本發(fā)明涉及真空泵。詳細(xì)地講，涉及具備固定圓板的真空泵，所述固定圓板具有分割構(gòu)造。

背景技術(shù)：

真空泵中的具有西格班型結(jié)構(gòu)的西格班型分子泵在旋轉(zhuǎn)圓板或固定圓板的至少某一方的與間隙對(duì)置的表面上，刻設(shè)有螺旋槽（也稱作螺旋狀槽或漩渦狀槽）流路，所述固定圓板與該旋轉(zhuǎn)圓板在軸向上具有間隙（余隙）而設(shè)置。

并且，對(duì)擴(kuò)散進(jìn)入到螺旋槽流路內(nèi)的氣體分子借助旋轉(zhuǎn)圓板賦予旋轉(zhuǎn)圓板切線方向（即，旋轉(zhuǎn)圓板的旋轉(zhuǎn)方向的切線方向）的動(dòng)量，由此借助螺旋槽從吸氣口朝向排氣口賦予占優(yōu)的方向性而進(jìn)行排氣。

專利文獻(xiàn)1：日本實(shí)用新型注冊(cè)公報(bào)第2501275號(hào)公報(bào)。

專利文獻(xiàn)2：日本特開2011－074903號(hào)公報(bào)。

專利文獻(xiàn)3：日本特許第5062257號(hào)公報(bào)。

在專利文獻(xiàn)1中，記載了西格班型真空泵。

在專利文獻(xiàn)2中，記載了以下結(jié)構(gòu)：在渦輪分子泵中，為了實(shí)現(xiàn)零件件數(shù)的削減及組裝作業(yè)的效率化，多級(jí)的固定翼的至少一級(jí)由以在周向上相接的方式配置的多個(gè)分割固定翼構(gòu)成，分割固定翼配設(shè)多個(gè)翼葉片和圓弧狀的間隔部，由此不需要以往的間隔環(huán)，所述多個(gè)翼葉片沿周向并列設(shè)置，所述間隔部用來(lái)將該翼葉片的外周部連結(jié)而定位在既定位置。

在專利文獻(xiàn)3中，記載了以下結(jié)構(gòu)：為了容易將排氣口側(cè)的固定翼及間隔環(huán)依次層疊，使間隔環(huán)的內(nèi)徑比最大外徑大。

圖6至圖11是用來(lái)說(shuō)明以往技術(shù)的圖。

圖7及圖8是從排氣口6側(cè)觀察圖6的b－b截面時(shí)的剖視圖。

圖8（b）是將圖8（a）的γ部放大的圖。

圖10是將圖9的δ部放大的圖，圖11是用來(lái)說(shuō)明圖9中圖示的渦輪分子泵1000的組裝時(shí)的圖。

如圖6所示，具有專利文獻(xiàn)1所記載的那樣的西格班構(gòu)造的作為西格班型泵的渦輪分子泵1000與霍爾維克型泵相比，能夠使渦輪分子泵1000的軸向的高度尺寸變緊湊。

另一方面，在渦輪分子泵1000中采用多級(jí)西格班構(gòu)造的情況下，以插入到上下的旋轉(zhuǎn)翼9的級(jí)間的方式配置的固定圓板5000為了能夠從旋轉(zhuǎn)翼9的側(cè)方組裝，需要如圖7所示那樣設(shè)為分割為以軸線n為切斷面的半圓形狀的分割構(gòu)造。

并且，在壓力變高的部分（例如，排氣口6側(cè)）采用具有這樣的分割構(gòu)造的固定圓板5000的情況下，排氣的氣體如在圖6中用箭頭表示的那樣從固定圓板5000的將分割構(gòu)造接合的端面（以后稱作接合端面）逆流，結(jié)果，有排氣性能下降的問題。

此外，如圖8（a）及圖8（b）所示，在固定圓板5000側(cè)設(shè)有螺旋狀槽的情況下，如果在接合端面（軸線l）處產(chǎn)生偏差，則螺旋狀槽的連續(xù)性受損，結(jié)果，有可能不能得到如設(shè)計(jì)那樣的排氣性能。

作為用來(lái)防止上述那樣的接合端面（或接合端部）處的性能下降的構(gòu)造，有在專利文獻(xiàn)2中記載的構(gòu)造。

在上述專利文獻(xiàn)2所記載的技術(shù)中，如在圖9及圖10中圖示的那樣，固定圓板5100配設(shè)為在作為用來(lái)定位的固定部件的間隔環(huán)7000的外周側(cè)相接，配設(shè)為被上下的間隔環(huán)7000夾入。即，間隔環(huán)7000的外周面成為與固定圓板5100的配合（インロー）位置（e）。

由于固定圓板5100的內(nèi)周面成為配合位置，所以有在固定圓板5100的接合端面上更容易產(chǎn)生間隙或偏差的問題。

此外，在該構(gòu)造中，如圖10及圖11所示，必須將固定圓板5100組裝到渦輪分子泵1000上，再用o形環(huán)6000作為彈性部件固定，有作業(yè)效率較差的問題。

進(jìn)而，在渦輪分子泵1000中，配設(shè)有西格班型（固定圓板5000、5100）的區(qū)域與配設(shè)有固定翼10的區(qū)域相比，排出氣體的壓力較高，所以有如果產(chǎn)生間隙或偏差、則更容易引起該排出氣體的逆流的問題。

此外，在專利文獻(xiàn)3記載的技術(shù)中，如上述那樣，將間隔環(huán)的內(nèi)周側(cè)壁面設(shè)為錐形狀，設(shè)為通過在渦輪分子泵的軸向上施加載荷而在半徑方向上也作用載荷的結(jié)構(gòu)，由此進(jìn)行半圓形狀的固定翼在半徑方向上的定位。

但是，在形成具有錐形狀的面的構(gòu)造中，有可能不易得到軸向的精度。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

所以，本發(fā)明的目的是，在具有固定圓板的真空泵中，所述固定圓板具有分割構(gòu)造，使在接合該分割構(gòu)造的接合面處產(chǎn)生的間隙或偏差變少。

為了達(dá)到上述目的，在技術(shù)方案1所述的本發(fā)明中，提供一種真空泵，具備：外裝體，其形成有吸氣口和排氣口；旋轉(zhuǎn)軸，其被前述外裝體包圍在內(nèi)部，被旋轉(zhuǎn)自如地支承；旋轉(zhuǎn)圓板狀部，其以放射狀配設(shè)在前述旋轉(zhuǎn)軸或旋轉(zhuǎn)圓筒體的外周面上，所述旋轉(zhuǎn)圓筒體配設(shè)在前述旋轉(zhuǎn)軸上；固定圓板狀部，其經(jīng)由間隙在軸向上與前述旋轉(zhuǎn)圓板狀部對(duì)置，并且同心地配置；間隔部，其將前述固定圓板狀部固定；真空排氣機(jī)構(gòu)，其借助前述旋轉(zhuǎn)圓板狀部和前述固定圓板狀部的相互作用，將從前述吸氣口側(cè)吸入的氣體向前述排氣口側(cè)移送；其特征在于，前述固定圓板狀部借助前述固定圓板狀部的外周面和前述間隔部的內(nèi)周面定位。

在技術(shù)方案2所述的本發(fā)明中，提供如技術(shù)方案1所述的真空泵，其特征在于，前述固定圓板狀部在前述外周面的一部分上具備突起部。

在技術(shù)方案3所述的本發(fā)明中，提供如技術(shù)方案1或2所述的真空泵，其特征在于，前述固定圓板狀部被前述間隔部的前述內(nèi)周面從外周側(cè)施加壓力而固定。

在技術(shù)方案4所述的本發(fā)明中，提供如技術(shù)方案3所述的真空泵，其特征在于，前述固定圓板狀部被前述間隔部的前述內(nèi)周面施加的前述壓力，被施加在前述固定圓板狀部的前述外周面的一部分上。

在技術(shù)方案5所述的本發(fā)明中，提供如技術(shù)方案1～4中任一項(xiàng)所述的真空泵，其特征在于，在前述固定圓板狀部的外周側(cè)的上端或下端的角部上具有避讓構(gòu)造。

在技術(shù)方案6所述的本發(fā)明中，提供如技術(shù)方案1～5中任一項(xiàng)所述的真空泵，其特征在于，前述外裝體具有殼體部和基座部，所述殼體部形成有前述吸氣口，所述基座部形成有前述排氣口；前述間隔部中的距前述排氣口側(cè)最近地配設(shè)的第1間隔部與前述基座部一體地構(gòu)成。

在技術(shù)方案7所述的本發(fā)明中，提供如技術(shù)方案6所述的真空泵，其特征在于，還具備與前述旋轉(zhuǎn)圓板狀部設(shè)有既定間隔而配置的固定翼；前述固定翼借助第2間隔部的內(nèi)周面定位，所述第2間隔部與將前述固定圓板狀部定位的前述第1間隔部不同。

在技術(shù)方案8所述的本發(fā)明中，提供如技術(shù)方案1～7中任一項(xiàng)所述的真空泵，其特征在于，前述旋轉(zhuǎn)圓板狀部或前述固定圓板狀部是在至少一方的前述軸向上的對(duì)置面的至少一部分上配設(shè)有螺旋狀槽的西格班型，所述螺旋狀槽具有谷部和山部。

在技術(shù)方案9所述的本發(fā)明中，提供如技術(shù)方案1～8中任一項(xiàng)所述的真空泵，其特征在于，前述旋轉(zhuǎn)圓板狀部或前述固定圓板狀部是在至少一方的前述軸向上的對(duì)置面的至少一部分上形成有翼形狀的渦輪分子泵型。

在技術(shù)方案10所述的本發(fā)明中，提供如技術(shù)方案1～9中任一項(xiàng)所述的真空泵，其特征在于，前述固定圓板狀部由多個(gè)零件構(gòu)成。

根據(jù)本發(fā)明，在具有固定圓板的真空泵中，所述固定圓板具有分割構(gòu)造，能夠使在接合該分割構(gòu)造的接合面上產(chǎn)生的間隙或偏差變少，所以能夠盡可能抑制真空泵的排氣性能的下降。

此外，根據(jù)本發(fā)明，將具有西格班構(gòu)造、具有分割構(gòu)造的固定圓板插入到真空泵的基座中（即，構(gòu)成為在基座的內(nèi)周面上設(shè)置配合構(gòu)造）。借助該結(jié)構(gòu)，固定圓板的半徑方向被基座限制，所以能夠使得不易產(chǎn)生間隙或偏差。

進(jìn)而，根據(jù)本發(fā)明，關(guān)于高度方向，被間隔環(huán)夾持，所以關(guān)于固定圓板的半徑方向和軸向兩者，能夠精度良好地進(jìn)行定位。

附圖說(shuō)明

圖1是表示真空泵的概略結(jié)構(gòu)例的圖。

圖2是用來(lái)說(shuō)明配合位置的放大圖。

圖3是用來(lái)說(shuō)明變形例1的圖。

圖4是用來(lái)說(shuō)明變形例2的圖。

圖5是用來(lái)說(shuō)明變形例3的圖。

圖6是用來(lái)說(shuō)明以往技術(shù)的圖。

圖7是用來(lái)說(shuō)明以往技術(shù)的圖。

圖8是用來(lái)說(shuō)明以往技術(shù)的圖。

圖9是用來(lái)說(shuō)明以往技術(shù)的圖。

圖10是用來(lái)說(shuō)明以往技術(shù)的圖。

圖11是用來(lái)說(shuō)明以往技術(shù)的圖。

具體實(shí)施方式

（i）實(shí)施方式的概要

在涉及本實(shí)施方式的渦輪分子泵中，將固定圓板與對(duì)芯的固定部件的配合關(guān)系統(tǒng)一為從外側(cè)約束的構(gòu)造。即，在基座與固定圓板的嵌合構(gòu)造中，借助用基座的內(nèi)周面將固定圓板的外周面推入而接合（從外側(cè)約束）的構(gòu)造，進(jìn)行中心對(duì)準(zhǔn)（定位/定心）。

此外，在涉及本實(shí)施方式的渦輪分子泵中，將固定圓板的配合構(gòu)造用一體零件構(gòu)成。

進(jìn)而，在涉及本實(shí)施方式的渦輪分子泵中，另外設(shè)置固定翼與具有西格班構(gòu)造的固定圓板的配合位置。

（ii）實(shí)施方式的詳細(xì)情況

以下，參照?qǐng)D1至圖5對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí)施方式詳細(xì)地說(shuō)明。

圖1是表示涉及本發(fā)明的第1實(shí)施方式的真空泵（渦輪分子泵1）的概略結(jié)構(gòu)例的圖，表示渦輪分子泵1的軸線方向的剖視圖。

另外，在本發(fā)明的實(shí)施方式中，為了方便，設(shè)旋轉(zhuǎn)翼的直徑方向?yàn)椤皬剑ㄖ睆?半徑）方向”、設(shè)與旋轉(zhuǎn)翼的直徑方向垂直的方向?yàn)椤拜S線方向”而進(jìn)行說(shuō)明。

形成渦輪分子泵1的外裝體的殼體2呈大致圓筒狀的形狀，與設(shè)在殼體2的下部（排氣口6側(cè)）的基座3一起構(gòu)成渦輪分子泵1的箱體。并且，在該箱體的內(nèi)部，容納著作為使渦輪分子泵1發(fā)揮排氣功能的構(gòu)造物的氣體移送機(jī)構(gòu)。

該氣體移送機(jī)構(gòu)大體上劃分，由旋轉(zhuǎn)自如地被支承（軸支承）的旋轉(zhuǎn)部（轉(zhuǎn)子部）和相對(duì)于箱體被固定的固定部構(gòu)成。

此外，雖然沒有圖示，但在渦輪分子泵1的外裝體的外部，經(jīng)由專用線連接著控制渦輪分子泵1的動(dòng)作的控制裝置。

在殼體2的端部上，形成有用來(lái)向該渦輪分子泵1導(dǎo)入氣體的吸氣口4。此外，在殼體2的吸氣口4側(cè)的端面上，形成有向外周側(cè)伸出的凸緣部5。

此外，在基座3上，形成有用來(lái)從該渦輪分子泵1將氣體排出的排氣口6。

旋轉(zhuǎn)部具備作為旋轉(zhuǎn)軸的軸桿7、配設(shè)在該軸桿7上的轉(zhuǎn)子8、設(shè)在轉(zhuǎn)子8上的多片旋轉(zhuǎn)翼9。另外，由軸桿7、轉(zhuǎn)子8及旋轉(zhuǎn)翼9構(gòu)成轉(zhuǎn)子部。

旋轉(zhuǎn)翼9在吸氣口4側(cè)（9a、9b、9c、9d）為葉片形狀，在排氣口6側(cè)（9e）由圓板形狀形成。

在軸桿7的軸線方向中間左右，設(shè)有用來(lái)使軸桿7高速旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)部20，被定子柱80包圍在內(nèi)部。

進(jìn)而，相對(duì)于軸桿7的馬達(dá)部20，在吸氣口4側(cè)及排氣口6側(cè)，設(shè)有用來(lái)將軸桿7在徑向方向（徑向）上非接觸地支承（軸支承）的徑向磁力軸承裝置30、31。此外，在軸桿7的下端，設(shè)有用來(lái)將軸桿7在軸線方向（軸向）上非接觸地支承的軸向磁力軸承裝置40。

固定翼10由以下這樣的葉片構(gòu)成：其從與軸桿7的軸線垂直的平面傾斜既定的角度而從殼體2的內(nèi)周面朝向軸桿7延伸。并且，固定翼10在殼體2的內(nèi)周側(cè)與旋轉(zhuǎn)翼9相互錯(cuò)開地在軸線方向上配設(shè)有多級(jí)。

另外，關(guān)于級(jí)數(shù)，只要設(shè)為以下結(jié)構(gòu)即可：設(shè)置為了滿足對(duì)真空泵要求的排出性能（排氣性能）所需要的任意數(shù)量的固定翼10及（或）旋轉(zhuǎn)翼9。

固定圓板50呈相對(duì)于軸桿7的軸線垂直地以放射狀延伸的圓板形狀，是刻設(shè)有螺旋狀槽的圓板部件。在本實(shí)施方式中，通過將半圓形狀的部件接合而形成為圓形形狀。

間隔環(huán)70是呈圓筒形狀的固定部件，各級(jí)的固定翼10及固定圓板50被該間隔環(huán)70相互隔開而固定。

借助這樣構(gòu)成的渦輪分子泵1，渦輪分子泵1進(jìn)行配設(shè)于渦輪分子泵1的真空室（未圖示）內(nèi)的真空排氣處理。

圖2是將圖1的α部放大的圖，是用來(lái)說(shuō)明本實(shí)施方式的配合位置（a）的放大圖。

如圖2（a）所示，以使固定圓板50嵌合到間隔環(huán)70的內(nèi)周的結(jié)構(gòu)形成配合位置a。

更詳細(xì)地講，在間隔環(huán)70上，形成具有兩個(gè)不同內(nèi)徑的二級(jí)構(gòu)造的內(nèi)周面。并且，確定固定圓板50的外周的尺寸，使得間隔環(huán)70的較大內(nèi)徑的內(nèi)周面和固定圓板50的外周面形成配合構(gòu)造（配合位置a）。

借助該結(jié)構(gòu)，當(dāng)使固定圓板50與間隔環(huán)70嵌合而組裝時(shí)，固定圓板50被間隔環(huán)70從外側(cè)約束。即，固定圓板50借助間隔環(huán)70從外側(cè)定位。

結(jié)果，與將固定圓板50在內(nèi)側(cè)定位的情況相比，能夠使固定圓板50的分割的間隙及偏差變少，所以能夠抑制真空泵的排氣性能的下降。

此外，將此時(shí)的配合構(gòu)造不設(shè)為間隙配合的尺寸關(guān)系，而設(shè)為過渡配合或輕度過盈配合的尺寸關(guān)系，由此，接合端面密接，所以能夠進(jìn)一步使固定圓板50的分割的偏差及間隙變少。

此外，借助該結(jié)構(gòu)，不再需要用來(lái)使固定圓板50和間隔環(huán)70嵌合固定的o形環(huán)，所以能夠使結(jié)構(gòu)部件變少，所以組裝變?nèi)菀?，能夠使制造成本降低?/p>

進(jìn)而，關(guān)于從排氣口6側(cè)起配設(shè)在第2個(gè)的固定圓板50，如圖2（b）所示，也可以構(gòu)成為，以使固定圓板50嵌合到基座3的內(nèi)周的結(jié)構(gòu)形成配合位置a’。即，構(gòu)成為，使基座3的上表面與配設(shè)在距排氣口6最近的位置處的間隔環(huán)70一體化。

更詳細(xì)地講，構(gòu)成為，在基座3的上表面上形成具有兩個(gè)不同內(nèi)徑的二級(jí)構(gòu)造的內(nèi)周面（內(nèi)周側(cè)面）。并且，確定固定圓板50的外周的尺寸，使得基座3的較大內(nèi)徑的內(nèi)周面和固定圓板50的外周面（外周側(cè)面）形成配合構(gòu)造（配合位置a’）。

借助該結(jié)構(gòu)，當(dāng)使固定圓板50和基座3的上表面嵌合而組裝時(shí)，固定圓板50被基座3從外側(cè)約束。即，固定圓板50借助基座3從外側(cè)定位。

結(jié)果，固定圓板50能夠與作為基準(zhǔn)的基座3形成配合構(gòu)造，所以能夠得到更不易產(chǎn)生中心偏差的效果。

進(jìn)而，如圖2（a）、圖2（b）所示，配合位置（a、a’）處的固定圓板50的外周側(cè)的下端（排氣口6側(cè)）的角部設(shè)為具有c倒角或r形狀的“避讓”構(gòu)造。此外，不僅是下端，也可以將上端或上端和下端兩者的角部設(shè)為前述那樣的“避讓”構(gòu)造。

借助該結(jié)構(gòu)，與被嵌入側(cè)（間隔環(huán)70、基座3）的接合面相比，嵌入側(cè)（固定圓板50）的接合面其圓度形狀更大（弧的圓度更平緩），所以在因加工而產(chǎn)生了角部的毛刺或飛邊等的情況下也不會(huì)干涉，嵌入變?nèi)菀祝M裝變得更容易。

上述實(shí)施方式可以如以下這樣變形。

（iii）變形例1

圖3（a）是從排氣口6側(cè)觀察圖1的a－a截面的剖視圖，圖3（b）是將圖3（a）的β部放大的圖。

涉及本實(shí)施方式的變形例1的固定圓板500如圖3（b）所示，具有配合用凸部501。

更詳細(xì)地講，在本實(shí)施方式的變形例1中，考慮渦輪分子泵1的組裝性，不是使由固定圓板500和間隔環(huán)70（或基座3）帶來(lái)的配合構(gòu)造形成在固定圓板500的外周整周上，而是部分地形成在固定圓板500的外周上。

即，構(gòu)成為，在固定圓板500的外周面上等間隔地配置多處用來(lái)形成配合構(gòu)造的配合用凸部501。

另外，希望該配合用凸部501在固定圓板500的外周面上至少形成在3處（作為圓筒形的定位（定心）的最小單位）。另外，只要是3處以上，可以是形成在偶數(shù)部位處的結(jié)構(gòu)。

（iv）變形例2

圖4是將圖1的α部放大的圖。

涉及本實(shí)施方式的變形例2的固定圓板510具有突起部511，作為渦輪分子泵1的組裝及分解作業(yè)時(shí)的支撐構(gòu)造。

借助具有該突起部511的結(jié)構(gòu)，當(dāng)將固定圓板510抬起時(shí)，能夠容易拿起，所以能夠提高組裝及分解時(shí)的作業(yè)效率。

另外，突起部511既可以設(shè)在固定圓板510的外周整周上，也可以是設(shè)在一部分上的結(jié)構(gòu)。

（v）變形例3

圖5是將圖1的α部附近放大的圖。

在本實(shí)施方式的變形例3中，構(gòu)成為，在渦輪分子泵1中，分別另外設(shè)置固定圓板50的配合位置（b）、間隔環(huán)701的配合位置（c）及固定翼10的配合位置（d）。

更詳細(xì)地講，如圖5所示，以使固定圓板50嵌合到基座3的內(nèi)周面的結(jié)構(gòu)形成配合位置b，此外，以使基座3的外周面嵌合到間隔環(huán)701的第1內(nèi)周面的結(jié)構(gòu)形成配合位置c，進(jìn)而，以使固定翼10嵌合到間隔環(huán)701的第2內(nèi)周面的結(jié)構(gòu)形成配合位置d。

（v－i）配合位置b

配合位置b表示由固定圓板50的外周面和基座3（或間隔環(huán)70）的內(nèi)周面形成的配合構(gòu)造的位置。該配合位置b的配合構(gòu)造由形成在基座3（或間隔環(huán)70）上的具有兩個(gè)不同內(nèi)徑的二級(jí)構(gòu)造的內(nèi)周面中的較大內(nèi)徑的內(nèi)周面和固定圓板50的外周面構(gòu)成。

借助該結(jié)構(gòu)，當(dāng)使固定圓板50與基座3（或間隔環(huán)70）嵌合而組裝時(shí)，固定圓板50被基座3（或間隔環(huán)70）從外側(cè)約束。即，固定圓板50借助基座3（或間隔環(huán)70）從外側(cè)定位。

此外，間隔環(huán)700被固定圓板50從內(nèi)側(cè)約束。即，間隔環(huán)700借助固定圓板50從內(nèi)側(cè)定位。

（v－ii）配合位置c

配合位置c表示由基座3（或間隔環(huán)70）的外周面和間隔環(huán)701的內(nèi)周面形成的配合構(gòu)造的位置。該配合位置c的配合構(gòu)造由形成在間隔環(huán)701上的具有3個(gè)不同內(nèi)徑的三級(jí)構(gòu)造的內(nèi)周面中的最大內(nèi)徑的內(nèi)周面（最外側(cè)的內(nèi)周面）的端部（排氣口6側(cè)）和基座3（或間隔環(huán)70）的外周面的端部（吸氣口4側(cè)）構(gòu)成。

借助該結(jié)構(gòu)，當(dāng)使間隔環(huán)701與基座3（或間隔環(huán)70）嵌合而組裝時(shí)，間隔環(huán)701被基座3（或間隔環(huán)70）從內(nèi)側(cè)約束。即，間隔環(huán)701借助基座3（或間隔環(huán)70）從內(nèi)側(cè)定位。

（v－iii）配合位置d

配合位置d表示由固定翼10的外周面和間隔環(huán)701的內(nèi)周面形成的配合構(gòu)造的位置。該配合位置d的配合構(gòu)造由形成在間隔環(huán)701上的具有3個(gè)不同內(nèi)徑的三級(jí)構(gòu)造的內(nèi)周面中的第二大內(nèi)徑的內(nèi)周面和固定翼10的外周面構(gòu)成。

借助該結(jié)構(gòu)，當(dāng)使間隔環(huán)701與固定翼10嵌合而組裝時(shí)，固定翼10被間隔環(huán)701從外側(cè)約束。即，固定翼10借助間隔環(huán)701從外側(cè)定位。

借助該結(jié)構(gòu)，固定翼10形成配合構(gòu)造的部件和固定圓板50形成配合構(gòu)造的部件分別是分別不同的部件，所以能夠得到更不易產(chǎn)生從基準(zhǔn)的誤差的效果。

借助上述結(jié)構(gòu)，在本實(shí)施方式及變形例中，構(gòu)成為向間隔環(huán)70插入固定圓板50而設(shè)置內(nèi)側(cè)的配合構(gòu)造，所以能夠使具有分割構(gòu)造的固定圓板上的接合面處的間隙或偏差變少，能夠抑制排氣性能的下降。

此外，構(gòu)成為，在排氣口6側(cè)，向作為基準(zhǔn)的基座3插入固定圓板50而設(shè)置內(nèi)側(cè)的配合構(gòu)造，由此，能夠使具有分割構(gòu)造的固定圓板50上的接合面處的間隙或偏差進(jìn)一步變少，能夠抑制排氣性能的下降。

進(jìn)而，構(gòu)成為，配合構(gòu)造不是形成在固定圓板500的外周整周上，而是部分地形成，所以能夠防止排氣性能的下降，并且使真空泵的組裝性變好。

借助上述配合構(gòu)造，能夠使半徑方向的間隙或偏差變少，所以能夠減少因接合面的偏差帶來(lái)的與旋轉(zhuǎn)側(cè)零件的接觸。

此外，關(guān)于高度方向，由于被間隔環(huán)70夾持，所以關(guān)于固定圓板的半徑方向和軸向（高度方向）兩者，能夠精度良好地進(jìn)行定位。

也可以構(gòu)成為將本發(fā)明的實(shí)施方式及變形例分別組合。不僅是前述那樣的具備西格班型分子泵部和渦輪分子泵部的復(fù)合型泵，對(duì)于具備西格班型分子泵部和螺紋槽式泵部的復(fù)合型泵、或者具備西格班型分子泵部、渦輪分子泵部和螺紋槽式泵部的復(fù)合型泵，也能夠應(yīng)用。

此外，如果是僅有西格班型分子泵部或僅有渦輪分子泵部的結(jié)構(gòu)，也能夠應(yīng)用。

附圖標(biāo)記說(shuō)明

1渦輪分子泵

2殼體

3基座

4吸氣口

5凸緣部

6排氣口

7軸桿

8轉(zhuǎn)子

9（9a、9b、9c、9d、9e）旋轉(zhuǎn)翼

10固定翼

20馬達(dá)部

30徑向磁力軸承裝置

31徑向磁力軸承裝置

40軸向磁力軸承裝置

50固定圓板

500固定圓板

501配合用凸部

510固定圓板

511突起部

70間隔環(huán)

700間隔環(huán)

701間隔環(huán)

80定子柱

1000渦輪分子泵（以往）

5000固定圓板（以往）

5100固定圓板（以往）

6000o形環(huán)（以往）

7000間隔環(huán)（以往）

a（固定圓板50的）配合位置（基座3內(nèi)周面）

b（固定圓板50的）配合位置（基座3內(nèi)周面）

c（間隔環(huán)701的）配合位置（基座3外周面）

d（固定翼10的）配合位置（間隔環(huán)內(nèi)周面）

e（固定圓板5100的）配合位置（間隔環(huán)外周面）