進(jìn)行檢測(cè)的電阻規(guī)和電離規(guī)，所述電阻規(guī)和電離規(guī)均與真空計(jì)連接。
[0031]本實(shí)施例中，本實(shí)用新型還包括水冷系統(tǒng)，所述水冷系統(tǒng)包括固定連接在機(jī)架I頂部且位于旋片泵2旁側(cè)的循環(huán)水冷卻裝置14，以及與外部水箱相連的進(jìn)水管15和回水管16，所述進(jìn)水管15的出水口與循環(huán)水冷卻裝置14的冷卻水入口相連，所述循環(huán)水冷卻裝置14的冷卻水出口通過(guò)第一輸水管17與旋片泵2的冷卻水入口相連，所述旋片泵2的冷卻水出口通過(guò)第二輸水管18與擴(kuò)散泵3的冷卻水入口相連，所述擴(kuò)散泵3的冷卻水出口通過(guò)第三輸水管19與冷阱6的冷卻水入口相連，所述冷阱6的冷卻水出口與回水管16的進(jìn)水口相連。通過(guò)設(shè)置水冷系統(tǒng)，保證了該高真空機(jī)組的長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定可靠工作，延長(zhǎng)了該高真空機(jī)組的使用壽命。
[0032]本實(shí)施例中，所述旋片泵2和擴(kuò)散泵3均通過(guò)螺栓固定連接在機(jī)架I頂部。所述冷阱6通過(guò)法蘭與擴(kuò)散泵3的進(jìn)氣口連接。所述擴(kuò)散泵3的額定功率為3kW。
[0033]本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置冷阱6，能夠有效地防止擴(kuò)散泵污染到待抽真空的腔體；通過(guò)設(shè)置第一波紋管10和第二波紋管12，能夠緩沖旋片泵2運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)，有效地減小了本實(shí)用新型工作時(shí)由于旋片泵2振動(dòng)產(chǎn)生的噪音；通過(guò)在所述第一手動(dòng)擋板閥7的抽真空端口上連接快插接頭13，能夠方便地通過(guò)快插接頭13連接伸入待抽真空的腔體內(nèi)部的抽真空管；由于機(jī)架I的底部設(shè)置有行走輪4，因此本實(shí)用新型的高真空機(jī)組能夠方便地移動(dòng)。
[0034]本實(shí)用新型使用時(shí)，運(yùn)作前，先將所有閥關(guān)閉，進(jìn)行抽真空時(shí)，在快插接頭13上連接與待抽真空的腔體相通的抽真空管，首先，啟動(dòng)旋片泵2，并打開(kāi)手動(dòng)蝶閥9，當(dāng)抽真空的真空度達(dá)到1Pa以下時(shí)，啟動(dòng)擴(kuò)散泵3 ;然后，關(guān)閉手動(dòng)蝶閥9，打開(kāi)第二手動(dòng)擋板閥8，打開(kāi)快插接頭13，對(duì)待抽真空的腔體進(jìn)行抽真空，當(dāng)抽真空的真空度再次達(dá)到1Pa以下時(shí)，關(guān)閉第二手動(dòng)擋板閥8，打開(kāi)手動(dòng)蝶閥9，開(kāi)啟第一手動(dòng)擋板閥7，繼續(xù)對(duì)待抽真空的腔體進(jìn)行抽真空，直至待抽真空的腔體內(nèi)部真空度滿足抽真空需求。抽真空完畢關(guān)機(jī)時(shí)，先關(guān)閉第一手動(dòng)擋板閥7、快插接頭13，停止擴(kuò)散泵3，待擴(kuò)散泵3的油溫冷卻至70°C以下時(shí)，再關(guān)閉手動(dòng)蝶閥9，停止旋片泵2。
[0035]本實(shí)用新型能夠使待抽真空的腔體內(nèi)部真空度達(dá)到10_5Pa，預(yù)抽真空時(shí)間短，能夠很好地滿足使用需求。
[0036]以上所述，僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，并非對(duì)本實(shí)用新型作任何限制，凡是根據(jù)本實(shí)用新型技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、變更以及等效結(jié)構(gòu)變化，均仍屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種高真空機(jī)組，其特征在于:包括機(jī)架(I)以及固定連接在機(jī)架(I)頂部的旋片泵⑵和擴(kuò)散泵(3)，所述機(jī)架⑴的底部設(shè)置有行走輪(4)，靠近旋片泵⑵進(jìn)氣口的位置處設(shè)置有電磁擋板閥(5)，所述擴(kuò)散泵(3)的進(jìn)氣口上連接有冷阱￠)，所述冷阱(6)上方設(shè)置有第一手動(dòng)擋板閥(7)，所述第一手動(dòng)擋板閥(7)的旁側(cè)設(shè)置有第二手動(dòng)擋板閥(8)，靠近所述擴(kuò)散泵(3)的出氣口的位置處設(shè)置有手動(dòng)蝶閥(9);所述旋片泵(2)的進(jìn)氣口與電磁擋板閥(5)的一端連接，所述電磁擋板閥(5)的另一端通過(guò)第一波紋管(10)連接有三通管(11)，所述三通管(11)未與第一波紋管(10)連接的兩個(gè)端口中的其中一個(gè)端口通過(guò)第二波紋管(12)與第二手動(dòng)擋板閥(8)的一端連接，所述第二手動(dòng)擋板閥(8)的另一端與第一手動(dòng)擋板閥(7)的一端相接，所述第一手動(dòng)擋板閥(7)上設(shè)置有抽真空端口，所述抽真空端口上連接有快插接頭(13)，所述第一手動(dòng)擋板閥(7)的另一端與冷阱(6)連接，所述三通管(11)未與第一波紋管(10)連接的兩個(gè)端口中的另一個(gè)端口與手動(dòng)蝶閥(9)的一端連接，所述手動(dòng)蝶閥(9)的另一端與擴(kuò)散泵(3)的出氣口連接。
2.按照權(quán)利要求1所述的一種高真空機(jī)組，其特征在于:包括真空計(jì)，所述冷阱(6)上連接有用于對(duì)所述高真空機(jī)組抽真空的真空度進(jìn)行檢測(cè)的電阻規(guī)和電離規(guī)，所述電阻規(guī)和電離規(guī)均與真空計(jì)連接。
3.按照權(quán)利要求1所述的一種高真空機(jī)組，其特征在于:包括水冷系統(tǒng)，所述水冷系統(tǒng)包括固定連接在機(jī)架(I)頂部且位于旋片泵(2)旁側(cè)的循環(huán)水冷卻裝置(14)，以及與外部水箱相連的進(jìn)水管(15)和回水管(16)，所述進(jìn)水管(15)的出水口與循環(huán)水冷卻裝置(14)的冷卻水入口相連，所述循環(huán)水冷卻裝置(14)的冷卻水出口通過(guò)第一輸水管(17)與旋片泵(2)的冷卻水入口相連，所述旋片泵(2)的冷卻水出口通過(guò)第二輸水管(18)與擴(kuò)散泵(3)的冷卻水入口相連，所述擴(kuò)散泵(3)的冷卻水出口通過(guò)第三輸水管(19)與冷阱(6)的冷卻水入口相連，所述冷阱(6)的冷卻水出口與回水管(16)的進(jìn)水口相連。
4.按照權(quán)利要求1所述的一種高真空機(jī)組，其特征在于:所述旋片泵(2)和擴(kuò)散泵(3)均通過(guò)螺栓固定連接在機(jī)架(I)頂部。
5.按照權(quán)利要求1所述的一種高真空機(jī)組，其特征在于:所述冷阱(6)通過(guò)法蘭與擴(kuò)散泵⑶的進(jìn)氣口連接。
6.按照權(quán)利要求1所述的一種高真空機(jī)組，其特征在于:所述擴(kuò)散泵(3)的額定功率為 3kffo
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種高真空機(jī)組，包括機(jī)架、旋片泵、擴(kuò)散泵、電磁擋板閥、冷阱、第一手動(dòng)擋板閥、第二手動(dòng)擋板閥和手動(dòng)蝶閥，機(jī)架底部設(shè)有行走輪；旋片泵進(jìn)氣口與電磁擋板閥的一端連接，電磁擋板閥的另一端通過(guò)第一波紋管連接有三通管，三通管的一個(gè)端口通過(guò)第二波紋管與第二手動(dòng)擋板閥的一端連接，第二手動(dòng)擋板閥的另一端與第一手動(dòng)擋板閥的一端相接，第二手動(dòng)擋板閥上設(shè)有抽真空端口，抽真空端口上連接有快插接頭，第一手動(dòng)擋板閥的另一端與冷阱連接，三通管的另一個(gè)端口與手動(dòng)蝶閥的一端連接，手動(dòng)蝶閥的另一端與擴(kuò)散泵的出氣口連接。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小，預(yù)抽真空時(shí)間短，工作可靠性高、噪音小，整體移動(dòng)方便。
【IPC分類(lèi)】F04B39-06, F04B37-14, F04B41-06, F04B39-10, F04B39-00
【公開(kāi)號(hào)】CN204493123
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520071063
【發(fā)明人】張乃祿, 閆鋒, 孟智彬
【申請(qǐng)人】西安海聯(lián)石化科技有限公司
【公開(kāi)日】2015年7月22日
【申請(qǐng)日】2015年1月31日