本發(fā)明涉及一種線性引導(dǎo)裝置和帶有這種線性引導(dǎo)裝置的一種致動器，在該線性引導(dǎo)裝置上，滑動器通過引導(dǎo)構(gòu)件可滑動地布置在基座構(gòu)件上。

背景技術(shù)：

通常，電動致動器已經(jīng)廣泛被使用，通過該電動致動器，使得滑動器通過在馬達的作用下旋轉(zhuǎn)進給螺桿而相對于線性引導(dǎo)裝置的基座構(gòu)件滑動。在這類線性引導(dǎo)裝置中，例如，如日本平開專利公報No.2010-133438中所公開的，公開了一種技術(shù)理念，在該技術(shù)理念中，在基座構(gòu)件和引導(dǎo)構(gòu)件之間(滑動器和引導(dǎo)構(gòu)件之間)形成預(yù)定間隙的同時，在滑動器和鋁基座構(gòu)件之間布置柱形引導(dǎo)構(gòu)件。

進一步，例如，在日本平開專利公報No.2014-059000中，公開了一種技術(shù)理念，通過該技術(shù)理念，通過在鋁合金的滑動表面上形成類金剛石碳(DLC)薄膜而減少磨損。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

根據(jù)日本平開專利公報No.2010-133438中公開的常規(guī)技術(shù)，因為在基座構(gòu)件和引導(dǎo)構(gòu)件之間(滑動器和引導(dǎo)構(gòu)件之間)形成預(yù)定間隙，所以松動或者咯咯作響可能發(fā)生在滑動器中。當在安裝引導(dǎo)構(gòu)件時不形成這種間隙以抑制咯咯作響的出現(xiàn)時，因為引導(dǎo)構(gòu)件和基座構(gòu)件之間的滑動阻力增加，所以導(dǎo)致使滑動器相對于基座構(gòu)件平滑地滑動變成不可能的問題。在此實例中，如果為了減少這種滑動阻力而將日本平開專利公報No.2014-059000中所述的類金剛石碳薄膜形成在基座構(gòu)件的滑動表面上，則因為必須使類金剛石碳薄膜形成在跨越基座構(gòu)件的實質(zhì)上的全長，所以成本猛增。

考慮到上述問題，設(shè)計了本發(fā)明，本發(fā)明的目的是提供一種線性引導(dǎo)裝置和致動器，其中可以使得滑動器相對于基座構(gòu)件平滑地滑動而不出現(xiàn)后沖或者咯咯作響，同時實現(xiàn)成本減少。

為了實現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明的線性引導(dǎo)裝置包括：基座構(gòu)件；滑動器，滑動器可滑動地布置在基座構(gòu)件上；和引導(dǎo)構(gòu)件，引導(dǎo)構(gòu)件布置在基座構(gòu)件和滑動器之間，從而在滑動器的滑動方向上延伸，其中，類金剛石碳薄膜形成在引導(dǎo)構(gòu)件上，引導(dǎo)構(gòu)件通過以類金剛石碳薄膜在將預(yù)定預(yù)載荷施加至基座構(gòu)件的狀態(tài)下能夠滑動的方式與滑動器接合而固定。

依據(jù)這種構(gòu)造，因為引導(dǎo)構(gòu)件通過與滑動器接合而固定，從而使得形成在引導(dǎo)構(gòu)件上的類金剛石碳薄膜在類金剛石碳薄膜將預(yù)定預(yù)載荷施加至基座構(gòu)件的同時能夠滑動，所以可以使滑動器相對于基座構(gòu)件平滑地滑動而不出現(xiàn)咯咯作響，同時實現(xiàn)成本減少。

在上述線性引導(dǎo)裝置中，優(yōu)選地，引導(dǎo)構(gòu)件安置其中的安裝槽形成在滑動器中，引導(dǎo)構(gòu)件被構(gòu)造成能夠彈簧變形，并且通過與引導(dǎo)構(gòu)件的彈簧恢復(fù)力而與安裝槽的壁表面接合從而固定。依據(jù)這種構(gòu)造，使用引導(dǎo)構(gòu)件的彈簧恢復(fù)力，引導(dǎo)構(gòu)件可以可靠地與滑動器接合并且固定至滑動器。

在上述線性引導(dǎo)裝置中，優(yōu)選地，引導(dǎo)構(gòu)件由形成為C形截面的彈簧鋼制成。依據(jù)此構(gòu)造，因為引導(dǎo)構(gòu)件可以利用簡單結(jié)構(gòu)而受到彈簧變形，所以可以實現(xiàn)進一步的成本減少。

在上述線性引導(dǎo)裝置中，優(yōu)選地，類金剛石碳薄膜形成在引導(dǎo)構(gòu)件的外周表面上。依據(jù)這種結(jié)構(gòu)，類金剛石碳薄膜可以可靠地被放置成與基座構(gòu)件的滑動表面接觸。

在上述線性引導(dǎo)裝置中，優(yōu)選地，形狀與引導(dǎo)構(gòu)件的形狀對應(yīng)的滑動槽形成在基座構(gòu)件中。依據(jù)此構(gòu)造，可以使得滑動器相對于基座構(gòu)件更加平滑地滑動。

在上述線性引導(dǎo)裝置中，滑潤劑可以被容納在引導(dǎo)構(gòu)件的內(nèi)孔中，引導(dǎo)構(gòu)件可以用使得在引導(dǎo)構(gòu)件的外周表面上開口的側(cè)孔定位在滑動槽中的這種方式布置在基座構(gòu)件和滑動器之間。依據(jù)這種構(gòu)造，可以在類金剛石碳薄膜和組成滑動槽的壁表面之間供應(yīng)容納在引導(dǎo)構(gòu)件的內(nèi)孔中的滑潤劑，因此通過進一步減少滑動阻力，滑動器能夠相對于基座構(gòu)件更加平滑地滑動。

在上述線性引導(dǎo)裝置中，凹口可以形成在滑動槽的壁表面的面向側(cè)孔的一部分中。依據(jù)這種構(gòu)造，可以通過類金剛石碳薄膜和組成滑動槽的壁表面之間的凹口而有效地供應(yīng)容納在引導(dǎo)構(gòu)件的內(nèi)孔中的滑潤劑。進一步，可以適當?shù)匾种乒战遣?邊緣部)撞擊滑動槽的壁表面并對其造成損害，拐角部(邊緣部)形成在側(cè)孔的壁表面和引導(dǎo)構(gòu)件的外周表面之間的邊界處。

在上述線性引導(dǎo)裝置中，其中容納有滑潤劑的凹口可以形成在滑動槽的壁表面中。因為可以在類金剛石碳薄膜和組成滑動槽的壁表面之間供應(yīng)容納在凹口中的滑潤劑，所以滑動阻力進一步減少，滑動器可以相對于基座構(gòu)件更加平滑地滑動。

根據(jù)本發(fā)明的致動器包括：線性引導(dǎo)裝置；和驅(qū)動單元，驅(qū)動單元被構(gòu)造成驅(qū)動線性引導(dǎo)裝置的滑動器，其中線性引導(dǎo)裝置是具有任何上述特征的線性引導(dǎo)裝置。依據(jù)以上結(jié)構(gòu)，可以獲得與上述線性引導(dǎo)裝置的效果相同的效果的致動器。

附圖說明

圖1是根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的致動器的立體圖；

圖2是圖1所示的致動器的分解立體圖；

圖3是圖2所示的引導(dǎo)構(gòu)件和滑動器的分解立體圖；

圖4是圖3所示的引導(dǎo)構(gòu)件的放大立體圖；

圖5是沿著圖1的線V-V截取的截面視圖；

圖6是根據(jù)第一實施例的修改例的致動器的截面視圖；

圖7是根據(jù)本發(fā)明的第二實施例的致動器的立體圖；

圖8是圖7所示的致動器的分解立體圖；

圖9是圖8所示的引導(dǎo)構(gòu)件和滑動器的分解立體圖；以及

圖10是沿著圖7的線X-X截取的截面視圖。

具體實施方式

下文將參考附圖對根據(jù)本發(fā)明的線性引導(dǎo)裝置和配備有線性引導(dǎo)裝置的致動器的優(yōu)選實施例進行描述。

(第一實施例)

根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的致動器12被構(gòu)造為包括線性引導(dǎo)裝置10A的線性致動器。在本實施例中，雖然描述了致動器12被構(gòu)造為電動致動器的示例，但是致動器12也可以是液壓致動器、氣動致動器等等。

如圖1和圖2所示，致動器12配備有：馬達14，馬達14用作驅(qū)動單元；進給螺桿16，進給螺桿16傳輸馬達14的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動功率；和線性引導(dǎo)裝置10A，線性引導(dǎo)裝置10A通過殼體18布置在馬達14上。

例如，馬達14可以由伺服馬達諸如有刷DC馬達、無刷DC馬達、步進馬達等等構(gòu)成。進一步，馬達14也可以是線性馬達諸如電磁線圈等等。

進給螺桿16通過未圖示的聯(lián)接器連接至馬達軸。根據(jù)本實施例，聯(lián)接器可以通過使用進給螺桿16作為馬達軸而省略。

線性引導(dǎo)裝置10A包括：基座構(gòu)件(框架)20，基座構(gòu)件20沿著進給螺桿16的軸向方向延伸；一對端板22、24，一對端板22、24設(shè)置在基座構(gòu)件20的兩端上；滑動器26，滑動器26相對于基座構(gòu)件20可滑動地布置；和多個(在本實施例中，兩個)引導(dǎo)構(gòu)件28a、28b，引導(dǎo)構(gòu)件28a、28b安置在基座構(gòu)件20和滑動器26之間。

雖然基座構(gòu)件20可以由任意材料構(gòu)成，例如，基座構(gòu)件20由鋁或者鋁合金構(gòu)成。基座構(gòu)件20包括：基座構(gòu)件主體34，基座構(gòu)件主體34形成為截面呈實質(zhì)上的U形；和一對保護壁36a、36b，一對保護壁36a、36b在橫向截面上呈實質(zhì)上的L形，并且在基座構(gòu)件主體34的兩側(cè)豎立且在朝向彼此相互接近的方向上彎曲，同時沿著基座構(gòu)件主體34的全長延伸。更具體地，在基座構(gòu)件20中，滑動器26和引導(dǎo)構(gòu)件28a、28B布置在空間S中，空間S由基座構(gòu)件主體34的凹陷部分和一對保護壁36a、36b形成。

在基座構(gòu)件主體34的內(nèi)側(cè)表面上，滑動槽40a、40b形成為與引導(dǎo)構(gòu)件28a、28b的形狀對應(yīng)并且跨越基座構(gòu)件主體34的全長。在基座構(gòu)件主體34的相應(yīng)的內(nèi)側(cè)表面上各布置一個滑動槽40a、40b，從而滑動槽40a、40b在高度方向上的實質(zhì)上的中心面對彼此。

在一對保護壁36a、36b之間，細長的開口44形成為沿著進給螺桿16的軸向方向延伸并且與基座構(gòu)件20的空間S連通。如可以從圖1所理解的，開口44由板形蓋構(gòu)件46覆蓋。依據(jù)此特征，可以防止粉塵流入空間S中。

貫穿孔48在馬達14側(cè)的端板22中，殼體18在內(nèi)部安裝在貫穿孔48中，并且進給螺桿16插入通過貫穿孔48。在馬達14的相反側(cè)的端板24閉合基座構(gòu)件20的空間S的開口。端板22、24通過將螺釘構(gòu)件52穿過附接孔50并且然后將螺釘構(gòu)件52緊固至螺釘孔54而結(jié)合至基座構(gòu)件20，附接孔50形成在端板22、24的寬的底部的兩側(cè)，螺釘孔54形成在基座構(gòu)件20的端面中。進一步，螺釘孔58分別形成在端板22、24中，固定螺釘56緊固在螺釘孔58中，用于固定蓋構(gòu)件46。

如圖3至圖5所示，滑動器26包括：塊形(長方體形)的滑動器主體62，滑動器主體62安置在基座構(gòu)件20的空間S中；螺母64，螺母64在設(shè)置于滑動器主體62中的狀態(tài)下螺合到進給螺桿16上；收縮部66，收縮部66從滑動器主體62延伸，從而插入穿過基座構(gòu)件20的開口44；和臺子68，臺子68設(shè)置在收縮部66的末端上。

螺母64安置在圓形的螺母安置孔70中，該螺母安置孔70形成在滑動器主體62中。安裝槽72a、72b形成在滑動器主體62的面向滑動槽40a、40b的兩側(cè)表面的部分中，引導(dǎo)構(gòu)件28a、28b布置在安裝槽72a、72b中。各個安裝槽72a、72b沿著滑動器主體62的全長延伸，其槽壁表面的橫向截面是弧形的。

螺母64形成為柱形，并且伴隨進給螺桿16的旋轉(zhuǎn)在軸向方向上移位。在螺母64安置在螺母安置孔70中的狀態(tài)下，螺母64通過銷76和固定螺釘78固定至滑動器主體62。銷76布置在銷孔81中，銷孔81由形成在螺母64的外周表面中的孔79和形成在組成螺母安置孔70的壁表面中的孔80構(gòu)成。固定螺釘78螺合進螺釘孔82中，螺釘孔82與銷孔81連通并且在臺子68的外表面上開口，從而防止銷76位置變化。

臺子68形成為比滑動器主體62更寬。蓋構(gòu)件46插入穿過插入孔84，插入孔84形成在臺子68中。因此，當滑動器26相對于基座構(gòu)件20滑動時，滑動器26與蓋構(gòu)件46不干涉。用于安裝未圖示的工件等等的多個安裝孔86形成在臺子68中。

引導(dǎo)構(gòu)件28a、28b被構(gòu)造成能夠彈簧變形，并且通過其彈簧恢復(fù)力以與構(gòu)成安裝槽72a、72b的壁表面接合的方式而固定。更具體地，引導(dǎo)構(gòu)件28a、28b分別由形成為C形截面的彈簧鋼制成。因此，利用簡單構(gòu)造，引導(dǎo)構(gòu)件28a、28b可以可靠地彈簧變形。然而，在引導(dǎo)構(gòu)件28a、28b能夠彈簧變形且通過其彈簧恢復(fù)力能夠以與安裝槽72a、72b的壁表面接合的方式而固定的范圍內(nèi)，引導(dǎo)構(gòu)件28a、28b可以具有任意形狀，并且由任意材料制成。引導(dǎo)構(gòu)件28a、28b延伸與安裝槽72a、72b實質(zhì)上相同的長度，并且其兩端接觸一對止動器88、90或者被放置成與一對止動器88、90緊密接近，一對止動器88、90設(shè)置在(固定至)滑動器主體62在軸向方向上的兩端上。因此，可以適當?shù)匾种埔龑?dǎo)構(gòu)件28a、28b相對于安裝槽72a、72b在進給螺桿16的軸向方向上移位。

類金剛石碳薄膜(下文稱為DLC薄膜92a、92b)形成在引導(dǎo)構(gòu)件28a、28b的外周表面上。因此，DLC薄膜92a接觸組成基座構(gòu)件20的滑動槽40a的壁表面，而DLC薄膜92b接觸組成基座構(gòu)件20的滑動槽40b的壁表面。更具體地，引導(dǎo)構(gòu)件28a以與滑動器26接合的方式固定，從而使得DLC薄膜92a能夠在將預(yù)定預(yù)載荷施加于基座構(gòu)件20的同時滑動，并且引導(dǎo)構(gòu)件28b以與滑動器26接合的方式固定，從而使得DLC薄膜92b能夠在將預(yù)定預(yù)載荷施加于基座構(gòu)件20的同時滑動。

DLC薄膜92a、92b是由碳氫化合物或者碳的同素異形體組合成的無定形的硬薄膜，其潤滑性、耐磨性、抗咬合性等是極好的。因此，即使在使得DLC薄膜92a、92b在將預(yù)定預(yù)載荷施加至基座構(gòu)件20的狀態(tài)下進行滑動的情況下，滑動阻力也可以保持得相對較低。依據(jù)此特征，可以允許滑動器26相對于基座構(gòu)件20平滑地滑動，而不出現(xiàn)后沖或者咯咯作響。

DLC薄膜92a、92b可以通過CVD(Chemical Vapor Deposition，化學(xué)氣相淀積)方法、PVD(Physical Vapor Deposition，物理氣相沉積)方法等等形成。進一步，為了改善DLC薄膜92a、92b對基底材料(引導(dǎo)構(gòu)件28a、28b)的粘附力，可以在基底材料和DLC薄膜92a、92b之間形成中間層。這種中間層可以例如通過由DLC和基底材料組成的組合層構(gòu)成。在這種情況下，在中間層中，隨著與基底材料的距離更小，金屬的成分比變得更大，同時DLC的成分比變得更小，而另一方面，隨著與基底材料的距離更大，金屬的成分比例變得更小，同時DLC的成分比變得更大。通過使用這種中間層，可以適當?shù)匾种艱LC薄膜92a、92b從基底材料剝落。

根據(jù)本實施例的致動器12基本上以上述方式構(gòu)造。接下來，將描述致動器12的操作和有利效果。

利用根據(jù)本實施例的致動器12，當進給螺桿16通過從未圖示的電源供應(yīng)至馬達14的電流旋轉(zhuǎn)時，螺母64(滑動器26)和引導(dǎo)構(gòu)件28a、28b在進給螺桿16的軸向方向上一致地移位。此時，因為引導(dǎo)構(gòu)件28a、28b以與滑動器26接合的方式固定，從而使得形成在引導(dǎo)構(gòu)件28a、28b的外表面上的DLC薄膜92a、92b能夠在將預(yù)定預(yù)載荷施加于基底構(gòu)件20的同時滑動，可以使滑動器26相對于基底構(gòu)件20平滑地滑動，而不出現(xiàn)后沖或者咯咯作響，同時實現(xiàn)成本減少。

進一步，引導(dǎo)構(gòu)件28a、28b由形成為C形截面的彈簧鋼構(gòu)成，因此，利用簡單構(gòu)造，引導(dǎo)構(gòu)件28a、28b彈簧變形，并且通過使用其彈簧恢復(fù)力，引導(dǎo)構(gòu)件28a、28b可以通過與滑動器26的安裝槽72a、72b的壁表面接合而固定。依據(jù)此特征，可以實現(xiàn)進一步的成本減少。

而且，因為DLC薄膜92a、92b形成在引導(dǎo)構(gòu)件28a、28b的外周表面上，DLC薄膜92a、92b可以可靠地被放置成與組成基底構(gòu)件20的滑動槽40a、40b的壁表面(滑動表面)接觸。

又進一步，因為滑動槽40a、40b形成為形狀與引導(dǎo)構(gòu)件28a、28b的形狀對應(yīng)，所以可以使得滑動器26相對于基底構(gòu)件20更加平滑地滑動。

如圖6所示，其中容納潤滑脂(滑潤劑)的凹口94a、94b可以形成在組成滑動槽40a、40b的壁表面中。在這種情況下，因為可以在DLC薄膜92a、92b和組成滑動槽40a、40b的壁表面之間供應(yīng)容納在凹口94a、94b中的潤滑脂，所以滑動阻力可以進一步減少，滑動器26可以相對于基底構(gòu)件20更加平滑地滑動。

(第二實施例)

接下來，將參考圖7至圖10描述根據(jù)本發(fā)明的第二實施例的致動器100。在根據(jù)第二實施例的致動器100中，提供與根據(jù)第一實施例的致動器12相同或者類似的功能和效果的元件使用相同的參考字符標示，并且這些特征的詳細說明省略。

如圖7至圖10所示，根據(jù)本實施例的致動器100的線性引導(dǎo)裝置10B的構(gòu)造與上述致動器12的線性引導(dǎo)裝置10A不同。更具體地，線性引導(dǎo)裝置10B包括：基座構(gòu)件102；一對端板104、106；滑動器108，滑動器108布置成能夠相對于基座構(gòu)件102滑動；和多個(在本實施例中，四個)引導(dǎo)構(gòu)件(引導(dǎo)銷)110a至110d，引導(dǎo)構(gòu)件110a至110d安置在基座構(gòu)件102和滑動器108之間。

在構(gòu)成基座構(gòu)件102的基座構(gòu)件主體112的內(nèi)側(cè)表面上，多個(如圖10所示，四個)滑動槽114a至114d形成為跨越內(nèi)側(cè)表面的全長。在基座構(gòu)件主體112的相應(yīng)的內(nèi)側(cè)表面上各設(shè)置兩個滑動槽114a至114d。滑動槽114a和滑動槽114b在基座構(gòu)件主體112的底表面?zhèn)让鎸Ρ舜?，而滑動?14c和滑動槽114d在與底表面相反的一側(cè)面對彼此。組成滑動槽114a至114d中的每一個的壁表面的橫向截面是弧形的，在其槽底表面上，凹口116a至116d形成為跨越其全長(見圖10)。

在構(gòu)成基座構(gòu)件102的一部分的相應(yīng)的保護壁118a、118b上，自動開關(guān)槽124a、124b形成為跨越其全長，自動開關(guān)122安裝在自動開關(guān)槽124a、124b中，檢測來自布置在滑動器108上的磁體120的磁性。自動開關(guān)槽124a、124b相互面對彼此從而將滑動器108的收縮部66夾在二者之間。

自動開關(guān)槽124a、124b中的每一個的形狀與自動開關(guān)122的形狀對應(yīng)，在槽底表面?zhèn)?收縮部66側(cè))的槽寬大于在其開口側(cè)的槽寬。更具體地，在相應(yīng)的自動開關(guān)槽124a、124b的底表面?zhèn)鹊臋M向截面形成為弧形。

因此，可以防止自動開關(guān)122變成與自動開關(guān)槽124a或者自動開關(guān)槽124b脫離。而且，如從圖7和圖8所領(lǐng)會的，在端板106中形成與自動開關(guān)槽124a、124b連通的插入槽126a、126b，插入槽126a、126b的形狀與自動開關(guān)槽124a、124b的形狀相同。因此，通過插入槽126a、126b，可以容易地執(zhí)行自動開關(guān)122相對于自動開關(guān)槽124a、124b的附接和折卸。

滑動器108的滑動器主體128的面向保護壁118a、118b的部分沿著螺母64的外周表面彎曲，該部分被部分地切掉。依據(jù)此特征，可以抑制由于設(shè)置自動開關(guān)槽124a、124b而造成的線性引導(dǎo)裝置10B的尺寸增加，同時使滑動器108能夠重量更輕。

引導(dǎo)構(gòu)件110a至110d安置其中的安裝槽130a至130d形成在滑動器主體128的兩側(cè)表面的面向滑動槽114a至114d的部分中。安裝槽130a至130d以與上述安裝槽72a相同的方式構(gòu)成。磁體附接槽134a、134b形成在滑動器108的臺子132的面向自動開關(guān)槽124a、124b的位置處，磁體120安裝在磁體附接槽134a、134b中。因此，來自磁體120的磁性可以由自動開關(guān)122有效地檢測。

各個引導(dǎo)構(gòu)件110a至110d以與上述引導(dǎo)構(gòu)件28a相同的方式構(gòu)成。如可以從圖10所領(lǐng)會的，引導(dǎo)構(gòu)件110a至110d安置在基座構(gòu)件主體112和滑動器108之間，從而使得在引導(dǎo)構(gòu)件110a至110d的外周表面上開口的其側(cè)孔定位在滑動槽114a至114d的內(nèi)部。更具體地，引導(dǎo)構(gòu)件110a至110d的側(cè)孔面向凹口116a至116d。

依據(jù)此特征，防止了拐角部(邊緣部)開始與滑動槽114a至114d的壁表面接觸，拐角部(邊緣部)形成在構(gòu)成側(cè)孔的壁表面和引導(dǎo)構(gòu)件110a至110d的外周表面之間的邊界處。引導(dǎo)構(gòu)件110a至110d通過與組成安裝槽130a至130d的壁表面接合而固定，通過引導(dǎo)構(gòu)件110a至110d本身的彈簧變形(彈簧恢復(fù)力)，從而使得DLC薄膜136a至136d能夠在將預(yù)定預(yù)載荷施加于基座構(gòu)件102的狀態(tài)下滑動。

進一步，根據(jù)本實施例，引導(dǎo)構(gòu)件110a至110d的內(nèi)孔和凹口116a至116d用作潤滑脂儲存區(qū)(油脂儲存區(qū))。更具體地，容納在引導(dǎo)構(gòu)件110a至110d的內(nèi)孔和凹口116a至116d內(nèi)部的潤滑脂(滑潤劑)被供應(yīng)至DLC薄膜136a至136d和組成滑動槽114a至114d的壁表面之間的區(qū)域。依據(jù)此特征，滑動器108相對于基座構(gòu)件102更加平滑地滑動。

根據(jù)本實施例，獲得了與根據(jù)第一實施例的線性引導(dǎo)裝置10A和致動器12相同的優(yōu)勢和效果。進一步，在引導(dǎo)構(gòu)件110a至110d的外周表面上開口的側(cè)孔定位在滑動槽114a至114d的內(nèi)部，同時潤滑脂容納在引導(dǎo)構(gòu)件110a至110d的內(nèi)孔中。因此，當使得滑動器108相對于基座構(gòu)件102滑動時，可以在DLC薄膜136a至136d和組成滑動槽114a至114d的壁表面供應(yīng)潤滑脂，從而滑動阻力可以減少。依據(jù)此特征，可以允許滑動器108相對于基座構(gòu)件102更加平滑地滑動。

而且，因為凹口116a至116d形成在滑動槽114a至114d的壁表面的面向側(cè)孔的位置處，所以容納在引導(dǎo)構(gòu)件110a至110d的內(nèi)孔中的潤滑脂可以通過凹口116a至116d被有效地供應(yīng)至DLC薄膜136a至136d和滑動槽114a至114d的壁表面之間的區(qū)域。進一步，可以適當?shù)胤乐构战遣孔矒艋瑒硬?14a至114d的壁表面并且對其造成損害，拐角部形成在側(cè)孔的壁表面和引導(dǎo)構(gòu)件110a至110d的外周表面之間的邊界處。

根據(jù)本發(fā)明的線性引導(dǎo)裝置和致動器并不局限于上述實施例，無需說明，在不偏離本發(fā)明的基本主旨的情況下，可以采用各種修改或者附加構(gòu)造。