本發(fā)明涉及抽氣速率測量閥門，具體地說是一種真空閥門。

背景技術(shù)：

抽氣速率是真空獲得設(shè)備的重要指標(biāo)。一直以來，權(quán)威機(jī)構(gòu)的測量一直以手動閥門操作為基本操作方式，十分耗時(shí)而且需要經(jīng)驗(yàn)。有些閥門在測試過程中難于始終保證開度的穩(wěn)定性，不同的測試者其測試結(jié)果可能也不盡相同。特別的，在小流量測試中，由于存在“大數(shù)吃小數(shù)”效應(yīng)，對讀數(shù)精確度要求很高，所以有必要提供一種自動測試抽速的解決方案；這種解決方案不能僅僅停留在實(shí)驗(yàn)室階段，需要面向工程，適應(yīng)各種規(guī)格的泵種。另外，一般在抽速測試時(shí)大多采用空氣進(jìn)行測試，為更好地模擬現(xiàn)場工況，應(yīng)可進(jìn)行混合多種工藝氣體的工況下的抽速測試，這是傳統(tǒng)抽速測試裝置難于做到的。進(jìn)一步地，這種解決方案可以推廣到實(shí)際的IC裝備中，實(shí)現(xiàn)真空系統(tǒng)抽氣速率的精確調(diào)節(jié)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了克服現(xiàn)有抽速測試工作時(shí)間長、依賴操作者經(jīng)驗(yàn)等難題，本發(fā)明的目的在于提供一種可精密控制的真空閥門。

本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的：

本發(fā)明包括直線步進(jìn)電機(jī)、上閥蓋、閥體、伸縮絲桿、閥座、下閥蓋及趨近式傳感器，其中閥體的上下兩端分別安裝有上閥蓋及下閥蓋，所述閥座位于該閥體內(nèi)；所述直線步進(jìn)電機(jī)安裝在上閥蓋上，輸出端通過伸縮絲桿與所述閥座相連，所述閥座的下方設(shè)有安裝在下閥蓋上、測量閥門開度的趨近式傳感器，所述直線步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動閥座上下移動，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)閥門開度的閉環(huán)控制。

其中：所述趨近式傳感器垂直布置于閥座的正下方，并與所述下閥蓋密封連接；所述趨近式傳感器為電渦流傳感器，通過傳感器密封膠圈與下閥蓋密封連接；所述直線步進(jìn)電機(jī)與上閥蓋之間、上閥蓋與閥體之間、閥座與閥體內(nèi)壁之間以及下閥蓋與閥體之間均通過密封膠圈密封連接。

本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)與積極效果為：

1.本發(fā)明采用直線步進(jìn)電機(jī)帶動閥座上下開合，并通過趨近式 傳感器測量閥座的開度，使得測量、控制精確，在氣流脈動沖擊下，能夠穩(wěn)定開度不變化，進(jìn)而使流量始終穩(wěn)定在某一數(shù)值上。

2.本發(fā)明結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，直線步進(jìn)電機(jī)噪音小、步長均勻、可控。

3.本發(fā)明趨近式傳感器垂直布置在閥座下方，與外界連接的部位布置有傳感器密封膠圈，對趨近式傳感器有保護(hù)作用。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)主視圖；

圖2為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)剖面圖；

圖3為本發(fā)明的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

其中：1為直線步進(jìn)電機(jī)，2為電機(jī)密封膠圈，3為緊固螺釘，4為閥體，5為伸縮絲桿，6為閥座密封膠圈，7為閥座，8為閥蓋密封膠圈，9為閥體密封膠圈，10為下閥蓋，11為電渦流傳感器，12為傳感器密封膠圈，13為上閥蓋。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步詳述。

如圖1～3所示，本發(fā)明包括直線步進(jìn)電機(jī)1、上閥蓋13、閥體4、伸縮絲桿5、閥座7、下閥蓋10及趨近式傳感器，其中閥體4為不銹鋼材質(zhì)，公稱通徑可為15、25、40、50等多種規(guī)格；在閥體4的上下兩端均布置有閥體密封膠圈9，上閥蓋13及下閥蓋10分別通過緊固螺釘3固接在閥體4的上下兩端，并通過閥蓋密封膠圈8及閥體密封膠圈9與閥體4密封。

直線步進(jìn)電機(jī)1作為執(zhí)行器，固定在上閥蓋13的上方，止口處采用小過盈配合，通過電機(jī)密封膠圈2與上閥蓋13密封。閥座7位于閥體4內(nèi)，上下兩端均通過閥座密封膠圈6與閥體4內(nèi)壁密封。閥座7通過伸縮絲桿5與直線步進(jìn)電機(jī)1的輸出端相連接，可隨直線步進(jìn)電機(jī)1實(shí)現(xiàn)上下開合，控制閥門的開度。閥座7為不銹鋼材質(zhì)，公稱直徑可為15、25、40、50等多種規(guī)格。

閥座7的下方設(shè)有安裝在下閥蓋10上、測量閥門開度的趨近式傳感器。本發(fā)明的趨近式傳感器可為電渦流傳感器11，垂直布置于閥座7的正下方，用于測量閥座7的開度，最小距離可為2mm；電渦流傳感器11與外界相連接的部位布置有傳感器密封膠圈12，通過該傳感器密封膠圈12與下閥蓋10密封連接。

本發(fā)明的電機(jī)密封膠圈2、閥座密封膠圈6、閥蓋密封膠圈8、閥體密封膠圈9及傳感器密封膠圈12均為特氟龍類。

本發(fā)明的工作原理為：

直線步進(jìn)電機(jī)1由控制器控制工作，通過伸縮絲桿5帶動閥座7上下開合，可以實(shí)現(xiàn)閥門開度的閉環(huán)控制。同時(shí)，通過電渦流傳感器11測量閥座7的開度，實(shí)現(xiàn)對閥門開度的準(zhǔn)確測量。

本發(fā)明主要用于抽速的精確測量，也可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、石化、冶金、食品、醫(yī)藥、電子、包裝、印刷等行業(yè)。