0b。其中，固定座150b設(shè)置于基板上(圖未示)，因此可視為一固定點(diǎn)。進(jìn)一步來說，在實(shí)際運(yùn)作時(shí)，框架130b先沿著X軸向產(chǎn)生來回的位移運(yùn)動，使得質(zhì)量塊10b也一并沿著X軸向產(chǎn)生來回的位移運(yùn)動。當(dāng)微機(jī)電裝置1b感測到Y(jié)軸角速度時(shí)，質(zhì)量塊10b將以軸線L為旋轉(zhuǎn)軸產(chǎn)生反復(fù)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動。此時(shí)，偵測微機(jī)電裝置1b的質(zhì)量塊10b與基板(圖未示)上的固定電極(圖未示)間的電容值的改變，即可計(jì)算出角速度。
[0115]傳統(tǒng)Y軸角速度計(jì)的質(zhì)量塊通過梁的扭轉(zhuǎn)而產(chǎn)生反復(fù)的轉(zhuǎn)動。本實(shí)施例的質(zhì)量塊10b通過折疊彈簧IlOb的伸縮變形而產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)運(yùn)動。因此，在本實(shí)施例中，折疊彈簧IlOb以及彈簧140b的剛性都趨近于與其本身的寬度的一次方成正比。如此一來，如圖9D所示，在各種不同彈簧寬度的制作工藝變異下，框架130b位移運(yùn)動的共振頻率(實(shí)線)仍能夠趨近于質(zhì)量塊10b的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的共振頻率(虛線)。如此，當(dāng)微機(jī)電裝置1b感測到Y(jié)軸角速度時(shí)，質(zhì)量塊10b會有最大的旋轉(zhuǎn)量，進(jìn)而提高Y軸角速度計(jì)的靈敏度。
[0116]請接著參照圖1OA與圖10B，圖1OA為本發(fā)明另一實(shí)施例的微機(jī)電裝置的結(jié)構(gòu)上視圖，圖1OB為本發(fā)明另一實(shí)施例的微機(jī)電裝置的折疊彈簧與限制元件的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖。
[0117]本發(fā)明所公開的微機(jī)電裝置1c是以運(yùn)用于一 Y軸角速度計(jì)為例，其用于偵測一Y軸角速度。微機(jī)電裝置1C包含一旋轉(zhuǎn)元件(在本實(shí)施例中為一質(zhì)量塊100c)、至少一限制元件(在本實(shí)施例中為一支架120c)、多個(gè)折疊彈簧110c、一振蕩元件(在本實(shí)施例中為一框架130c)、多個(gè)彈簧140c及多個(gè)固定座150c。
[0118]質(zhì)量塊10c可依一軸線L進(jìn)行轉(zhuǎn)動。
[0119]支架120c的數(shù)量為四，且質(zhì)量塊10c的相對兩側(cè)分別設(shè)置二個(gè)支架120c。
[0120]本實(shí)施例的折疊彈簧IlOc的數(shù)量是以四個(gè)為例，且這些折疊彈簧IlOc是兩個(gè)為一組，且同一組的這兩個(gè)折疊彈簧IlOc是以軸線L為中心線而對稱配置。進(jìn)一步來說，本實(shí)施例的這些折疊彈簧IlOc為線對稱配置。每一折疊彈簧IlOc具有一移動端112c及一固定端114c。移動端112c連接質(zhì)量塊100c，固定端114c連接支架120c，且每一支架120c對應(yīng)連接一個(gè)折疊彈簧IlOc的固定端114c。換言之，在本實(shí)施例中，限制元件120c通過折疊彈簧IlOc而連接至旋轉(zhuǎn)元件。其中，每一折疊彈簧IlOc的移動端112c及固定端114c都不位于軸線L上。
[0121]如圖1OA所示，由于移動端112c與固定端114c不位于軸線L上，因此可定義移動端112c至軸線L的距離為一移動距離dm，定義固定端114c至軸線L的距離為一固定距離df,定義移動端112c至固定端114c的距離為一彈簧長度ds。在本實(shí)施例中，固定距離df大于移動距離dm，且彈簧長度ds小于固定距離df。如圖1OA所示折疊彈簧IlOc的配置方式，彈簧長度ds會因質(zhì)量塊10c的轉(zhuǎn)動而改變。進(jìn)一步來說，本實(shí)施例的微機(jī)電裝置1c的作動型態(tài)為前述圖6所示的第四型態(tài)。
[0122]詳細(xì)來說，本實(shí)施例每一折疊彈簧IlOc包含依序相連的多個(gè)延展部1100c、1101c、1102c、1103c。這些延展部1100c、1101c、1102c、1103c的延伸方向平行于軸線L。其中，上述的延伸方向是指延展部1100c、1101c、1102c、1103c的長邊所延伸的方向(即圖示中的Y方向)。并且，支架120c的寬度Wr大于每一延展部1100c、1101c、1102c、1103c的寬度Ws。此外，在本實(shí)施例中，這些延展部1101c、1102c、1103c的長度(即Y方向的尺寸)都不相同，這些延展部1101c、1102c、1103c的長度是朝遠(yuǎn)離軸線L的方向遞增。進(jìn)一步來說，延展部IlOlc的長度小于延展部1102c的長度，而延展部1102c的長度又小于延展部1103c的長度。需注意的是，上述延展部的長度都不相同的特征非用以限定本發(fā)明。舉例來說，在其他實(shí)施例當(dāng)中，延展部1101c、1102c、1103c的長度也可以至少二個(gè)是相同的。
[0123]本實(shí)施例的框架130c為矩形框，但框架130c的外型非用以限定本實(shí)施例。每一支架120c連接于框架130c的環(huán)型內(nèi)側(cè)，使得這些支架120c、這些折疊彈簧IlOc及質(zhì)量塊10c被框架130c所環(huán)繞。并且，支架120c的一端連接至框架130c，而支架120c的另一端與折疊彈簧IlOc的固定端114c連結(jié)。
[0124]此外，框架130c還通過四個(gè)彈簧140c而連接于四個(gè)固定座150c。其中，固定座150c設(shè)置于基板上(圖未示)。進(jìn)一步來說，在實(shí)際運(yùn)作上，使框架130c沿著X軸向產(chǎn)生來回的位移運(yùn)動，使得質(zhì)量塊10c也一并沿著X軸向而產(chǎn)生來回的位移運(yùn)動。當(dāng)微機(jī)電裝置1c于Y軸向具有角速度時(shí)，質(zhì)量塊10c將以軸線L為旋轉(zhuǎn)軸而產(chǎn)生反復(fù)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動。此時(shí)，偵測微機(jī)電裝置1c的質(zhì)量塊10c與基板(圖未示)上的固定電極(圖未示)間的電容值的改變，即可計(jì)算出角速度。
[0125]請接著參照圖1lA與圖11B，圖1lA為本發(fā)明另一實(shí)施例的微機(jī)電裝置的結(jié)構(gòu)上視圖，圖1lB為本發(fā)明另一實(shí)施例的微機(jī)電裝置的折疊彈簧與限制元件的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖。
[0126]本發(fā)明所公開的微機(jī)電裝置1d是以運(yùn)用于一 Y軸角速度計(jì)為例，其用于偵測一Y軸角速度。微機(jī)電裝置1d包含一旋轉(zhuǎn)元件(在本實(shí)施例中為一質(zhì)量塊10d)、至少一限制元件(在本實(shí)施例中為一支架120d)、多個(gè)折疊彈簧110d、一振蕩元件(在本實(shí)施例中為一框架130d)、多個(gè)彈簧140d及多個(gè)固定座150d。
[0127]質(zhì)量塊10d可依一軸線L進(jìn)行轉(zhuǎn)動。
[0128]支架120d的數(shù)量為二，且分別設(shè)置于質(zhì)量塊10d的相對兩側(cè)。
[0129]本實(shí)施例的折疊彈簧IlOd的數(shù)量是以二個(gè)為例，且這二個(gè)折疊彈簧IlOd是以軸線L與質(zhì)量塊的X軸向的中心線L’的交點(diǎn)P為中心點(diǎn)而對稱配置。進(jìn)一步來說，本實(shí)施例的這二個(gè)折疊彈簧IlOd為點(diǎn)對稱配置。每一折疊彈簧IlOd具有一移動端112d及一固定端114d。移動端112d連接質(zhì)量塊100d，固定端114d連接支架120d，且每一支架120d對應(yīng)連接一個(gè)折疊彈簧IlOd的固定端114d。換言之,在本實(shí)施例中，限制元件120d通過折疊彈簧IlOd而連接至旋轉(zhuǎn)元件。此外，每一折疊彈簧IlOd的移動端112d及固定端114d都不位于軸線L上。
[0130]如圖1lA所示，由于移動端112d與固定端114d不位于軸線L上，因此可定義移動端112d至軸線L的距離為一移動距離dm，定義固定端114d至軸線L的距離為一固定距離df，定義移動端112d至固定端114d的距離為一彈簧長度ds。在本實(shí)施例中，固定距離df等于移動距離dm。如圖1lA所示折疊彈簧的配置方式，彈簧長度會因質(zhì)量塊10d的轉(zhuǎn)動而改變。進(jìn)一步來說，本實(shí)施例的微機(jī)電裝置1c的作動型態(tài)為前述圖5所示的第三型態(tài)。
[0131]詳細(xì)來說，本實(shí)施例每一折疊彈簧IlOd包含依序相連的多個(gè)延展部llOOd、1101d、1102d、1103d。這些延展部IlOOcUIlOlcU 1102d、1103d的延伸方向平行于軸線L。其中，上述的延伸方向是指延展部1100d、1101d、1102d、1103d的長邊所延伸的方向(即圖示中的Y軸方向)。并且，支架120d的寬度Wr大于每一延展部1100d、1101d、1102d、1103d的寬度Ws。此外，在本實(shí)施例中，延展部1101d、1102d、1103d的長度(即Y方向的尺寸)都不相同。這些延展部1101d、1102d、1103d的長度朝接近支架120d的方向遞增。進(jìn)一步來說，延展部IlOld的長度小于延展部1102d的長度，而延展部1102d的長度又小于延展部1103d的長度。需注意的是，上述延展部的長度都不相同的特征非用以限定本發(fā)明。舉例來說，在其他實(shí)施例當(dāng)中，延展部I1lcU 1102d、1103d的長度也可以至少二個(gè)是相同的。
[0132]本實(shí)施例的框架130d為矩形框，但框架130d的外型非用以限定本實(shí)施例。每一支架120d連接至框架130d的環(huán)型內(nèi)側(cè)緣，使得這些支架120d、這些折疊彈簧IlOd及質(zhì)量塊10d被框架130c所環(huán)繞。并且，本實(shí)施例的支架120d其一端連接于至框架130d，而其另一端連結(jié)折疊彈簧IlOd的固定端114d。
[0133]此外，框架130d還通過四個(gè)彈簧140d而連接于四個(gè)固定座150d。進(jìn)一步來說，在實(shí)際運(yùn)作上，使框架130d沿著X軸向產(chǎn)生來回的位移運(yùn)動，使得質(zhì)量塊10d也一并沿著X軸向產(chǎn)生來的回位移運(yùn)動。當(dāng)微機(jī)電裝置1d感測到Y(jié)軸向具有角速度時(shí)，質(zhì)量塊10d將以軸線L為旋轉(zhuǎn)軸而產(chǎn)生反復(fù)的旋轉(zhuǎn)。此時(shí)，偵測微機(jī)電裝置1d的質(zhì)量塊10d與基板(圖未示)上的固定電極(圖未示)間的電容值的改變，即可計(jì)算出角速度。
[0134]請接著參照圖12，圖12為本發(fā)明另一實(shí)施例的微機(jī)電裝置的結(jié)構(gòu)上視圖。
[0135]本發(fā)明所公開的微機(jī)電裝置1e是以運(yùn)用于一差分式X軸角速度計(jì)(differential Y-axis gyroscope)為例,其適用于偵測一 X軸角速度。當(dāng)軸產(chǎn)生角速度時(shí)，微機(jī)電裝置10的二個(gè)質(zhì)量塊10e會產(chǎn)生方向相反的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，因此具有低噪聲干擾的優(yōu)點(diǎn)。微機(jī)電裝置1e包含至少二個(gè)旋轉(zhuǎn)元件(在本實(shí)施例中為二個(gè)質(zhì)量塊10e)、至少一限制元件(在本實(shí)施例為一支架120e)、多個(gè)折疊彈簧IlOe及一振蕩元件(在本實(shí)施例中為一框架130e)。
[0136]本實(shí)施例的質(zhì)量塊10e的數(shù)量是以二為例，且各別依二軸線L1、L2進(jìn)行轉(zhuǎn)動。
[0137]支架120e的數(shù)量為二，且分別設(shè)置于二質(zhì)量塊10a的相對兩側(cè)。支架120e分別具有一主支架1202e及二個(gè)延伸支架1201e。
[0138]本實(shí)施例的折疊彈簧IlOe的數(shù)量是以八個(gè)為例，且這些折疊彈簧IlOe是兩個(gè)為一組，且同一組的這兩個(gè)折疊彈簧IlOe是以軸線LI或L2為中心線而對稱配置。進(jìn)一步來說，本實(shí)施例的這些折置彈黃IlOe為線對稱配直。每一折置彈黃IlOe具有一移動端112e及一固定端114e。移動端112e連接質(zhì)量塊100e，固定端114e連接支架120e。換言之，在本實(shí)施例中，限制元件120e通過折疊彈簧IlOe而連接至旋轉(zhuǎn)元件。其中，每一折疊彈簧IlOe的移動端112e及固定端114e都不位于二軸線L1、L2上。
[0139]如圖12所示，由于移動端112e與固定端114e不位于相對應(yīng)的軸線LI或L2上，因此可定義折疊彈簧IlOe的移動端112e至相對應(yīng)的軸線LI或L2的距離為一移動距離dm，定義固定端114e至相對應(yīng)的軸線LI或L2的距離為一固定距離df，定義移動端112e至固定端114e的距離為一彈簧長度ds。在本實(shí)施例中，固定距離df小于移動距離dm，且彈簧長度ds小于移動距離dm。如圖12所示折疊彈簧IlOe的配置方式，會使彈簧長度ds因質(zhì)量塊10e的轉(zhuǎn)動而改變。進(jìn)一步來說，本實(shí)施例的微機(jī)電裝置1e的作動型態(tài)為前述圖3所示的第一型態(tài)。
[0140]詳細(xì)來說，本實(shí)施例每一折疊彈簧IlOe包含依序相連的多個(gè)延展部llOle、1102e、1103e、1104e。這些延展部llOle、1102e、1103e、1104e的延伸方向平行于軸線LI或L2。其中，上述的延伸方向是指延展部1101e、1102e、1103e、1104e的長邊所延伸的方向(即圖示中的Y軸方向)。并且，支架120e的延伸支架1201e的寬度Wr大于每一延展部llOle、1102e、1103e、1104e 的寬度 Ws。
[0141]此外，在本實(shí)施例中，延展部1101e、1102e、1103e的長度(即Y方向的尺寸)都不相同。這些延展部1101e、1102e、1103e的長度是朝遠(yuǎn)離相對應(yīng)的軸線LI或L2的方向遞減。進(jìn)一步來說，延展部IlOle的長度大于延展部1102e的長度，而延展部1102e的長度又大于延展部1103e的長度。需注意的是，上述延展部的長度都不相同的特征非用以限定本發(fā)明。舉例來說，在其他實(shí)施例當(dāng)中，延展部1101e、1102e、1103e的長度也可以至少二個(gè)是相同的。
[0142]本實(shí)施例的框架130e為圓環(huán)型框架，但框架130e的外型非用以限定本實(shí)施例。每一支架120e連接至