可防止陽極管結(jié)垢的濕式電除塵器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種濕式電除塵器，具體說是可防止陽極管結(jié)垢的濕式電除塵器，主要用于電腦顯示器、手機面板生產(chǎn)過程中氧化硅、酸堿廢液霧滴的捕集處理以及其他化工領(lǐng)域有害氣體排放處理。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著電子信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展和應(yīng)用領(lǐng)域的逐步的擴展，平板顯示產(chǎn)業(yè)得到迅猛發(fā)展，已成為一個市場規(guī)模大、技術(shù)更新快，產(chǎn)業(yè)輻射面廣，推動益效顯著的產(chǎn)業(yè)。同時，觸摸屏產(chǎn)品在近幾年發(fā)展迅速，而金屬氧化物半導(dǎo)體顯示技術(shù)(Oxide TFT)作為下一代新型半導(dǎo)體顯示技術(shù)具有獨特的優(yōu)勢，是未來制備大尺寸背板的主要發(fā)展方向。目前，國內(nèi)主要大型光電企業(yè)基本建成為第8.5代新型半導(dǎo)體顯示器生產(chǎn)線。
[0003]在半導(dǎo)體顯示器生產(chǎn)線中，玻璃基板是主要的生產(chǎn)部件，玻璃基板生產(chǎn)中要使用酸、堿、硅烷等輔助原料，由此會產(chǎn)生一定的有毒廢氣。酸堿廢氣一般都是采用填料型洗滌塔對其進行循環(huán)噴淋中和處理，但硅烷在燃燒過程中產(chǎn)生的粉塵，主要是氧化硅(Si02)容易在洗滌塔中結(jié)晶，堵塞洗滌塔中的填料，造成填料表面更新緩慢，從而影響廢氣處理效率，導(dǎo)致污染環(huán)境。所以，在廢氣進入洗滌塔前必須先進行除塵處理。而半導(dǎo)體顯示器生產(chǎn)中產(chǎn)生的有毒氣體一般排出的溫度在25°C — 30°C，無法采用干式電收塵器，而只能利用Si02易溶于水這一特性采用濕式電除塵器。濕式電除塵器可先將廢氣進行洗滌，然后再利用陽極管與陰極線之間的電場作用，使得Si02向陽極管內(nèi)壁移動，并在陽極管內(nèi)壁表面結(jié)晶，從而減少濕式電除塵器排出氣體中氧化硅的含量。這種濕式電除塵器在使用一段時間后，由于氧化硅結(jié)晶的不斷積累，其陽極管內(nèi)壁會產(chǎn)生結(jié)垢?，F(xiàn)有技術(shù)中去除這種結(jié)垢的方式是，在濕式電除塵器的殼體內(nèi)腔頂部(即陽極管上方的出氣室內(nèi))設(shè)置噴淋管，定期向下方的陽極管噴水，利用氧化硅易溶于水的特性對陽極管結(jié)垢進行清理。但是，由于濕式電除塵器在運行時，陽極管與陰極線間存在電場，如果有大量的水經(jīng)過，很容易造成短路，損壞設(shè)備。因此，這種方式只能在濕式電除塵器停運時進行。同時，由于長期積累的結(jié)垢厚度和面積往往都較大，采用這種方式很難將其完全清除，而陽極管壁殘留的結(jié)垢又會影響陽極管與陰極管間的電場效應(yīng)，造成設(shè)備除塵效率的降低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明要解決的問題是提供一種可防止陽極管結(jié)垢的濕式電除塵器，采用該濕式電除塵器，可實時清除陽極管內(nèi)壁的結(jié)晶，不會造成結(jié)垢出現(xiàn)，確保設(shè)備的除塵效率不受影響。
[0005]為解決上述問題，采取以下技術(shù)方案:
本發(fā)明的可防止陽極管結(jié)垢的濕式電除塵器包括殼體，殼體內(nèi)自下而上依次設(shè)置有進氣室、氣體分布室、陽極室和出氣室。所述進氣室的側(cè)壁有進氣口。所述氣體分布室內(nèi)有呈水平布置的氣體分布板，氣體分布板上有多個通氣孔。所述陽極室內(nèi)均布有呈豎向布置的陽極管，陽極室的頂部有上框架，上框架上均勻的懸掛有陰極線，陰極線與陽極管一一對應(yīng)，且陰極線均位于陽極管的中心位置，陰極線的下端從陽極管下端伸出且其上均連接有重錘。所述出氣室頂部有出氣口，出氣室內(nèi)有第一噴淋管，第一噴淋管下側(cè)均布有噴頭。所述殼體上表面沿周向均布有絕緣箱。其特點是所述進氣室底部有集液箱，該集液箱連接有第一循環(huán)栗和第二循環(huán)栗。所述進氣室頂部有第二噴淋管，第二噴淋管下側(cè)均布有噴頭，第二噴淋管通過管道與第一循環(huán)栗相連。所述陽極室內(nèi)有呈水平布置的上承水板和下承水板，它們的四周均與陽極室內(nèi)壁呈密封連接，上承水板和下承水板上均有與陽極管對應(yīng)的通孔。所述上承水板位于陽極管上端的下方，且上承水板的通孔與陽極管的外壁呈密封配合。所述下承水板位于陽極管下端的上方，且下承水板的通孔與陽極管的外壁呈密封配合。所述上承水板的上表面有溢流管，溢流管通過管道與第二循環(huán)栗相連。所述陽極管下端的內(nèi)側(cè)有環(huán)形的集水槽，集水槽的槽沿下方對應(yīng)的陽極管管壁上有出水口，該出水口位于所述下承水板的上方。所述殼體上有出水管，該出水管位于下承水板的上方，且低于陽極管的出水口，出水管通過管道與所述集液箱的內(nèi)腔相連通。
[0006]本發(fā)明的進一步改進方案是所述陽極管的上端有陽極副管，陽極副管的大小與陽極管相同，且兩者呈同心布置。所述陽極副管的下端與陽極管的上端間通過不少于三個的支點呈一體連接，使得陽極副管與陽極管間形成溢流所需的環(huán)縫。設(shè)備在運行時，需要利用風(fēng)機在末端(即出氣口)抽氣，使得有毒廢氣能夠順利進入殼體內(nèi)。在運行初期，由于風(fēng)機的抽風(fēng)量很大，上承水板上的水受到風(fēng)機吸力的作用會沿陽極管外壁上行，上行的水很容易從陽極管上端漸入陰極線與陽極管間的電場內(nèi)，控制不好就會出現(xiàn)短路現(xiàn)象。因此，加入陽極副管后，其與陽極管上端間形成了環(huán)縫，而水在張力的作用下只能通過環(huán)縫溢流到陽極管內(nèi)，并沿陽極管內(nèi)壁流下，不會出現(xiàn)液體飛濺的現(xiàn)象。同時，環(huán)縫內(nèi)有水溢流，使得上行水還來不及到達陽極副管上端時，就通過環(huán)縫排走，陽極副管上端也就不會有液體飛濺。采用該結(jié)構(gòu)，可完全避免設(shè)備運行初期或風(fēng)量突然增大時可能出現(xiàn)的電場短路，確保設(shè)備正常運行。
[0007]本發(fā)明的進一步改進方案是所述溢流管位于上承水板一側(cè)的中部，溢流管的出口處連接有緩沖槽，該緩沖槽位于上承水板上。所述緩沖槽沿溢流管出口延伸方向的兩側(cè)板上交錯分布有緩沖板，緩沖槽遠離溢流管出口的一端有端板，端板的高度小于兩側(cè)板及緩沖板的高度。所述緩沖槽的外側(cè)有分流槽，緩沖槽內(nèi)的液體可從端板處溢流到分流槽內(nèi)。所述分流槽的兩個側(cè)板底部均布有分流孔。在上承水板上設(shè)置緩沖槽，利用交錯分布的緩沖板可緩解溢流管出口處水流的沖擊，再通過緩沖槽外側(cè)的分流槽將溢流液均勻的分布到上承水板上。該結(jié)構(gòu)可避免上承水板上溢流液的飛濺或波浪，同樣可避免短路現(xiàn)象的發(fā)生。
[0008]本發(fā)明的進一步改進方案是所述絕緣箱內(nèi)均有呈豎向布置的絕緣柱，該絕緣柱由陶瓷材料制成，其下端穿過絕緣箱的底板伸入到所述殼體內(nèi)，且絕緣柱與絕緣箱底板間呈固定連接。所述上框架包括不少于兩根陰極主梁，絕緣柱的下端均連接有陰極吊桿，所述絕緣箱兩兩呈一組通過陰極吊桿與一根陰極主梁相連，使得陰極主梁均呈水平平行布置。所述陰極主梁間沿縱向均布有陰極副梁，所述陰極線懸掛在陰極副梁上。所述殼體上方有高壓發(fā)生器，高壓發(fā)生器通過導(dǎo)線與其中一個絕緣箱的絕緣柱相連。采用絕緣箱、絕緣柱、陰極吊桿、陰極主梁和陰極副梁的結(jié)構(gòu)來懸掛陰極線，其結(jié)構(gòu)較為簡單，占用空間小，可減小設(shè)備的整體體積。
[0009]本發(fā)明的進一步改進方案是所述陽極室的下部有下框架，下框架上均布有重錘孔，所述重錘與重錘孔一一對應(yīng)，且重錘均位于對應(yīng)的重錘孔內(nèi)。采用下框架來承托重錘，可避免在氣流通過時造成陰極線和重錘的偏移。
[0010]本發(fā)明的進一步改進方案是所述氣體分布板上通氣孔的口徑自氣體分布板的中心至外周逐漸變大。所述氣體分布室上端的內(nèi)徑大于下端的內(nèi)徑，所述氣體分布板位于氣體分布室的上端，氣體分布室的下部有導(dǎo)流板。利用導(dǎo)流板和氣體分布板來導(dǎo)流、分流，可以確保陽極室內(nèi)中心和四周的氣流分布均勻。
[0011]其中，所述絕緣箱采用玻璃鋼或Q235普通碳素結(jié)構(gòu)鋼制成。所述進氣室、氣體分布室、陽極室和出氣室均采用導(dǎo)電玻璃鋼制成。
[0012]采取上述方案，具有以下優(yōu)點:
由于本發(fā)明的可防止陽極管結(jié)垢的濕式電除塵器在進氣室底部有集液箱，該集液箱連接有第一循環(huán)栗和第二循環(huán)栗;進氣室頂部有第二噴淋管，第二噴淋管下側(cè)均布有噴頭，第二