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本發(fā)明涉及微納結(jié)構(gòu)制備，具體涉及一種在有機材料表面制備抗反射微納結(jié)構(gòu)的方法。光學元件的抗反射是由于光學元件的折射率和空氣折射率突變引起的。光學元件表面的抗反射給光學系統(tǒng)帶來很大的不確定性，因而抗反射技術(shù)一直是光學元件領(lǐng)域重點關(guān)注的問題之一。目前常用的抗反射技術(shù)是抗反射膜技術(shù)，但是抗...

本發(fā)明的實施例涉及一種電子設(shè)備，特別是涉及一種包括載體和安裝在載體上的電子芯片的電子設(shè)備。電子設(shè)備可以是例如包括MEMS（微機電系統(tǒng)）芯片的傳感器設(shè)備。例如，電子設(shè)備可以是MEMS麥克風。MEMS麥克風使用微結(jié)構(gòu)化的、主要基于硅的聲電變換器。這些高靈敏度的傳感器芯片采用薄的可移動膜，使其也...

本公開一般涉及微機電系統(tǒng)（MEMS）設(shè)備，并且更特別地涉及用于壓力和聲學感測的MEMS換能器（transducer）系統(tǒng)。發(fā)明內(nèi)容下面闡述了本文中公開的某些實施例的概述。應當理解的是，呈現(xiàn)這些方面僅是為了向讀者提供這些某些實施例的簡要概述，并且這些方面并不意圖限制本公開的范圍。實際上，本公開可以涵...

本公開涉及一種微機電(“微機電系統(tǒng)”，MEMS)器件，其包括膜和能夠控制膜的彎曲的致動器。已知的MEMS致動器至少部分地由半導體材料制成。這種微機電致動器使得能夠?qū)⒉煌愋偷哪芰啃问睫D(zhuǎn)換成機械能量。特別地，已知壓電致動的MEMS器件，其中壓電材料的薄層在MEMS器件的懸置部分例如懸臂或膜上...

本申請涉及納米，特別涉及一種納米結(jié)構(gòu)的制造方法。隨著科學技術(shù)的不斷發(fā)展，電子科學、光子科學、光電科學、生物科學等領(lǐng)域都對納米結(jié)構(gòu)的加工技術(shù)提出了更高的要求，需要提供一種更加可靠、更加快速、更低成本的納米加工技術(shù)。現(xiàn)有技術(shù)中，通常采用表面化學改性的方法制造納米結(jié)構(gòu)。具體來說，首先可以...

本發(fā)明涉及一種多環(huán)節(jié)可見光的光驅(qū)微納馬達的制備方法，屬于微納馬達。2016年諾貝爾化學獎頒給了研究世界最小機器的分子機器，這為研究微納米尺度的微小機器推向了高潮。微納米馬達是一種能夠?qū)⑵渌问降哪芰哭D(zhuǎn)化為動能產(chǎn)生自主運動的微納米器件。由于這種獨特的性質(zhì)，因此在藥物輸送、生物傳感、微...

本發(fā)明涉及納米力學測試領(lǐng)域，具體為應用在納米壓入儀中的一種低溫裝置及其使用方法。隨著科技的快速發(fā)展，越來越多的先進精密系統(tǒng)應用于低溫領(lǐng)域。工作環(huán)境的變化通常也會造成材料性能及可靠性的改變，因此，探究材料在低溫服役環(huán)境中的機械性能變化具有重要的實際意義。儀器化納米壓入技術(shù)作為一種主要獲取材料...

本發(fā)明涉及MEMS傳感器制造領(lǐng)域，更具體地涉及一種具有微納結(jié)構(gòu)增強的微加熱器及其制備方法。隨著微加工技術(shù)的不斷發(fā)展，基于MEMS工藝的微型加熱器已開始在氣體探測，環(huán)境監(jiān)控和紅外光源等領(lǐng)域廣泛應用。但是，由于探測器應用環(huán)境的多樣性以及復雜性，人們對微型加熱器的低功耗、低成本、高性能、高可靠的...

本申請涉及半導體，尤其涉及一種在基板上電鍍形成微細結(jié)構(gòu)的方法，微細結(jié)構(gòu)以及電子器件。隨著電子器件小型化、高速化和多功能化需求的增強，對構(gòu)成電子器件的微細結(jié)構(gòu)的微細化、復雜化的需求也在日益增強。特別是把半導體微電路同微機械集成起來，達到功能多樣化的微機電系統(tǒng)(MEMS:MicroM...

本發(fā)明涉及一種精簡工藝的微鏡芯片及制造方法，屬于微機電系統(tǒng)。常用的微機電系統(tǒng)驅(qū)動結(jié)構(gòu)包括靜電驅(qū)動被廣泛應用，其中靜電驅(qū)動主要采用梳齒結(jié)構(gòu)，梳齒結(jié)構(gòu)一般分為兩類，一類是面內(nèi)梳齒結(jié)構(gòu)，用作面內(nèi)結(jié)構(gòu)驅(qū)動；一類是上下梳齒結(jié)構(gòu)，用作面外驅(qū)動，面外驅(qū)動的動齒和固齒一高一低不在一個平面。上下梳齒...

本發(fā)明涉及微納米器件制備，尤其涉及一種驅(qū)動力較強且可以通過感應燃料濃度變化調(diào)整其運動方向的脲酶驅(qū)動罐狀微納米馬達。微納米馬達是一種能夠在微納米尺度上將環(huán)境中其它形式的能量轉(zhuǎn)化為機械運動，并能執(zhí)行各種任務(wù)的微納米器件。由于微納米馬達具有獨特的自主運動性能，可以在微納米尺度裝載、運輸和...

本申請要求2016年12月5日提交的美國臨時申請第62/430,092號的權(quán)益和優(yōu)先權(quán)，其全部內(nèi)容以引用的方式并入本文。提供以下描述是為了幫助讀者理解。所提供的信息均不被視為是現(xiàn)有技術(shù)。當構(gòu)建高性能、高密度裝置(諸如，手機、數(shù)碼靜態(tài)相機、便攜式音樂播放器和其它便攜式電子裝置)時需要緊湊型部...

本發(fā)明涉及深硅刻蝕，尤其涉及一種MEMS的深硅刻蝕方法。微電子機械系統(tǒng)(Micro-electromechanicalSystems)是把信息傳感，處理，機械執(zhí)行以及其他一些微器件，按照集成電路的制造原則，以高密度，低成本的方式集成在一個微系統(tǒng)中。MEMS中學科交叉現(xiàn)象及其明顯，...

本發(fā)明涉及超快激光微納加工，特別涉及一種玻璃與晶體交替排列的自組織周期性微納結(jié)構(gòu)的制備方法。超快激光微納加工技術(shù)是一種利用脈寬極小，峰值能量極高的激光脈沖進行精密微納加工的先進制造技術(shù)。該技術(shù)主要通過強場激光與物質(zhì)的相互作用，誘發(fā)一系列物理化學反應，同時利用材料對超快脈沖的非線性吸...

本發(fā)明涉及納米加工領(lǐng)域，具體的說是一種通過在原子力顯微鏡(AFM)探針和基底之間施加電流，并使探針針尖在基底表面運動，通過焦耳熱形成納米刻痕，從而實現(xiàn)納米刻蝕、裁剪加工的方法。納米器件是由納米材料構(gòu)成的電子器件，比如各種氣體傳感器，生物傳感器，場效應晶體管等等。納米器件具有優(yōu)異的性能，比如...

本發(fā)明涉及一種MEMS開關(guān)及其制作方法，屬于微機電系統(tǒng)。射頻MEMS開關(guān)在通信、測試儀器、雷達等領(lǐng)域有著廣泛的應用。但傳統(tǒng)射頻MEMS開關(guān)較低的功率容量、以及較差的可靠性是限制其應用的主要瓶頸之一。傳統(tǒng)的串聯(lián)接觸式射頻MEMS開關(guān)通常由金屬懸臂梁、驅(qū)動電極、接觸點和微波信號線四部分...

本申請要求2016年12月2日提交的美國臨時申請序列號62/429,466的優(yōu)先權(quán)，其內(nèi)容通過引用整體并入本文。多肽的四級結(jié)構(gòu)可以極大地影響它們的物理化學和生物學特性。蛋白質(zhì)聚集或非天然聚集是指蛋白質(zhì)分子組裝成由兩種或兩種以上蛋白質(zhì)構(gòu)成的穩(wěn)定復合物的過程，其中單個蛋白質(zhì)表示為單體。聚集體通...

本發(fā)明涉及一種用于制造具有與載體機械脫耦的區(qū)域的襯底的方法、一種用于制造至少一個彈簧的方法以及一種具有機械脫耦區(qū)域的襯底。在微機械壓力傳感器中作為機電換能器使用的半導體元件不僅接收直接通過作用到膜片上的壓力影響而產(chǎn)生的機械應力，而且同樣接收通過來自周圍環(huán)境的機械干擾影響所引起的應力。這種干...

本實用新型涉及，尤其涉及一種納米碳高溫烯膜。大多數(shù)的電子器件，導熱能力強，但不夠柔韌。比如有些無機陶瓷晶體材料，導熱率非常高，但卻脆弱得很，烯膜把大片石墨烯交錯壘疊起來，制作成宏觀石墨烯膜，可實現(xiàn)高導熱率；然后給石墨烯膜加入微褶皺結(jié)構(gòu)，使材料在拉伸彎折時有足夠的拉伸空間，就可確保高柔性，目...

本發(fā)明涉及半導體制造領(lǐng)域，特別涉及一種MEMS傳感器及其制備方法。MEMS傳感器已經(jīng)被應用于各個領(lǐng)域當中，由于工作環(huán)境的需要，MEMS傳感器必須采用一種有效的封裝結(jié)構(gòu)和封裝方法，傳統(tǒng)的封裝類型主要是芯片級封裝，通常是將一個裸芯片放入陶瓷管殼中，通過金絲焊球與管腳相連，其上的蓋板由焊料或陶瓷...