轉(zhuǎn)子及具備該轉(zhuǎn)子的真空泵的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及作為半導(dǎo)體制造裝置、平板顯示器制造裝置、太陽能面板制造裝置的處理腔室、其他密閉腔室的氣體排氣機(jī)構(gòu)等使用的真空泵的轉(zhuǎn)子和具備該轉(zhuǎn)子的真空泵。
【背景技術(shù)】
[0002]作為通過轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)將腔室的氣體排氣的真空泵，已知有例如在專利文獻(xiàn)I中公開的真空泵。在這樣的真空泵中，在該真空泵組裝制造階段中，需要進(jìn)行包括轉(zhuǎn)子(8)及一體地設(shè)在其外周面上的旋轉(zhuǎn)葉片(10)的旋轉(zhuǎn)體整體的取平衡。
[0003]特別是，在如專利文獻(xiàn)I那樣將腐蝕性氣體排氣的真空泵的情況下，由于在轉(zhuǎn)子
(8)的表面上形成有例如鎳磷鍍層那樣的防腐蝕皮膜，所以通過對形成有該防腐蝕皮膜的區(qū)域作為質(zhì)量附加機(jī)構(gòu)而涂敷合成樹脂粘接劑，在防止轉(zhuǎn)子(8)的腐蝕的同時(shí)，進(jìn)行旋轉(zhuǎn)體整體的取平衡(參照專利文獻(xiàn)I的段落0008的記載及該文獻(xiàn)I的圖1至圖3)。
[0004]可是，在這種真空泵中，近年來，為了實(shí)現(xiàn)其排氣性能的進(jìn)一步的提高，已知有將到目前為止由鋁合金等金屬材料形成的轉(zhuǎn)子的一部分用如纖維強(qiáng)化樹脂材料那樣比金屬材料輕量且有強(qiáng)度的材料形成的結(jié)構(gòu)(該結(jié)構(gòu)例如參照專利文獻(xiàn)2)、或如本申請的圖9所示的以往的真空泵(螺紋槽泵并行流型)那樣使用來通過轉(zhuǎn)子6的旋轉(zhuǎn)將氣體排氣的螺紋槽排氣流路Rl、R2并行化的結(jié)構(gòu)(該結(jié)構(gòu)例如參照專利文獻(xiàn)3)。
[0005]但是，根據(jù)本申請的圖9所示的以往的真空泵(并行流型)，轉(zhuǎn)子6的比大致中間(具體而言，連結(jié)部60)靠下游(從轉(zhuǎn)子6的大致中間到轉(zhuǎn)子6的氣體排氣口 3側(cè)端部的范圍)作為螺紋槽排氣部Ps發(fā)揮功能。并且，在該螺紋槽排氣部Ps的區(qū)域中，通過在轉(zhuǎn)子6的內(nèi)外周側(cè)設(shè)置螺紋槽排氣流路Rl、R2，實(shí)現(xiàn)了螺紋槽排氣流路的并行化和由其帶來的排氣性能的進(jìn)一步的提高。因此，在對本申請的圖9所示的以往的真空泵(并行流型)應(yīng)用專利文獻(xiàn)I所公開的以往的取平衡的情況下，發(fā)生下述《問題A》到《問題D》。
[0006]《問題A》
參照本申請的圖9，由于在與內(nèi)側(cè)的螺紋槽19A對置的轉(zhuǎn)子6的內(nèi)周面上設(shè)有通過合成樹脂粘接劑Ml的涂敷形成的取平衡部BC，所以螺紋槽排氣部Ps整體的有效的螺紋長度變短，真空泵P6的排氣性能下降。
[0007]《問題B》
參照本申請的圖9，通過合成樹脂粘接劑Ml的涂敷形成的取平衡部BC在轉(zhuǎn)子6內(nèi)周側(cè)的螺紋槽排氣流路Rl中露出，露出的合成樹脂粘接劑Ml暴露在螺紋槽排氣流路Rl內(nèi)的腐蝕性氣體中。因此，取平衡用的合成樹脂粘接劑Ml因腐蝕而破碎，成為碎片，有可能向上述制造裝置的處理腔室、其他密閉腔室流出。例如，可以考慮在通過轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動給碎片施加了動能的情況、或發(fā)生了從真空泵向腔室側(cè)的排出氣體的倒流的情況下等的流出。這樣的碎片的流出在采用合成樹脂粘接劑Ml以外的別的質(zhì)量附加機(jī)構(gòu)作為取平衡用的重物的情況下也同樣會發(fā)生。
[0008]《問題C》 特別是，在如本申請的圖9所示那樣、作為轉(zhuǎn)子6的取平衡部BC的具體的結(jié)構(gòu)而在轉(zhuǎn)子6的內(nèi)周面上形成取平衡用的槽D、在該槽D內(nèi)涂敷取平衡用的合成樹脂粘接劑Ml的情況下，有通過上述腐蝕產(chǎn)生的合成樹脂粘接劑Ml的碎片沒有從取平衡用的槽D直接向下方掉落而留在槽D內(nèi)的情況。因此，例如在真空泵的耐腐蝕性試驗(yàn)中，可以設(shè)想通過試驗(yàn)性的腐蝕產(chǎn)生的合成樹脂粘接劑Ml的碎片留在上述槽D內(nèi)、在耐腐蝕性試驗(yàn)的階段中不能確認(rèn)該碎片、上述碎片從交貨的真空泵向其上游的裝置流出的不良狀況。
[0009]《問題D》
此外，當(dāng)向上述那樣的取平衡用的槽D內(nèi)涂敷合成樹脂粘接劑Ml時(shí)，例如如本申請的圖10所示，預(yù)先使合成樹脂粘接劑Ml附著到棒狀的工具T的前端，將該工具T的前端向轉(zhuǎn)子軸5與轉(zhuǎn)子6之間L插入(參照圖10的用雙點(diǎn)劃線表示的工具T)。此時(shí)，由于取平衡用的槽D距轉(zhuǎn)子6的內(nèi)周面有規(guī)定的深度，所以如果不將如上述那樣插入的工具T相對于轉(zhuǎn)子6的內(nèi)周面傾斜規(guī)定角度(參照圖10的用實(shí)線表示的工具T)，則不能向該槽D內(nèi)涂敷合成樹脂粘接劑M1，在涂敷時(shí)傾斜的工具T與轉(zhuǎn)子軸5接觸、干涉等，取平衡的作業(yè)性較差。特別是，在小型的真空泵中，由于轉(zhuǎn)子軸5與轉(zhuǎn)子6的間隔變窄，所以傾斜的工具T容易與轉(zhuǎn)子軸5接觸、干涉，取平衡的作業(yè)性進(jìn)一步惡化。
[0010]專利文獻(xiàn)1:特許第3974772號公報(bào)專利文獻(xiàn)2:特開2004 — 278512號公報(bào)專利文獻(xiàn)3:特許第3971821號公報(bào)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011]本發(fā)明是為了解決上述問題而做出的，本發(fā)明的一目的是提供一種適合實(shí)現(xiàn)真空泵的排氣性能的提高和防止從取平衡部的碎片的脫落的轉(zhuǎn)子、以及具備該轉(zhuǎn)子的真空泵。此外，本發(fā)明的另一目的在于提供一種適合實(shí)現(xiàn)上述那樣的碎片萬一從取平衡部脫落時(shí)的早期排出、早期發(fā)現(xiàn)、以及實(shí)現(xiàn)取平衡的作業(yè)性的提高的轉(zhuǎn)子及具備該轉(zhuǎn)子的真空泵。
[0012]為了達(dá)到上述目的，第I本發(fā)明是一種將腔室的氣體排氣的真空泵的轉(zhuǎn)子，其特征在于，上述轉(zhuǎn)子具備:第I及第2筒體；和連結(jié)部，將上述兩個(gè)筒體的端部彼此連結(jié)；上述第I筒體在其外周面上具備多個(gè)旋轉(zhuǎn)葉片，并且通過將這些多個(gè)旋轉(zhuǎn)葉片沿著真空泵軸心與多個(gè)固定葉片交替地配置，構(gòu)成葉片排氣部；上述第2筒體通過至少在其內(nèi)周側(cè)形成螺紋槽排氣流路，構(gòu)成螺紋槽排氣部；在上述第I筒體或上述連結(jié)部的內(nèi)周面上設(shè)有上述轉(zhuǎn)子的取平衡部，在該取平衡部上設(shè)有質(zhì)量附加機(jī)構(gòu)。
[0013]在上述第I本發(fā)明中，其特征也可以是，上述取平衡部具有比上述第I筒體的內(nèi)徑大的內(nèi)徑，上述取平衡部的內(nèi)徑隨著向下部行進(jìn)而為同等或同等以上。
[0014]在上述第I本發(fā)明中，其特征也可以是，上述取平衡部為在距上述連結(jié)部較近處較深且在距上述連結(jié)部較遠(yuǎn)處較淺的錐形狀。
[0015]在上述第I本發(fā)明中，其特征也可以是，上述取平衡部在其中途具有臺階部，并且為以該臺階部為邊界距上述連結(jié)部較近的范圍較深且距上述連結(jié)部較遠(yuǎn)的范圍較淺的帶有臺階的形狀。
[0016]在上述第I本發(fā)明中，其特征也可以是，通過上述連結(jié)部和固定部經(jīng)由規(guī)定間隙對置，作為非接觸型密封發(fā)揮功能，所述非接觸型密封防止上述氣體向上述第I筒體的內(nèi)周面或上述連結(jié)部的內(nèi)周面?zhèn)鹊沽鳌?br>[0017]此外，第2本發(fā)明是一種將腔室的氣體排氣的真空泵的轉(zhuǎn)子，其特征在于，上述轉(zhuǎn)子具備:第I及第2筒體；和連結(jié)部，將上述兩個(gè)筒體的端部彼此連結(jié)；上述第I筒體在其外周面上具備多個(gè)旋轉(zhuǎn)葉片，并且通過將這些多個(gè)旋轉(zhuǎn)葉片沿著真空泵軸心與多個(gè)固定葉片交替地配置，構(gòu)成葉片排氣部；上述第2筒體通過至少在其內(nèi)周側(cè)形成螺紋槽排氣流路，構(gòu)成螺紋槽排氣部；通過上述連結(jié)部和固定部經(jīng)由規(guī)定間隙對置，作為非接觸型密封發(fā)揮功能，所述非接觸型密封防止上述氣體向上述第I筒體的內(nèi)周面或上述連結(jié)部的內(nèi)周面?zhèn)鹊沽鳌?br>[0018]在上述第1、第2發(fā)明中，其特征也可以是，上述規(guī)定間隙為0.5mm到3.0mm，更優(yōu)選的為1.0mm到1.5_。
[0019]進(jìn)而，第3本發(fā)明是一種將腔室的氣體排氣的真空泵的轉(zhuǎn)子，其特征在于，上述轉(zhuǎn)子具備:第I及第2筒體；和連結(jié)部，將上述兩個(gè)筒體的端部彼此連結(jié)；上述第I筒體在其外周面上具備多個(gè)旋轉(zhuǎn)葉片，并且通過將這些多個(gè)旋轉(zhuǎn)葉片沿著真空泵軸心與多個(gè)固定葉片交替地配置，構(gòu)成葉片排氣部；上述第2筒體通過至少在其內(nèi)周側(cè)形成螺紋槽排氣流路，構(gòu)成螺紋槽排氣部；上述連結(jié)部由環(huán)狀的板體和環(huán)狀的凸部構(gòu)成，所述板體一體地設(shè)在上述第I筒體的下端，所述凸部一體地設(shè)在該環(huán)狀的板體的外周部，通過在該環(huán)狀的凸部上嵌入安裝上述第2筒體，將第I筒體與第2筒體連結(jié)；將上述凸部的內(nèi)周面作為上述轉(zhuǎn)子的取平衡部，在該取平衡部上設(shè)有耐腐蝕性的質(zhì)量附加機(jī)構(gòu)。
[0020]在上述第1、第2或第3本發(fā)明中，上述第2筒體可以由FRP形成。
[0021]有關(guān)本發(fā)明的真空泵具備有關(guān)上述第1、第2或第3本發(fā)明的真空泵的轉(zhuǎn)子。
[0022]在第I本發(fā)明中，如上述那樣，在第I筒體或連結(jié)部的內(nèi)周面上設(shè)有轉(zhuǎn)子的取平衡部，在該取平衡部上設(shè)有質(zhì)量附加機(jī)構(gòu)。因此，在第I筒體或連結(jié)部的內(nèi)周側(cè)沒有形成螺紋槽排氣流路，所以能夠沒有取平衡部給螺紋槽排氣部帶來的影響、具體而言螺紋槽排氣部的有效的螺紋長不會因取平衡部的存在而變短，實(shí)現(xiàn)真空泵的排氣性能的提高。此外，由于設(shè)在取平衡部上的質(zhì)量附加機(jī)構(gòu)不會直接暴露在腐蝕性氣體中，所以能夠避免質(zhì)量附加機(jī)構(gòu)因腐蝕而破碎產(chǎn)生碎片等的不良狀況。
[0023]特別是，在上述第I本發(fā)明中，當(dāng)取平衡部采用具有比第I筒體的內(nèi)徑大的內(nèi)徑、取平衡部的內(nèi)徑隨著向下部行進(jìn)而為同等或同等以上的結(jié)構(gòu)時(shí)，該取平衡部的下部被朝向下方開放。因此，即使在萬一因某種原因發(fā)生了設(shè)在取平衡部上的質(zhì)量附加機(jī)構(gòu)的一部分作為碎片脫落的狀況的情況下，該脫落的碎片也從如上述那樣開放的取平衡部的下部直接且順暢地向下方掉落，與從真空泵排氣的氣體一起被向真空泵外排出。由此，在真空泵耐腐蝕性試驗(yàn)的階段中產(chǎn)生了這樣的碎片的情況下，能夠?qū)崿F(xiàn)該碎片的早期排出和早期發(fā)現(xiàn)，能夠?qū)慕回浀恼婵毡孟蚱渖嫌蔚难b置流出上述碎片的不良狀況防止于未然。
[0024]此外，在如上述那樣取平衡部的下部被朝向下方開放的情況下，例如在作為質(zhì)量附加機(jī)構(gòu)而使用合成樹脂粘接劑時(shí)，預(yù)先使合成樹脂粘接劑附著在與轉(zhuǎn)子的內(nèi)周面大致平行的姿勢的工具的前端，通過一邊使該工具平行移動一邊從開放的取平衡部的下部側(cè)向該取平衡部插入該工具的前端，能夠?qū)θ∑胶獠康囊?guī)定位置附加合成樹脂粘接劑(質(zhì)量附加機(jī)構(gòu)