技術(shù)總結(jié)
系統(tǒng)(50)意在被安裝在裝置的一個可移動的單元上,以能夠使該系統(tǒng)在槽上方移動。該系統(tǒng)包括:?一個支撐件(51),該支撐件意在被安裝在該單元上;?一個鉸接臂(52),該鉸接臂被安裝在該支撐件上;?一個用于至少一個罩(33)的抓握設(shè)備(60),該抓握設(shè)備被設(shè)計成能夠被耦合到該臂的第一端(53);以及,一個用于至少一個罩的臨時存儲設(shè)備(55),所述存儲設(shè)備被安裝在該支撐件上,能夠接收通過配備有該抓握設(shè)備的該臂運送的至少一個罩并且允許配備有該抓握設(shè)備的所述臂取回先前放置在該存儲設(shè)備內(nèi)的至少一個罩。
技術(shù)研發(fā)人員:J·古爾林
受保護的技術(shù)使用者:法孚斯ECL公司
文檔號碼:201580011921
技術(shù)研發(fā)日:2015.02.16
技術(shù)公布日:2017.02.22