技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種采用硅微加工工藝制作的微并聯(lián)五桿機(jī)構(gòu)，由可以兩兩組成V梁型電熱硅微致動(dòng)器的硅微活動(dòng)桿件(1)、(2)、(3)和(4)，以及柔性鉸鏈(5)、錨點(diǎn)(6)、讀數(shù)裝置(7)組成。讀數(shù)裝置(7)用于硅微并聯(lián)五桿機(jī)構(gòu)不同位置的微位移的測(cè)量，錨點(diǎn)(6)用于外界控制電壓的輸入以及為活動(dòng)構(gòu)件提供支撐作用，各構(gòu)件之間采用柔性鉸鏈(5)連接，可以使運(yùn)動(dòng)傳遞時(shí)機(jī)構(gòu)具有很好的靈活性。為了實(shí)現(xiàn)硅微并聯(lián)五桿機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)，當(dāng)在錨點(diǎn)(6)之間施加驅(qū)動(dòng)電壓時(shí)，由活動(dòng)構(gòu)件組成的各V型電熱硅微致動(dòng)器之間產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)，從而使得該機(jī)構(gòu)具有確定的運(yùn)動(dòng)形式。

技術(shù)研發(fā)人員：張永宇;沈雪瑾;白曉麗;徐雪萌;張映霞;唐靜靜
受保護(hù)的技術(shù)使用者：河南工業(yè)大學(xué)
文檔號(hào)碼：201310244182
技術(shù)研發(fā)日：2013.06.20
技術(shù)公布日：2017.02.08