾裝置、排泡裝置及光刻膠儲存裝置，光刻膠噴頭在不進行涂布硅片時插入接收裝置與其形成密閉結(jié)構(gòu)，防止空氣進入，減少了光刻膠噴頭口殘留的光刻膠與空氣接觸產(chǎn)生結(jié)晶的可能性；光刻膠噴頭在接收裝置內(nèi)進行空噴，接收裝置將收集到的光刻膠通過過濾裝置和排泡裝置處理后排入光刻膠儲存裝置，光刻膠瓶將光刻膠儲存裝置中的光刻膠回收后供光刻膠噴頭的再次使用，不僅提高了回收的光刻膠的純凈度，使其更加適用于工業(yè)生產(chǎn)，同時避免了光刻膠的浪費，節(jié)約了生產(chǎn)成本。
【附圖說明】
[0015]圖1為本實用新型提供的光刻膠噴膠裝置示意圖；
[0016]圖2為本實用新型提供的光刻膠噴膠裝置的工作流程示意圖。
[0017]圖中:10_接收裝置、11-接收裝置開口、20-過濾裝置、30-排泡裝置、40-光刻膠儲存裝置、50-光刻膠瓶、60-第一控制閥、70-第二控制閥、80-第三控制閥、90-第四控制閥、100-第五控制閥、110-光刻膠噴頭、120-漏氣檢測裝置、130-三通管、140-傳輸管道。
【具體實施方式】
[0018]為使本實用新型的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對本實用新型的【具體實施方式】做詳細的說明。
[0019]本實用新型提供一種光刻膠噴膠裝置，請參照圖1，依次包括:接收裝置10、過濾裝置20、排泡裝置30、光刻膠儲存裝置40、光刻膠瓶50及傳輸管道140，所述接收裝置10通過所述傳輸管道140依次連接所述過濾裝置20、所述排泡裝置30、所述光刻膠儲存裝置40以及所述光刻膠瓶50，所述光刻膠瓶50通過所述傳輸管道140連接有光刻膠噴頭110，這樣將光刻膠噴頭110、接收裝置10、過濾裝置20、排泡裝置30以及光刻膠儲存裝置40形成循環(huán)回路，所述光刻膠噴頭110插入連接到所述接收裝置10里，并以間隔時間為I?10分鐘進行若干次空噴膠動作，每次噴膠后噴出的光刻膠在接收裝置10內(nèi)，并由接收裝置I排入所述過濾裝置20內(nèi)；噴膠作業(yè)時所述光刻膠噴頭110從所述接收裝置10拔出。這樣使得光刻膠噴頭110內(nèi)殘存的光刻膠不與空氣接觸產(chǎn)生結(jié)晶，并且光刻膠噴頭110空噴出的光刻膠被回收到光刻膠瓶50后可重新被利用。
[0020]請繼續(xù)參照圖1，所述光刻膠噴膠裝置還包括第一控制閥60、第二控制閥70、第三控制閥80、第四控制閥90、第五控制閥100及三通管130，所述光刻膠瓶50通過所述三通管130分別連接所述光刻膠儲存裝置40和所述光刻膠噴頭110，所述接收裝置10與所述過濾裝置20之間設(shè)置有所述第一控制閥60，所述過濾裝置20與所述排泡裝置3