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      一種斯特林電機(jī)的惰性氣體輸出裝置的制作方法

      文檔序號(hào):11721712閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

      技術(shù)特征:

      1.一種斯特林電機(jī)的惰性氣體輸出裝置,包括惰性氣源以及輸出管路,所述輸出管路包括一輸入口和一輸出口,所述輸入口連接所述惰性氣源,所述輸出口用于連接斯特林電機(jī)的內(nèi)腔,其特征在于,

      所述輸入口設(shè)置有第一控制閥;

      還包括一抽氣支路,所述抽氣支路的一端與輸出管路連通并在所述輸入口和所述輸出口之間形成一連接處;所述抽氣支路的另一端連接于一抽真空設(shè)備,所述抽氣支路上設(shè)置有第二控制閥。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種斯特林電機(jī)的惰性氣體輸出裝置,其特征在于,所述惰性氣源包括第一惰性氣源和第二惰性氣源,所述第一惰性氣源和第二惰性氣源分別連接所述輸入口,所述第一惰性氣源的純度大于所述第二惰性氣源。

      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種斯特林電機(jī)的惰性氣體輸出裝置,其特征在于,所述惰性氣源為氦氣瓶。

      4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種斯特林電機(jī)的惰性氣體輸出裝置,其特征在于,所述第一控制閥設(shè)置為氣體調(diào)節(jié)閥。

      5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種斯特林電機(jī)的惰性氣體輸出裝置,其特征在于,所述抽真空設(shè)備包括分子真空泵。

      6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種斯特林電機(jī)的惰性氣體輸出裝置,其特征在于,所述抽真空設(shè)備還包括機(jī)械真空泵。

      7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種斯特林電機(jī)的惰性氣體輸出裝置,其特征在于,所述輸出口設(shè)置有第三控制閥。

      8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種斯特林電機(jī)的惰性氣體輸出裝置,其特征在于,所述輸出管路上還設(shè)置有氣壓表。

      9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種斯特林電機(jī)的惰性氣體輸出裝置,其特征在于,所述機(jī)械真空泵的進(jìn)氣口連接于所述分子真空泵的出氣口。

      10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種斯特林電機(jī)的惰性氣體輸出裝置,其特征在于,所述第一惰性氣源與輸入口之間以及所述第二惰性氣源與輸入口之間分別設(shè)置有進(jìn)氣控制閥。

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