本發(fā)明涉及硅晶片切割工藝中使用的切割液,屬于多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

線切割液主要用在數(shù)控線切割機床，機加工機床一般都需要工作液，線切割機床一般指快走絲線切割機床所用的工作液叫做線切割液。線切割液一般具有良好的冷卻、潤滑、清洗和防銹的功能，還具有其他的特殊性能：有一定的電介強度、去游離、滅弧、防止斷絲和使用壽命長、安全無毒等。用合適的線切割液可獲得理想的加工光潔度和加工效率，并能延長機床的使用壽命。

市場上主要有三大類產(chǎn)品供用戶選擇：即油劑型、水基型及水油混合型。

雖然眾多的產(chǎn)品使得用戶在選用中游刃有余。但是，在調(diào)查中發(fā)現(xiàn)有相當一部分使用者對線切割機床工作液的加工性能及操作工藝性能還不甚了解；對在相同條件下如何利用相應(yīng)的工作液，使加工件獲得更好的內(nèi)在質(zhì)量，還缺乏足夠地認識；特別是對線切割機床電火花放電技術(shù)中作為液體介質(zhì)的工作液，在保障線切割加工穩(wěn)定，提高切割速度，加工精度及加工件的粗糙度，降低鉬絲損耗方面的功效認識不足。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

發(fā)明目的：為了克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，本發(fā)明提供一種水溶性線切割液。

技術(shù)方案：為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案：

一種水溶性線切割液，其特征在于：由以下重量份的原料組成：

去離子水 500-800份；

氫氧化鉀 20-30份；

阻聚劑 100-150份；

三乙醇胺 8-15份；

殺菌劑 10-30份；

防銹劑 10-20份；

ph調(diào)節(jié)劑 5-10份。

作為優(yōu)選方案，一種水溶性線切割液，由以下重量份的原料組成：

去離子水 650-700份；

氫氧化鉀 25-28份；

阻聚劑 120-130份；

三乙醇胺 10-12份；

殺菌劑 15-20份；

防銹劑 12-150份；

ph調(diào)節(jié)劑 8-10份。

所述阻聚劑為對苯二酚。

所述殺菌劑為碘代丙炔基氨基甲酸丁酯。

所述防銹劑為三元酸。

所述ph調(diào)節(jié)劑為單乙醇胺。

有益效果：本發(fā)明提供的水溶性線切割液聚源優(yōu)良的防銹性能，具有良好的可見性，特、環(huán)保配方：不含對人體有害成份，對皮膚無刺激性，對操作者友好；良好的冷卻性和清洗性，保持機床和工件的清潔，減少粘性物殘留。

具體實施方式

實施例1

一種水溶性線切割液，組成為：去離子水500g；氫氧化鉀30g；阻聚劑120g；三乙醇胺10g；殺菌劑30g；防銹劑10g；ph調(diào)節(jié)劑10g。

其中，阻聚劑為對苯二酚；殺菌劑為碘代丙炔基氨基甲酸丁酯；防銹劑為三元酸；ph調(diào)節(jié)劑為單乙醇胺。

實施例2

一種水溶性線切割液，組成為：去離子水800g；氫氧化鉀20g；阻聚劑150g；三乙醇胺15g；殺菌劑30g；防銹劑15g；ph調(diào)節(jié)劑5g。

其中，阻聚劑為對苯二酚；殺菌劑為碘代丙炔基氨基甲酸丁酯；防銹劑為三元酸；ph調(diào)節(jié)劑為單乙醇胺。

實施例3

一種水溶性線切割液，組成為：去離子水600g；氫氧化鉀25g；阻聚劑100g；三乙醇胺8g；殺菌劑20g；防銹劑20g；ph調(diào)節(jié)劑8g。

其中，阻聚劑為對苯二酚；殺菌劑為碘代丙炔基氨基甲酸丁酯；防銹劑為三元酸；ph調(diào)節(jié)劑為單乙醇胺。

以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，應(yīng)當指出：對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護范圍。