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      微機(jī)電裝置和電子裝置的制作方法

      文檔序號(hào):40319517發(fā)布日期:2024-12-18 12:56閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

      技術(shù)特征:

      1.一種微機(jī)電裝置,其特征在于,包括:

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電裝置,其特征在于,包括錨定件和連接元件,所述錨定件被固定到所述支撐體,所述連接元件將所述止動(dòng)件元件連接到相應(yīng)的所述錨定件。

      3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的微機(jī)電裝置,其特征在于,所述連接元件被配置為在操作中允許所述止動(dòng)件元件圍繞相應(yīng)的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn),所述旋轉(zhuǎn)軸垂直于所述可移動(dòng)質(zhì)量塊的所述移動(dòng)的所述至少一個(gè)運(yùn)動(dòng)方向。

      4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的微機(jī)電裝置,其特征在于,所述止動(dòng)件元件被布置在所述可移動(dòng)質(zhì)量塊周圍,并且所述止動(dòng)件元件被耦合到所述可移動(dòng)質(zhì)量塊,使得所述止動(dòng)件元件協(xié)作以通過(guò)響應(yīng)于所述可移動(dòng)質(zhì)量塊沿著所述至少一個(gè)運(yùn)動(dòng)方向的移動(dòng)而在相應(yīng)的相反方向上旋轉(zhuǎn)來(lái)夾緊到所述可移動(dòng)質(zhì)量塊上。

      5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的微機(jī)電裝置,其特征在于,包括耦合元件,所述耦合元件被約束到所述可移動(dòng)質(zhì)量塊,并且所述耦合元件被配置為在操作中由于所述可移動(dòng)質(zhì)量塊沿著所述至少一個(gè)運(yùn)動(dòng)方向的所述移動(dòng)而操作所述止動(dòng)件元件。

      6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的微機(jī)電裝置,其特征在于,所述耦合元件被固定到所述可移動(dòng)質(zhì)量塊和所述止動(dòng)件元件,并且其中所述錨定件、所述連接元件以及所述耦合元件被配置為使所述可移動(dòng)質(zhì)量塊相對(duì)于所述支撐體保持懸掛。

      7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的微機(jī)電裝置,其特征在于,包括另外的連接元件以及另外的錨定件,其中所述可移動(dòng)質(zhì)量塊通過(guò)所述另外的連接元件以及通過(guò)所述另外的錨定件相對(duì)于所述支撐體被保持懸掛,所述另外的連接元件被成形為允許所述可移動(dòng)質(zhì)量塊根據(jù)所述可移動(dòng)質(zhì)量塊的所述至少一個(gè)運(yùn)動(dòng)方向的所述移動(dòng)。

      8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的微機(jī)電裝置,其特征在于,所述耦合元件包括撓曲件。

      9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的微機(jī)電裝置,其特征在于,所述耦合元件包括剛性材料的突出部,所述突出部由所述可移動(dòng)質(zhì)量塊承載。

      10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的微機(jī)電裝置,其特征在于,所述止動(dòng)件元件包括相應(yīng)的傳動(dòng)臂,所述傳動(dòng)臂借助于相應(yīng)的所述耦合元件而耦合到所述可移動(dòng)質(zhì)量塊,并且相應(yīng)的所述傳動(dòng)臂被配置為在操作中響應(yīng)于所述可移動(dòng)質(zhì)量塊沿著所述至少一個(gè)運(yùn)動(dòng)方向的所述移動(dòng)而引起所述止動(dòng)件元件圍繞相應(yīng)的旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)。

      11.根據(jù)權(quán)利要求5所述的微機(jī)電裝置,其特征在于,所述止動(dòng)件元件包括止動(dòng)件臂,所述止動(dòng)件臂具有端部,所述止動(dòng)件臂被配置為在操作中在所述可移動(dòng)質(zhì)量塊到達(dá)所述位置的所述范圍的相應(yīng)的所述端點(diǎn)時(shí)夾緊到所述可移動(dòng)質(zhì)量塊上。

      12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的微機(jī)電裝置,其特征在于,所述止動(dòng)件臂的所述端部被圖案化為在所述可移動(dòng)質(zhì)量塊到達(dá)所述位置的所述范圍的相應(yīng)的所述端點(diǎn)時(shí)接合所述可移動(dòng)質(zhì)量塊的側(cè)上的相應(yīng)的座。

      13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的微機(jī)電裝置,其特征在于,所述止動(dòng)件元件中的每個(gè)相應(yīng)的止動(dòng)件元件包括傳動(dòng)臂和止動(dòng)件臂,所述傳動(dòng)臂面向所述可移動(dòng)質(zhì)量塊的第一側(cè),所述止動(dòng)件臂面向所述可移動(dòng)質(zhì)量塊的第二側(cè),所述第二側(cè)橫向于所述可移動(dòng)質(zhì)量塊的所述第一側(cè)。

      14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的微機(jī)電裝置,其特征在于,所述止動(dòng)件中的每個(gè)相應(yīng)的止動(dòng)件元件包括傳動(dòng)臂和止動(dòng)件臂,所述傳動(dòng)臂面向所述可移動(dòng)質(zhì)量塊的一側(cè),所述止動(dòng)件臂面向所述可移動(dòng)質(zhì)量塊的所述側(cè)。

      15.一種電子裝置,其特征在于,包括:

      16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的電子裝置,其特征在于,所述第一運(yùn)動(dòng)方向與所述第二運(yùn)動(dòng)方向相反。

      17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的電子裝置,其特征在于,

      18.一種電子裝置,其特征在于,包括:

      19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的電子裝置,其特征在于,包括:

      20.根據(jù)權(quán)利要求18所述的電子裝置,其特征在于,


      技術(shù)總結(jié)
      本公開的實(shí)施例涉及微機(jī)電裝置和電子裝置。微機(jī)電裝置包括支撐體和可移動(dòng)質(zhì)量塊,支撐體包含半導(dǎo)體材料,可移動(dòng)質(zhì)量塊在可容許位置的范圍內(nèi)以相對(duì)于至少一個(gè)運(yùn)動(dòng)方向的相對(duì)的自由度被約束到支撐體。該裝置還包括止動(dòng)件元件,該止動(dòng)件元件可由于沿著至少一個(gè)運(yùn)動(dòng)方向的移動(dòng)而被可移動(dòng)質(zhì)量塊操作,并且被配置為在可移動(dòng)質(zhì)量塊到達(dá)可容許位置的范圍的相應(yīng)的端點(diǎn)時(shí),橫向于至少一個(gè)運(yùn)動(dòng)方向向可移動(dòng)質(zhì)量塊的相對(duì)的側(cè)施加止動(dòng)力,以防止可移動(dòng)質(zhì)量塊超過(guò)相應(yīng)的端點(diǎn)。

      技術(shù)研發(fā)人員:P·卡魯里,P·費(fèi)德利,L·G·法羅尼,F·莫雷利
      受保護(hù)的技術(shù)使用者:意法半導(dǎo)體國(guó)際公司
      技術(shù)研發(fā)日:20240325
      技術(shù)公布日:2024/12/17
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