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      技術(shù)特征:

      1.一種反應(yīng)腔真空度控制微調(diào)裝置,其特征在于:包括水環(huán)真空泵(1),所述的水環(huán)真空泵(1)通過控制組件控制,所述的水環(huán)真空泵(1)中設(shè)有泵進(jìn)氣組件和泵排氣組件;

      所述的控制組件包括控制器(2),所述的控制器(2)分別與真空度監(jiān)測(cè)模塊(3)、真空度微量調(diào)節(jié)模塊(4)和溫度監(jiān)測(cè)模塊(5);

      所述的泵進(jìn)氣組件包括泵進(jìn)氣口(6),所述的泵進(jìn)氣口(6)與水環(huán)真空泵(1)相連通,所述的泵進(jìn)氣口(6)的上部設(shè)有吸入管進(jìn)氣口(7);

      所述的泵排氣組件包括泵排氣口(8),所述的泵排氣口(8)與水環(huán)真空泵(1)相連通,所述的泵排氣口(8)的上部設(shè)有分離器排氣口(9);

      所述的泵進(jìn)氣組件與泵排氣組件呈間隔狀分布;

      所述的水環(huán)真空泵(1)的外壁設(shè)有水平液面安裝觀察口(10)。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反應(yīng)腔真空度控制微調(diào)裝置,其特征在于:所述的水環(huán)真空泵(1)的底部設(shè)有若干緊固件(11)。

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